一种石墨舟定位柱更换垫的制作方法

本实用新型涉及太阳能电池生产PECVD技术领域，具体为一种石墨舟定位柱更换垫。

背景技术：

目前，现有的太阳能电池生产PECVD工序，通常使用的为管式PECVD。在管式PECVD生产过程中，在硅片表面进行镀膜时，需使用石墨舟作为载体，把未镀膜的硅片插进石墨舟，然后把装载硅片的石墨舟放置在管式PECVD镀膜设备的炉管内，运行PECVD镀膜工艺对硅片表面镀一层氮化硅薄膜，镀膜结束后，从炉管内取出石墨舟，待降温后取出已镀好氮化硅薄膜的硅片。

硅片插进石墨舟是通过3个定位柱来固定的，可以防止硅片在石墨舟搬运过程中掉落，同时也可以防止在镀膜过程中因硅片移动造成硅片镀膜后膜色不均匀。硅片每次插进石墨舟与定位柱接触的时候会对接触的地方有轻微的磨损，长时间使用后磨损会逐渐变得严重，会导致硅片插进去后与舟页贴合的不好，造成硅片镀膜后膜色不均匀，因此需定期更换定位柱。定位柱的直径有两种系列，分别为直径6mm系列和直径9mm系列，更换定位柱时需先把已磨损的定位柱用定位柱拆卸机把定位柱拆掉，然后用定位柱安装机把新的定位柱装上去，同一片舟页多次拆卸安装定位柱后，舟页上的定位柱孔会因为磨损逐渐变大，直径6mm系列的定位柱孔会从6.00mm逐渐增大到6.01mm、6.02mm、6.03mm等，直径9mm系列的定位柱孔会从9.00mm逐渐增大到9.01mm、9.02mm、9.03mm等，因此需设计一种定位柱更换垫，在更换垫上可以在不同的固定位置上放置对应的不同尺寸的定位柱并做好标识，可提高更换定位柱的速度，同时避免拿错不同尺寸的定位柱造成舟页损坏。

综上所述，现有技术中，存在的技术问题是：因定期更换石墨舟定位柱，石墨舟舟页上的定位柱孔会因磨损逐渐变大，而使用过程中不同舟页的定位柱孔的磨损程度不一样，同时部分舟页因损坏不能使用而更换新舟页，导致现场需更换的定位柱有多种不同尺寸的，极易降低更换定位柱的速度，同时导致安装错不同尺寸的定位柱造成舟页损坏。

技术实现要素：

本实用新型的目的在于提供一种石墨舟定位柱更换垫，以解决上述背景技术中提出的问题。

为实现上述目的，本实用新型提供如下技术方案：

一种石墨舟定位柱更换垫，包括更换垫，所述更换垫上从左至右依次开设有若干孔组，所述孔组包括小柱槽和大柱槽；

所述小柱槽中开设有小柱孔，所述小柱孔中活动插设有小定位柱，所述大柱槽中开设有大柱孔，所述大柱孔中活动插设有大定位柱；

从左至右的所述孔组中的小柱孔和大柱孔的直径均依次增大。

优选的，每个所述孔组上方设置有标签槽。

优选的，所述标签槽中分别设置有小标签块和大标签块。

与现有技术相比，本实用新型的有益效果是：

本实用新型通过在石墨舟定位柱更换垫上开设孔组，每个孔组里面放一种尺寸的定位柱并做好标识，并且定位柱尺寸从左至右依次增大，符合目视化管理，定位柱尺寸一目了然，更换定位柱时能快速选取需要的尺寸，节省时间，同时可以更换定位柱时避免拿错尺寸。

附图说明

图1为本实用新型的更换垫整体结构示意图；

图2为本实用新型的小柱槽和大柱槽结构示意图；

图3为本实用新型的标签槽结构示意图；

图4为本实用新型实施例中更换垫结构示意图。

图中：1更换垫、2小柱槽、3大柱槽、4小柱孔、5大柱孔、6小定位柱、7大定位柱、8标签槽、9小标签块、10大标签块。

具体实施方式

下面将结合本实用新型实施例中的附图，对本实用新型实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本实用新型一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本实用新型中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本实用新型保护的范围。

请参阅图1-4，本实用新型提供一种技术方案：

一种石墨舟定位柱更换垫，包括更换垫1，更换垫1上从左至右依次开设有若干孔组，每个孔组上方设置有标签槽8，标签槽8中分别设置有小标签块9和大标签块10，孔组包括小柱槽2和大柱槽3，小柱槽2中开设有小柱孔4，小柱孔4中活动插设有小定位柱6，大柱槽3中开设有大柱孔5，大柱孔5中活动插设有大定位柱7，从左至右的所述孔组中的小柱孔4和大柱孔5的直径均依次增大。

实施例：

一个可以插240片硅片的石墨舟需更换126个直径6mm系列和252个直径9mm系列的定位柱，定位柱尺寸小且每次更换的数量及种类多，直径6mm系列的定位柱为小定位柱6，直径9mm系列的定位柱的为大定位柱7，因此更换时需快速而准确，本实用新型设计的石墨舟定位柱更换垫，可以在更换定位柱时能快速选取需要的尺寸，节省时间，同时避免拿错尺寸。

在石墨舟定位柱安装过程中，需在定位柱安装机两边各放置一个长方体形状的更换垫1，定位柱更换垫1的高度与定位柱安装机的基准面一致，使得安装定位柱时石墨舟舟页处于水平状态，定位柱更换垫1的长度保持和舟页长度一致，宽度需大于舟页宽度加上定位柱更换垫1开设孔组的宽度。

在定位柱更换垫1靠近定位柱安装机一端开设孔组，一个孔组分为两个相邻的小柱槽2和大柱槽3，小柱槽2里面放直径6mm系列的小定位柱6，另一个大柱槽3里面放直径9mm系列的大定位柱7，可根据需要开多组相邻的孔组，且孔组内的小柱槽2和大柱槽3内的小柱孔4和大柱孔5的直径依次增大，例如第一组放置直径6.00和9.00mm的相应定位柱，第二组放置直径6.01和9.01mm的相应定位柱，第三组放置直径6.02和直径9.02mm的相应定位柱，并在孔组上方的标签槽8中的小标签块9和大标签块10上贴上对应尺寸的标签。

尽管已经示出和描述了本实用新型的实施例，对于本领域的普通技术人员而言，可以理解在不脱离本实用新型的原理和精神的情况下可以对这些实施例进行多种变化、修改、替换和变型，本实用新型的范围由所附权利要求及其等同物限定。