硅片输送载具及硅片传送装置的制作方法

文档序号:16863524发布日期:2019-02-15 19:59阅读:来源:国知局

技术特征:

1.硅片输送载具,其特征在于:具有承载板(1)及由承载板(1)引伸的围栏(2),围栏(2)在承载板(1)的端头立起,且围栏(2)远离承载板(1)的一端设有耳托部(21);承载板(1)和围栏(2)满足硅片侧立置放,耳托部(21)围设硅片的相应侧边。

2.根据权利要求1所述的硅片输送载具,其特征在于:所述围栏(2)由杆体弯折构造,围栏(2)具有前后间隔的立杆(22),立杆(22)之间的间隙适配硅片侧立置放,前后两根立杆(22)远离承载板(1)的一端由耳托部(21)连在一起。

3.根据权利要求1所述的硅片输送载具,其特征在于:所述承载板(1)与围栏(2)组合成凹字形,承载板(1)与硅片输送方向交叉横设,承载板(1)的上侧面与围栏(2)合围满足硅片侧立置放,且承载板(1)设有贯通上下侧面的镂空孔(11)。

4.根据权利要求3所述的硅片输送载具,其特征在于:所述承载板(1)的上侧面设有承垫部(12),该承垫部(12)垫高硅片的相应侧边,使硅片的相应侧边与承载板(1)的上侧面留有间隙。

5.硅片传送装置,其特征在于:该硅片传送装置具有上述权利要求1~4任一项的硅片输送载具,该硅片输送载具的承载板(1)固定在链条(3)上,链条(3)组装啮合链轮(4),链轮(4)安装在转动轴(5)上,转动轴(5)安装在固定座(6)上;硅片输送载具的围栏(2)朝远离链条(3)的方向凸伸,且承载板(1)和围栏(2)满足硅片侧立置放,围栏(2)在承载板(1)的端头立起,且围栏(2)远离承载板(1)的一端设有耳托部(21),耳托部(21)围设硅片的相应侧边。

6.根据权利要求5所述的硅片传送装置,其特征在于:所述承载板(1)通过支撑立杆(7)固定在链条(3)上,支撑立杆(7)的一端连接承载板(1)的居中位;承载板(1)与围栏(2)组合成凹字形,承载板(1)与硅片输送方向交叉横设,承载板(1)的上侧面与围栏(2)合围满足硅片侧立置放,且承载板(1)设有贯通上下侧面的镂空孔(11)。

7.根据权利要求5所述的硅片传送装置,其特征在于:所述围栏(2)由杆体弯折构造,围栏(2)具有前后间隔的立杆(22),立杆(22)之间的间隙适配硅片侧立置放,前后两根立杆(22)远离承载板(1)的一端由耳托部(21)连在一起。

8.根据权利要求5或6所述的硅片传送装置,其特征在于:所述承载板(1)的上侧面设有承垫部(12),该承垫部(12)垫高硅片的相应侧边,使硅片的相应侧边与承载板(1)的上侧面留有间隙。

9.根据权利要求5所述的硅片传送装置,其特征在于:所述转动轴(5)上并列两个或两个以上的链轮(4),每个链轮(4)啮合连接一条链条(3),每条链条(3)上顺着链条长度间隔布置硅片输送载具。

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