技术特征：
1.一种用于处理基板的设备，所述设备包括：腔室，所述腔室具有供在其中处理基板的处理空间；基板支撑单元，所述基板支撑单元被配置为在所述处理空间中支撑所述基板；气体供应单元，所述气体供应单元被配置为向所述处理空间内供应气体；排气管线，所述排气管线连接到所述腔室；和减压构件，所述减压构件被配置为降低所述排气管线中的压力并释放在所述处理空间中产生的工艺副产物，其中所述排气管线包括：第一管线，所述第一管线连接到所述腔室；第二管线，所述第二管线配备有所述减压构件；和过滤管，所述过滤管被配置为连接所述第一管线和所述第二管线，并且其中，所述过滤管具有波纹状侧表面。2.根据权利要求1所述的设备，其中，所述过滤管能够从所述第一管线和所述第二管线拆卸。3.根据权利要求2所述的设备，其中，所述过滤管的外周表面具有波纹形状，并且其中所述过滤管具有比所述第一管线和所述第二管线更低的温度。4.根据权利要求3所述的设备，其中，所述过滤管外部的温度低于所述过滤管内部的温度，并且其中，所述过滤管由比所述第一管线和所述第二管线具有更高的热导率的材料形成。5.根据权利要求4所述的设备，其中，所述第二管线配备有阀，所述阀被配置为打开或关闭所述排气管线。6.根据权利要求1至5中任一项所述的设备，其中，所述过滤管具有波纹状外周表面，并且其中，所述过滤管包括：主体，所述主体具有对置的开口端；和内部突起，所述内部突起从所述主体的内表面突出。7.根据权利要求6所述的设备，其中，所述内部突起具有被构造成围绕所述主体的中心轴线的螺旋形状。8.根据权利要求6所述的设备，其中，所述内部突起包括多个内部突起，所述多个内部突起具有环孔形状并且沿所述主体的长度方向布置。9.根据权利要求6所述的设备，其中，在通过沿长度方向切割所述过滤管而获得的切割截面中，所述内部突起被设置成倾斜，使得从所述主体的所述内表面朝向所述内部突起的内端的方向沿所述过滤管的上游方向靠近所述主体的中心轴线定向。10.一种使用根据权利要求2所述的设备处理基板的方法，所述方法包括：通过将气体供应到位于所述处理空间中的所述基板来处理所述基板；和从所述处理空间中卸载所述基板后对所述设备进行维护，其中，在进行所述维护期间，将所述过滤管与所述第一管线和所述第二管线分离并进行更换。11.根据权利要求10所述的方法，其中，在进行所述维护期间，清洁泵连接至所述第一
管线，以在分离所述过滤管之后并且在更换所述过滤管之前释放所述处理空间中的残留颗粒。12.根据权利要求11所述的方法，其中，所述过滤管具有比所述第一管线和所述第二管线更大的暴露面积，使得所述过滤管具有比所述第一管线和所述第二管线更低的温度，其中，所述暴露面积为所述过滤管暴露在外部的面积。13.根据权利要求11所述的方法，其中，所述气体是用于蚀刻所述基板的气体。14.一种用于释放在腔室的处理空间中产生的工艺副产物的排气单元，所述排气单元包括：排气管线，所述排气管线连接到所述腔室；和减压构件，所述减压构件被配置为降低所述排气管线中的压力，其中所述排气管线包括：第一管线，所述第一管线连接到所述腔室；第二管线，所述第二管线配备有所述减压构件；和过滤管，所述过滤管被配置为连接所述第一管线和所述第二管线，并且其中所述过滤管具有波纹状侧表面。15.根据权利要求14所述的排气单元，其中，所述过滤管能够从所述第一管线和所述第二管线拆卸。16.根据权利要求15所述的排气单元，其中，所述过滤管的外周表面具有波纹形状，并且其中所述过滤管具有比所述第一管线和所述第二管线更低的温度。17.根据权利要求16所述的排气单元，其中，所述过滤管外部的温度低于所述过滤管内部的温度，并且其中，所述过滤管由比所述第一管线和所述第二管线具有更高的热导率的材料形成。18.根据权利要求17所述的排气单元，其中，所述第二管线配备有阀，所述阀被配置为打开或关闭所述排气管线。19.根据权利要求14至18中任一项所述的排气单元，其中，所述过滤管具有波纹状外周表面，并且其中，所述过滤管包括：主体，所述主体具有对置的开口端；和内部突起，所述内部突起从所述主体的内表面突出。20.根据权利要求19所述的排气单元，其中，在通过沿长度方向切割所述过滤管而获得的切割截面中，所述内部突起被设置成倾斜，使得从所述主体的所述内表面朝向所述内部突起的内端的方向沿所述过滤管的上游方向靠近所述主体的中心轴线定向。