制造层叠封装器件的方法和层叠封装接合装置与流程

文档序号:18662076发布日期:2019-09-13 19:33阅读:来源:国知局

技术特征:

技术总结
提供了一种制造层叠封装器件的方法和一种层叠封装接合装置。制造层叠封装器件的方法包括:由包括按压构件和产生激光束的光源的接合装置实施的接合步骤。提供包括下部基板、沿着下部基板的边缘的下部焊球、以及位于下部基板的中心上的下部芯片的底部封装件,将底部封装件接合到具有与下部焊球对齐的上部焊球的内置基板,并且将具有上部基板和位于上部基板上的上部芯片的顶部封装件接合到内置基板。当将内置基板布置在底部封装件上时,按压构件将内置基板压靠在底部封装件上,并且激光束将下部焊球粘附到上部焊球。

技术研发人员:曹俊镐;权吾哲;千承振;金台虔;李法龙;丁正来
受保护的技术使用者:三星电子株式会社
技术研发日:2019.01.28
技术公布日:2019.09.13
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