一种薄膜制备方法、显示面板及其制备方法、显示装置与流程

本申请涉及显示技术领域，尤其涉及一种薄膜制备方法、显示面板及其制备方法、显示装置。

背景技术：

有机电致发光显示(organiclight-emittingdisplay，oled)器件具有自发光、高发光效率、低工作电压、轻薄、可柔性化以及制程工艺简单等特点，在显示照明等领域应用广泛。由于喷墨打印(inkjetprint，ijp)是一种可直接进行图案化薄膜沉积的新型制程技术，因此目前oled器件中的各功能层，如空穴传输层、有机发光层以及电子传输层等通常是采用喷墨打印技术形成特定的图案的。然而，在喷墨打印过程中，由于目前喷墨打印机的喷头尺寸远小于衬底基板的尺寸，喷墨打印机需要通过多次打印才能将墨滴完全覆盖在整个衬底基板上。当喷墨打印机按顺序在衬底基板上的不同区域依次形成墨滴时，由于喷墨打印时间的差距导致前后进行打印的像素中墨水溶剂挥发状况不一致，在先喷出的墨滴周围干燥氛围与在后喷出的墨滴周围干燥氛围不同，使得整个衬底基板上的墨滴干燥不均匀，进而在相邻打印区域之间出现明显的边界痕迹，并且在墨滴最先打印的区域和墨滴最后打印的区域出现薄膜干燥程度差异最为明显。综上，现有技术采用喷墨打印形成oled功能层，会导致沉积在衬底基板上的oled薄膜成膜不均匀，影响oled器件的发光均匀度。

技术实现要素：

本申请实施例提供了一种薄膜制备方法、显示面板及其制备方法、显示装置，用以避免喷墨打印成膜厚度不均。

本申请实施例提供的一种薄膜制备方法，该方法包括：

根据喷墨打印的时间以及预设喷墨打印先后顺序，调节并保持衬底上不同区域的温度按照预设喷墨打印先后顺序递增；

按照预设喷墨打印先后顺序在所述衬底上进行喷墨打印。

本申请实施例提供的薄膜制备方法，由于在喷墨打印之前对衬底的温度进行调节，使得衬底的不同区域的温度按照喷墨打印的顺序递增，即对衬底进行区域化温度控制，从而可以控制并平衡不同区域喷墨打印溶剂的挥发速率，避免由于喷墨打印时间的差距导致先后进行喷墨打印的区域中喷墨打印溶剂挥发状况不一致，从而可以减少不同区域喷墨打印溶剂总的干燥时间差异和干燥氛围差异，进而可以避免采用喷墨打印工艺制备薄膜出现的成膜厚度不均，可以避免相邻喷墨打印区域之间出现边界痕迹。

可选地，根据喷墨打印的时间以及预设喷墨打印先后顺序，调节并保持衬底上不同区域的温度按照预设喷墨打印先后顺序递增之前，该方法还包括：形成包括微型半导体制冷片的衬底；

根据喷墨打印的时间以及预设喷墨打印先后顺序，所述调节并保持衬底上不同区域的温度按照预设喷墨打印先后顺序递增，具体包括：

根据喷墨打印的时间以及预设喷墨打印先后顺序，为所述微型半导体制冷片施加电流，保持每一所述微型半导体制冷片对应的区域形成温度梯度，并保持不同所述微型半导体制冷片对应的区域的温度按照预设喷墨打印先后顺序递增。

可选地，在调节衬底的温度之前，该方法还包括：

将所述衬底置于包括微型半导体制冷片的温度调节基板之上；

根据喷墨打印的时间以及预设喷墨打印先后顺序，所述调节并保持衬底上不同区域的温度按照预设喷墨打印先后顺序递增，具体包括：

根据喷墨打印的时间以及预设喷墨打印先后顺序，为所述微型半导体制冷片施加电流，保持每一所述微型半导体制冷片对应的区域形成温度梯度，并保持不同的所述微型半导体制冷片对应的区域的温度按照预设喷墨打印先后顺序递增；

