一种集成LDMOS的JFET器件的制作方法

文档序号:17366280发布日期:2019-04-09 22:30阅读:来源:国知局
技术总结
本实用新型公开了一种集成LDMOS的JFET器件,涉及半导体技术领域,该JFET器件中LDMOS和JFET共用的漂移区形成于P型衬底中的N型深阱中,LDMOS和JFET共用的漏区由N型深阱表面的N型重掺杂区形成,LDMOS的沟道区形成于N型深阱中的P型阱区中、源区和体区分别由该P型阱区表面的两个重掺杂区形成;JFET的沟道区形成于P型衬底中的P型阱区中、源区和体区分别由N型深阱和该P型阱区表面的两个重掺杂区形成;本申请将超高压LDMOS直接集成到了超高压JFET当中,通过两种晶体管的集成,总面积相比较两种晶体管的面积和大幅减小,提高了芯片集成度,降低了电路设计难度和制造成本,两种晶体管的融合还能够提升器件之间的兼容性,提升芯片的可靠性。

技术研发人员:范捷;万立宏;王绍荣
受保护的技术使用者:江苏丽隽功率半导体有限公司
技术研发日:2018.08.31
技术公布日:2019.04.09

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