一种探针台用防撞报警机构的制作方法

文档序号:16281945发布日期:2018-12-14 22:57阅读:来源:国知局

技术特征:

1.一种探针台用防撞报警机构,包括设于烤箱(1)内的烤架(2),烤架(2)一端设有用于取出半导体晶圆(3)的出口(21),其特征是:所述烤架(2)内壁两侧设有与半导体晶圆(3)边缘形状配合的弧形内壁(2a),弧形内壁(2a)上设有用于卡住半导体晶圆(3)的卡槽(2b),出口(21)与其正对的烤箱(1)内壁之间设有支架(4),支架(4)上设有用于感应半导体晶圆(3)位置变化的传感器(5)。

2.根据权利要求1所述的一种探针台用防撞报警机构,其特征是:所述传感器(5)为距离传感器。

3.根据权利要求1所述的一种探针台用防撞报警机构,其特征是:所述传感器(5)为光电传感器,光电传感器包括发送器(51)和接收器(52),发送器(51)位于烤架(2)上方,接收器(52)位于烤架(2)下方并正对发送器(51)。

4.根据权利要求1所述的一种探针台用防撞报警机构,其特征是:所述烤架(2)一端设有开口(22),开口(22)正对出口(21),开口(22)宽度小于半导体晶圆(3)的直径。

5.根据权利要求1所述的一种探针台用防撞报警机构,其特征是:所述烤架(2)的出口(21)两侧向外延伸设有第一板块(6),烤架(2)顶部两侧向外延伸设有第二板块(7),第二板块(7)与第一板块(6)相连。

6.根据权利要求5所述的一种探针台用防撞报警机构,其特征是:所述第一板块(6)顶端设有倒角(61)。

7.根据权利要求1所述的一种探针台用防撞报警机构,其特征是:所述烤架(2)顶端凸出设有桥板(8),桥板(8)与烤架(2)顶端连接设有加强板(9)。

8.根据权利要求1所述的一种探针台用防撞报警机构,其特征是:所述烤架(2)底部设有第一底板(10)、第二底板(11)及连接板(12),第一底板(10)与第二底板(11)分别与烤架(2)两侧面的底部连接,连接板(12)连接第一底板(10)与第二底板(11)。

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