按照预设喷墨打印先后顺序在所述衬底上打印墨滴之后，该方法还包括：撤去所述温度控制基板。

本申请实施例提供的薄膜制备方法，由于采用微型半导体制冷片来调节衬底的温度，对微型半导体制冷片施加电流即可形成冷热端，即容易实现对衬底区域化温度控制，使得衬底不同区域的具有温度梯度差异，从而后续在具有温度梯度差异的衬底上打印墨滴，根据打印墨滴的先后顺序平衡墨滴中溶剂的挥发速率，从而可以提高喷墨打印形成的膜层的厚度均一性。

可选地，根据喷墨打印的时间以及预设喷墨打印先后顺序，为所述微型半导体制冷片施加电流，具体包括：

根据喷墨打印的时间以及所述微型半导体制冷片对应的区域的预设喷墨打印先后顺序，确定每一所述微型半导体制冷片对应的区域需要形成的温度梯度；

根据确定的所述温度梯度以及预设的温度梯度与电流的对应关系，为每一所述微型半导体制冷片施加电流。

这样，在进行喷墨打印之前，根据喷墨打印的时间以及所述微型半导体制冷片对应的区域的预设喷墨打印先后顺序，确定每一所述微型半导体制冷片对应的区域需要形成的温度梯度，可以更加精确的对衬底的温度进行区域化控制、平衡先后打印墨滴的墨水挥发的速率，消除在先喷出的墨滴周围干燥氛围与在后喷出的墨滴周围干燥氛围差异，进一步提高喷墨打印制备薄膜的成膜厚度均一性、避免相邻喷墨打印区域之间出现边界痕迹。每一所述微型半导体制冷片对应的区域需要形成的温度梯度与电流的对应关系例如可以利用实验手段获得。

可选地，所述衬底具有多个子像素，所述微型半导体制冷片与所述子像素一一对应；根据喷墨打印的时间以及所述衬底上与所述微型半导体制冷片对应的区域的预设喷墨打印先后顺序，确定每一微型半导体制冷片对应的区域需要形成的温度梯度，具体包括：

根据喷墨打印的时间以及所述子像素的预设喷墨打印先后顺序，确定每一所述子像素需要形成的温度梯度。

微型半导体制冷片与需要打印墨滴的子像素区域一一对应，可以使得对衬底的温度进行区域化控制更容易实现。

本申请实施例还提供了一种显示面板制备方法，该方法包括：

在衬底基板上形成像素电路；

采用本申请实施例提供的上述薄膜制备方法，在所述像素电路之上形成发光功能层。

这样，本申请实施例提供的显示面板制备方法，由于采用本申请实施例提供的上述薄膜制备方法形成发光功能层的各膜层，从而可以提高薄膜成膜的厚度均一性，进而提升显示面板亮度均一性，还可以避免相邻喷墨打印区域之间出现边界痕迹，提升显示效果，提升用户体验。

可选地，所述显示面板包括多种颜色的子像素，按照预设喷墨打印先后顺序在所述衬底上进行喷墨打印具体包括：按照预设子像素颜色喷墨打印顺序以及每一子像素颜色中子像素的喷墨打印顺序，在所述像素电路之上进行喷墨打印。

本申请实施例提供了一种显示面板，采用本申请实施例提供的上述显示面板制备方法制得。

可选地，所述显示面板包括：玻璃基板，在所述玻璃基板之上依次设置的微型半导体制冷片、像素电路、发光功能层；其中，所述微型半导体制冷片与所述显示面板的子像素一一对应。

本申请实施例提供了一种显示装置，包括本申请实施例提供的显示面板。

附图说明

为了更清楚地说明本申请实施例中的技术方案，下面将对实施例描述中所需要使用的附图作简要介绍，显而易见地，下面描述中的附图仅仅是本申请的一些实施例，对于本领域的普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图获得其他的附图。

