技术总结
本实用新型涉及半导体晶圆测试领域，特别涉及一种探针台用防撞报警机构，包括设于烤箱内的烤架，烤架一端设有用于取出半导体晶圆的出口，所述烤架内壁两侧设有与半导体晶圆边缘形状配合的弧形内壁，弧形内壁上设有用于卡住半导体晶圆的卡槽，出口与其正对的烤箱内壁之间设有支架，支架上设有用于感应半导体晶圆位置变化的传感器。本实用新型的目的是提供一种探针台用防撞报警机构，其具有降低半导体晶圆在烤箱内壁上撞伤概率的优点。本实用新型具有以下有益效果：提高了烤架的结构强度，使其不易因高温或搬运受力而变形，延长了烤架的使用寿命；能够对半导体晶圆起到保护作用，避免半导体晶圆在烤箱内壁上撞伤。
技术研发人员：薛昌和;何志强
受保护的技术使用者：江阴佳泰电子科技有限公司
技术研发日：2018.05.22
技术公布日：2018.12.14