一种扇出型芯片封装结构及其制造方法与流程

文档序号:17494312发布日期:2019-04-23 21:04阅读:来源:国知局

技术特征:

技术总结
本发明公开了一种扇出型芯片封装结构,包括:第一芯片;玻璃载板,所述玻璃载板设置在所述第一芯片下方;塑封层,所述塑封层设置在所述玻璃载板上方,包覆所述第一芯片;导电玻璃通孔,所述导电玻璃通孔贯穿所述玻璃载板,且与所述第一芯片电连接;重新布局布线层,所述重新布局布线层设置在所述玻璃载板的下方,与所述导电玻璃通孔电连接,从而实现对所述第一芯片的扇出功能。钝化层,所述钝化层位于所述重新布局布线层的金属表面和间隙;以及外接焊球。

技术研发人员:孙绪燕;陈峰;姚大平;林挺宇
受保护的技术使用者:华进半导体封装先导技术研发中心有限公司
技术研发日:2018.12.26
技术公布日:2019.04.23
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