加热的陶瓷面板的制作方法

技术总结
本文的实施方式涉及用于处理腔室中的气体分配的设备。更具体地，本公开内容的方面涉及一种陶瓷面板。所述面板一般具有陶瓷主体。在所述面板主体的上表面中形成凹槽。多个孔隙穿过面板在所述凹槽中形成。在所述凹槽中可选地设置加热器以加热所述面板。

技术研发人员：张宇星;K·阿拉亚瓦里;K·高希;S·巴录佳;D·黄
受保护的技术使用者：应用材料公司
技术研发日：2019.01.23
技术公布日：2019.09.13