湿法链式刻蚀槽进液结构的制作方法

技术特征：

技术总结
本发明涉及一种湿法链式刻蚀槽进液结构，其特征是：包括设置于湿刻槽槽体底部的进液盒，进液盒设置于远离硅片进料方向的一侧；在所述进液盒朝向硅片进料方向的一侧设置有一排出液排孔，进液盒的底部设置进液口，进液盒通过进液口与进液管路连接。本发明能够提高槽体进液的稳定性，避免硅片表面产生气泡印而生的降低，减少或杜绝不良片的产生。

技术研发人员：陈玉;唐麟
受保护的技术使用者：无锡尚德太阳能电力有限公司
技术研发日：2018.03.30
技术公布日：2018.08.24