半导体结构及其形成方法与流程

文档序号:26054569发布日期:2021-07-27 15:31阅读:来源:国知局

技术特征:

1.一种半导体结构,包括:

第一衬底,具有正面和背面;

第二衬底,具有正面和背面,其中,所述第二衬底的所述背面连接至所述第一衬底的所述背面;

器件层,位于所述第二衬底的所述正面上方;

第一导体,穿过所述第二衬底中的半导体层;以及

导电连接,将所述第一导体连接至所述器件层中的导电部件。

2.根据权利要求1所述的半导体结构,其中,所述第一衬底包括位于所述第一衬底的所述背面的再分布层,并且所述再分布层包括嵌入介电层中的第二导体,其中,所述第一导体接触所述第二导体。

3.根据权利要求1所述的半导体结构,其中,所述第一导体连接至所述半导体结构的电源轨或者接地平面。

4.根据权利要求1所述的半导体结构,其中,所述第一导体在所述第二衬底的所述正面之上延伸。

5.根据权利要求1所述的半导体结构,还包括在所述第二衬底的所述正面之上延伸的半导体鳍部,其中,所述第一导体的顶面低于所述半导体鳍部的顶面。

6.根据权利要求1所述的半导体结构,其中,所述第一导体包括钨、钌、铑、铱、钼、铬、或其组合。

7.根据权利要求1所述的半导体结构,其中,所述第一导体包括铜、金、银、钯、锇、铂、或其组合。

8.根据权利要求1所述的半导体结构,还包括位于所述第一导体和所述第二衬底之间的衬垫层。

9.一种半导体结构,包括:

第一衬底,具有正面和背面;

第二衬底,具有正面和背面,其中,所述第二衬底的所述背面接合至所述第一衬底的所述背面;

金属部件,从所述第一衬底的所述背面延伸至所述第二衬底的所述正面;

器件层,位于所述第二衬底的所述正面上方和所述金属部件上方;以及

多层互连,位于所述器件层上方。

10.一种形成半导体结构的方法,包括:

接收具有正面和背面的第一衬底,所述第一衬底的所述正面具有半导体材料,所述第一衬底的所述背面具有钝化层;

接收具有正面和背面的第二衬底,所述第二衬底的所述背面具有绝缘体;

将所述第一衬底的所述背面连接至所述第二衬底的所述背面;

蚀刻穿过所述第二衬底和穿过所述钝化层的沟槽;以及

形成所述沟槽中的导体。


技术总结
一种半导体结构,包括具有正面和背面的第一衬底和具有正面和背面的第二衬底,其中,第二衬底的背面连接至第一衬底的背面。该结构还包括位于第二衬底的正面上方的器件层;穿过第二衬底中的半导体层的第一导体;以及将第一导体连接至器件层中的导电部件的导电连接。本申请的实施例还涉及形成半导体结构的方法。

技术研发人员:陈欣苹;李明翰;眭晓林
受保护的技术使用者:台湾积体电路制造股份有限公司
技术研发日:2020.12.07
技术公布日:2021.07.27
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