图1为本申请实施例提供的一种薄膜制备方法的示意图；

图2为本申请实施例提供的一种喷墨打印顺序与衬底不同区域温度的关系示意图；

图3为本申请实施例提供的一种微型半导体制冷片的结构示意图；

图4为本采用申请实施例提供的一种显示面板制备方法步骤s203、之后的结构示意图。

具体实施方式

本申请实施例提供了一种薄膜制备方法，如图1所示，该方法包括：

s101、根据喷墨打印的时间以及预设喷墨打印先后顺序，调节并保持衬底上不同区域的温度按照预设喷墨打印先后顺序递增；

s102、按照预设喷墨打印先后顺序在所述衬底上进行喷墨打印。

本申请实施例提供的薄膜制备方法，由于在喷墨打印之前对衬底的温度进行调节，使得衬底的不同区域的温度按照喷墨打印的顺序递增，即对衬底进行区域化温度控制，从而可以控制并平衡不同区域喷墨打印溶剂的挥发速率，避免由于喷墨打印时间的差距导致先后进行喷墨打印的区域中喷墨打印溶剂挥发状况不一致，从而可以减少不同区域喷墨打印溶剂总的干燥时间差异和干燥氛围差异，进而可以避免采用喷墨打印工艺制备薄膜出现的成膜厚度不均，还可以避免相邻喷墨打印区域之间出现边界痕迹。

需要说明的是，考虑到可能出现喷头的尺寸小于衬底基板的尺寸，需要进行多次打印，以利用一个喷头进行2次打印为例，对本申请实施例提供的薄膜制备方法进行举例说明，如图2所示，当采用喷墨打印工艺在衬底8上进行喷墨打印，先对区域a进行喷墨打印，再对区域b进行喷墨打印，对区域a进行喷墨打印的顺序为按照箭头方向由上至下的顺序，对区域b进行喷墨打印的顺序也为按照箭头方向由上至下的顺序。在打印墨滴之前，由于多次喷墨打印之间存在时间差，单次喷墨打印先后也存在时间差，根据喷墨打印的时间以及预设喷墨打印先后顺序调节衬底8的温度，即衬底的温度考虑了喷墨打印时间和先后顺序的因素，使得衬底8中区域a的温度按照箭头方向递增，区域b的温度按照箭头方向递增，并且区域b的温度在区域a的温度的基础上递增，保持衬底8上不同区域的温度不同。之后对区域a按照箭头方向由上至下打印墨滴，再对区域b按照箭头方向由上至下打印墨滴，先打印墨滴区域的温度比后打印墨滴区域的温度低，从而可以平衡先后打印墨滴的墨水挥发的速率，减小在先喷出的墨滴周围干燥氛围与在后喷出的墨滴周围干燥氛围差异，提高喷墨打印制备薄膜的成膜厚度均一性，还可以避免相邻喷墨打印区域之间出现边界痕迹。

可选地，根据喷墨打印的时间以及预设喷墨打印先后顺序，调节并保持衬底上不同区域的温度按照预设喷墨打印先后顺序递增之前，该方法还包括：形成包括微型半导体制冷片的衬底；

根据喷墨打印的时间以及预设喷墨打印先后顺序，所述调节并保持衬底上不同区域的温度按照预设喷墨打印先后顺序递增，具体包括：

根据喷墨打印的时间以及预设喷墨打印先后顺序，为所述微型半导体制冷片施加电流，保持每一所述微型半导体制冷片对应的区域形成温度梯度，并保持不同所述微型半导体制冷片对应的区域的温度按照预设喷墨打印先后顺序递增。

微型半导体制冷片的结构如图3所示，包括：冷端绝缘陶瓷片1，热端绝缘陶瓷片2，冷端金属导体3，热端金属导体4，n型半导体5，p型半导体6，微型半导体制冷片通过引线7连接控制电路，从而可以对半导体制冷片施加电流。当一块n型半导体材料和一块p型半导体材料联结成的热电偶对中有电流通过时，两端之间就会产生热量转移，热量就会从一端转移到另一端，从而产生温差形成冷热端。这样便可以通过控制半导体制冷片来控制衬底的温度，便可以使得衬底上不同区域具有温度梯度差异。

本申请实施例提供的薄膜制备方法，由于采用微型半导体制冷片来调节衬底的温度，对微型半导体制冷片施加电流即可形成冷热端，即容易实现对衬底区域化温度控制，使得衬底不同区域的具有温度梯度差异，从而后续在具有温度梯度差异的衬底上打印墨滴，根据打印墨滴的先后顺序平衡墨滴中溶剂的挥发速率，从而可以提高喷墨打印形成的膜层的厚度均一性。

