一种集成LDMOS的JFET器件的制作方法

文档序号:17366280发布日期:2019-04-09 22:30阅读:来源:国知局

技术特征:

1.一种集成LDMOS的JFET器件,其特征在于,LDMOS的漂移区和JFET的漂移区共用,LDMOS的漏区和JFET的漏区共用,所述器件包括:

P型衬底,所述P型衬底上开设有接触孔;

N型深阱,所述N型深阱形成于所述P型衬底中,JFET的漂移区形成于所述N型深阱中,所述N型深阱包括JFET沟道浅结和LDMOS沟道深结并形成阶梯型结构;

第一P型阱区,所述第一P型阱区形成于所述N型深阱中,LDMOS的沟道区形成于所述第一P型阱区中,所述LDMOS的沟道区表面形成有多晶硅栅;

第二P型阱区,所述第二P型阱区形成于所述P型衬底中,所述第二P型阱区位于所述N型深阱的JFET沟道浅结的外侧,JFET的沟道区形成于所述第二P型阱区中;

LDMOS的源区由形成于所述第一P型阱区表面的N型重掺杂区形成,LDMOS的体区由形成于所述第一P型阱区表面的P型重掺杂区形成,LDMOS的源区与所述多晶硅栅的第一侧自对准,LDMOS的源区通过所述P型衬底上的接触孔引出为LDMOS的源极,LDMOS的体区通过所述P型衬底上的接触孔引出为LDMOS的体区;LDMOS的漏区由形成于所述N型深阱的LDMOS沟道深结表面的N型重掺杂区形成,所述LDMOS的漏区位于所述多晶硅栅的第二侧的外部,所述LDMOS的漏区通过所述P型衬底上的接触孔引出为LDMOS的漏极;所述第一P型阱区和所述LDMOS的漏区之间的所述N型深阱的表面形成有第一场氧化层,所述第一场氧化层和所述LDMOS的漏区自对准,所述第一场氧化层和所述第一P型阱区间隔预定距离;所述多晶硅栅的第二侧延伸到所述第一场氧化层的表面,所述多晶硅栅的第二侧通过所述P型衬底上的接触孔引出为LDMOS的栅极;所述N型深阱的LDMOS沟道深结还形成有第一P型TOP层;

JFET的源区由形成于所述N型深阱的JFET沟道浅结表面的N型重掺杂区形成,所述JFET的源区位于所述多晶硅栅的第一侧的外部,所述JFET的源区通过所述P型衬底上的接触孔引出为JFET的源极;所述JFET的源区和所述第一P型阱区之间的所述N型深阱的表面形成有第二场氧化层,所述第二场氧化层分别与所述JFET的源区和所述第一P型阱区自对准;所述第二场氧化层的表面形成有多晶硅场板,所述多晶硅场板通过所述P型衬底上的接触孔引出为JFET的栅极;JFET的体区由形成于所述第二P型阱区表面的P型重掺杂区形成,所述JFET的体区通过所述P型衬底上的接触孔引出为JFET的体区;所述N型深阱的JFET沟道浅结还形成有第二P型TOP层,所述第二P型TOP层向所述第二P型阱区延伸并与所述第二P型阱区短接。

2.根据权利要求1所述的集成LDMOS的JFET器件,其特征在于,

所述N型深阱的JFET沟道浅结的长度为10~20μm。

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