利用微型半导体制冷片调节并保持衬底的温度，也可以将微型半导体制冷片独立于衬底额外设置。

可选地，在调节衬底的温度之前，该方法还包括：

将所述衬底置于包括微型半导体制冷片的温度调节基板之上；

根据喷墨打印的时间以及预设喷墨打印先后顺序，所述调节并保持衬底上不同区域的温度按照预设喷墨打印先后顺序递增，具体包括：

根据喷墨打印的时间以及预设喷墨打印先后顺序，为所述微型半导体制冷片施加电流，保持每一所述微型半导体制冷片对应的区域形成温度梯度，并保持不同的所述微型半导体制冷片对应的区域的温度按照预设喷墨打印先后顺序递增；

按照预设喷墨打印先后顺序在所述衬底上打印墨滴之后，该方法还包括：撤去所述温度控制基板。

无论将微型半导体制冷片设置在衬底内还是独立于衬底额外设置，均可以控制微型半导体制冷片使得衬底的温度进行分区控制。

对于利用微型半导体制冷片调节衬底的温度，可选地，根据喷墨打印的时间以及预设喷墨打印先后顺序，为所述微型半导体制冷片施加电流，具体包括：

根据喷墨打印的时间以及所述微型半导体制冷片对应的区域的预设喷墨打印先后顺序，确定每一所述微型半导体制冷片对应的区域需要形成的温度梯度；

根据确定的所述温度梯度以及预设的温度梯度与电流的对应关系，为每一所述微型半导体制冷片施加电流。

这样，在进行喷墨打印之前，根据喷墨打印的时间以及所述微型半导体制冷片对应的区域的预设喷墨打印先后顺序，确定每一所述微型半导体制冷片对应的区域需要形成的温度梯度，可以更加精确的对衬底的温度进行区域化控制、平衡先后打印墨滴的墨水挥发的速率，消除在先喷出的墨滴周围干燥氛围与在后喷出的墨滴周围干燥氛围差异，进一步提高喷墨打印制备薄膜的成膜厚度均一性、避免相邻喷墨打印区域之间出现边界痕迹。每一所述微型半导体制冷片对应的区域需要形成的温度梯度与电流的对应关系例如可以利用实验手段获得。

如图2所示，衬底8具有多个子像素9，即在每一子像素打印喷墨打印的墨滴，一个微型半导体制冷片可对应一个子像素，也可对应多个子像素。

可选地，所述衬底具有多个子像素，所述微型半导体制冷片与所述子像素一一对应；根据喷墨打印的时间以及所述衬底上与所述微型半导体制冷片对应的区域的预设喷墨打印先后顺序，确定每一微型半导体制冷片对应的区域需要形成的温度梯度，具体包括：

根据喷墨打印的时间以及所述子像素的预设喷墨打印先后顺序，确定每一所述子像素需要形成的温度梯度。

微型半导体制冷片与需要打印墨滴的子像素区域一一对应，可以使得对衬底的温度进行区域化控制更容易实现。

本申请实施例还提供了一种显示面板制备方法，该方法包括：

在衬底基板上形成像素电路；

采用本申请实施例提供的上述薄膜制备方法，在所述像素电路之上形成发光功能层。

需要说明的是，对于oled面板，在像素电路之上采用喷墨打印工艺形成的薄膜可以是oled器件中的阳极和阴极之间的有机层即发光功能层，例如可以是空穴传输层、有机发光层、电子传输层等有机层。对于需要设置彩膜的显示面板，也可以采用本申请实施例提供的薄膜制备方法制备彩膜。

这样，本申请实施例提供的显示面板制备方法，由于采用本申请实施例提供的上述薄膜制备方法形成发光功能层的各膜层，从而可以提高薄膜成膜的厚度均一性，进而提升显示面板亮度均一性，还可以避免相邻喷墨打印区域之间出现边界痕迹，提升显示效果，提升用户体验。

可选地，所述显示面板包括多种颜色的子像素，按照预设喷墨打印先后顺序在所述衬底上进行喷墨打印具体包括：按照预设子像素颜色喷墨打印顺序以及每一子像素颜色中子像素的喷墨打印顺序，在所述像素电路之上进行喷墨打印。

显示面板例如可以包括红色子像素、蓝色子像素、以及绿色子像素。

可选地，对于衬底内设置有微型半导体制冷片的情况，在衬底基板上形成像素电路具体包括：在玻璃基板上形成微型半导体制冷片以及与每一所述微型半导体制冷片连接的引线的图案；

在微型半导体制冷片以及与每一所述微型半导体制冷片连接的引线的图案之上形成像素电路。

可选地，微型半导体制冷片与所述显示面板的子像素一一对应。

对于衬底内设置有微型半导体制冷片的情况，以阴极和阳极之间仅包括有机发光层为例，本申请实施例提供的显示面板制备方法包括如下步骤：

s201、在衬底基板上形成像素电路，具体包括：

s2011、在玻璃基板上形成与子像素区一一对应的微型半导体制冷片以及与每一所述微型半导体制冷片连接的引线的图案；

s2012、依次形成薄膜晶体管功能层、平坦化层、以及在平坦化层之上相互间隔的像素定义层和阳极的图案；

s202、根据喷墨打印的时间以及预设喷墨打印先后顺序，对微型半导体制冷片施加电流，调节并保持衬底上不同区域的温度按照预设喷墨打印先后顺序递增；

s203、按照预设喷墨打印先后顺序在所述衬底上进行喷墨打印形成有机发光层的图案。

以子像素包括红色子像素、蓝色子像素以及绿色子像素为例，步骤s203之后形成的结构如图4所示，包括：玻璃基板10、与子像素19一一对应的微型半导体制冷片11、薄膜晶体管层12、平坦化层13、像素定义层14、阳极15、红色发光层16、蓝色发光层17、绿色发光层18。

对于微型半导体制冷片独立于衬底设置的情况，以阴极和阳极之间仅包括有机发光层为例，本申请实施例提供的显示面板制备方法包括如下步骤：

s301、在衬底基板上形成像素电路；

具体包括：在玻璃基板上依次形成薄膜晶体管功能层、平坦化层、以及在平坦化层之上相互间隔的像素定义层和阳极的图案；

s302、将衬底基板置于包括微型半导体制冷片的温度调节基板之上；

s303、根据喷墨打印的时间以及预设喷墨打印先后顺序，对微型半导体制冷片施加电流，调节并保持衬底上不同区域的温度按照预设喷墨打印先后顺序递增；

s304、按照预设喷墨打印先后顺序在所述衬底上进行喷墨打印形成有机发光层的图案；

s305、撤去温度调节基板。

在步骤s203或s305之后，本申请实施例提供的显示面板制备方法还包括形成阴极、以及形成封装层的步骤。

本申请实施例提供了一种显示面板，采用本申请实施例提供的上述显示面板制备方法制得。

本申请实施例提供的显示面板例如可以是oled面板。

对于采用衬底内设置有微型半导体制冷片的薄膜制备方法制得的显示面板，可选地，所述显示面板包括：玻璃基板，在所述玻璃基板之上依次设置的微型半导体制冷片、像素电路、发光功能层。

可选地，所述微型半导体制冷片与所述显示面板的子像素一一对应。

对于oled显示面板，所述显示面板包括：玻璃基板，在所述玻璃基板之上依次设置的半导体制冷片、薄膜晶体管层、平坦化层、以及电致发光器件层；所述半导体制冷片与所述显示面板的子像素一一对应。电致发光器件层例如可以包括阳极、阴极以及位于阴极和阳极之间的发光功能层，发光功能层例如可以包括有机发光层，还可以包括电子传输层、空穴传输层等有机层。

本申请实施例提供了一种显示装置，包括本申请实施例提供的显示面板。

本申请实施例提供的显示装置，例如可以是手机、电脑、电视等装置。

综上所述，本申请实施例提供的薄膜制备方法、显示面板制备方法、显示面板及显示装置，由于在喷墨打印之前对衬底的温度进行调节，使得衬底的不同区域的温度按照喷墨打印的顺序递增，即对衬底进行区域化温度控制，从而可以控制并平衡不同区域喷墨打印溶剂的挥发速率，避免由于喷墨打印时间的差距导致先后进行喷墨打印的区域中喷墨打印溶剂挥发状况不一致，从而可以减少不同区域喷墨打印溶剂总的干燥时间差异和干燥氛围差异，进而可以避免采用喷墨打印工艺制备薄膜出现的成膜厚度不均，还可以避免相邻喷墨打印区域之间出现边界痕迹。

显然，本领域的技术人员可以对本申请进行各种改动和变型而不脱离本申请的精神和范围。这样，倘若本申请的这些修改和变型属于本申请权利要求及其等同技术的范围之内，则本申请也意图包含这些改动和变型在内。