氧气局部放气模块(oxygen partial degassing module, OPDM)。
[0030]气体喷射模块500包含安置在平台200上方的主体510，衬底S安放在所述平台上。预定空间可以界定在对应于透射窗口 400与衬底S之间的主体510的区域中。通过透射窗口 400的激光可以穿过预定空间照射到衬底S上，并且惰性气体也可以穿过预定空间喷射到衬底S上。为了便于描述，被界定成对应于透射窗口 400与衬底S之间的主体510的区域且激光和惰性气体穿过其中的预定空间可以被称作“惰性气体腔室520”。
[0031]同样说明气体喷射模块500，根据一个示例性实施例的气体喷射模块500包含:主体510 ;惰性气体腔室520，其通过对应于透射窗口 400与平台200之间的主体510的至少一部分，并且具有激光和惰性气体穿过其中的内部空间；惰性气体供应管530，其安置在主体510内并且其一端与惰性气体腔室520的内部连通以将惰性气体(例如氮气(N2)气体)供应到惰性气体腔室520中；以及板540，其连接到惰性气体腔室520的下部并且安置在惰性气体腔室520与衬底S之间，并且具有从其底部表面向上界定的停滞凹槽540b。此处，同样说明主体510的位置，主体510可以具有如下结构:主体510被安置成围绕惰性气体腔室520的外部。
[0032]如上文所述，惰性气体腔室520具有内部空间，所述内部空间被界定成通过对应于透射窗口 400与衬底S之间的主体510。如图3中所说明，内部空间可以在竖直(即，高度)方向上通过主体510并且具有预定宽度。此处，根据一个示例性实施例的惰性气体腔室520可以具有大于其水平宽度的竖直长度(或高度)。惰性气体腔室520的上部开口可以由透射窗口 400遮蔽或覆盖。并且，在惰性气体腔室520的下部可以界定缝隙520a(在下文中，被称作第一缝隙520a)，线状激光(S卩，激光束)和惰性气体可以穿过所述缝隙。惰性气体腔室520的内壁的下部可以具有内径向下逐渐减小的形状。更详细地说，如图4中所说明，惰性气体腔室520的内部下部可以具有在第一缝隙520a的方向上逐渐减小的内径。并且，惰性气体腔室520的内部下部可以具有预定曲率或弯曲形状。
[0033]虽然主体510与惰性气体腔室520如上文所述而彼此分离，但是主体510与惰性气体腔室520可以彼此集成。
[0034]惰性气体供应管530可以是用于将惰性气体供应到惰性气体腔室520中的单元。根据一个示例性实施例的插入气体供应管530可以安置在主体510中并且连接到惰性气体腔室520的一侧。也就是说，惰性气体供应管530可以在主体510内延伸。并且，惰性气体供应管530的一个端部可以连接到惰性气体腔室520的一侧并且另一端部连接到气体存放单元(未图示)，惰性气体存放在所述气体存放单元中。惰性气体供应管530可以提供为插入到主体510中的管道形状的管。插入气体供应管530可以被设计成使得其一个端部连接到惰性气体腔室520的一侧，或者主体510的内部经处理以与惰性气体腔室520的一侧连通。并且，惰性气体供应管530可以具有由最外管构成的双管结构，S卩，外部管和安置在所述外部管内部的内部管。此处,如果连接到惰性气体腔室520以将惰性气体排放到惰性气体腔室520中的惰性气体供应管530的一个端部被称作排放缝隙，那么所述排放缝隙可以如图3中所说明以线形状向下倾斜。并且，对应于排放缝隙的前端的惰性气体供应管530的区域的至少一个部分可以具有弯折若干次的通道形状，即，弯曲了若干次。
[0035]当然，惰性气体供应管530可以不限于上述形状。举例来说，惰性气体供应管530可以变为足以供应惰性气体的各种形状。
[0036]从气体喷射模块500排放并且随后喷射到衬底S上的惰性气体(例如，氮气(N2)气体)可以将保留在衬底S上方(更确切地说，在激光照射在其上的衬底S的区域上)的氧气(O2)和杂质驱走以在气体喷射模块500与衬底S之间的空间中形成惰性气体氛围。此处，可以提供板540以允许从惰性气体腔室520的第一缝隙520a排放的惰性气体在衬底S的整个顶部表面上壁式分散。板540在惰性气体腔室和衬底S的左/右(或宽度)方向上延伸。
[0037]在下文中，将更详细地描述根据一个示例性实施例的板。
[0038]如图3和图4中所说明，根据一个示例性实施例的板540可以具有连接到主体510的下部部分和惰性气体腔室520并且具有正方形形状的横截面的板形状。缝隙540a(在下文中，被称作第二缝隙540a)可以界定在第一缝隙520a下方，激光和惰性气体穿过缝隙540a。更详细地说，板540可以具有从在两个方向上界定在惰性气体腔室520中的第一缝隙520a延伸的板形状。板540可以具有在左/右方向上的长度，即，大于惰性气体腔室520的宽度并且小于衬底S的宽度的宽度。
[0039]停滞凹槽540b界定在板540中，在所述停滞凹槽中，惰性气体填充到板540的底部表面与衬底S之间的空间(或间隙)中。填充到停滞凹槽540b中的惰性气体可以防止气体喷射模块500外部的氧气和杂质渗透到板540与衬底之间的空间中。也就是说，板540可以具有从板540的下部向上界定以收纳惰性气体的凹槽，即，停滞凹槽540b。因此，根据一个示例性实施例的板的底部表面可以不是平坦的水平平面，而是具有高度差。也就是说，边缘区域，即，板540的底部表面的最外边缘区域，可以高于在左/右方向上界定在板540的底部表面中的边缘区域内部的区域。因此，当惰性气体从惰性气体腔室520供应到板540的下侧时，惰性气体的流动可以被板540的边缘区域阻挡或遮蔽以防止惰性气体在外部被耗尽，并且随后惰性气体可以停滞预定时间。因此，惰性气体穿过第二缝隙540a在衬底S的外部耗尽的时间可能大于根据现有技术的时间。并且，如果惰性气体是连续地供应的，那么停滞凹槽540b内的压力与气体喷射模块500外部的压力相比可以增大更多。可以通过压力差来防止保留在气体喷射模块500外部的氧气和杂质渗透到板540与衬底S之间的空间中。
[0040]板540的底部表面，即，停滞凹槽540b的顶部表面可以具有预定曲率。也就是说，如图3和图4中所说明，板540可以具有圆弧或弓形形状，其中板540的底部表面的闻度在第二缝隙540a的方向上从板540的边缘逐渐增大。
[0041]如上文所述，板540具有圆弧或弓形形状，其中板540的底部表面或停滞凹槽540b的顶部表面具有预定曲率。然而，本发明不限于此。举例来说，如图2中所说明，根据另一示例性实施例，停滞凹槽540b的顶部表面可以是平坦的。也就是说，根据另一示例性实施例的板的停滞凹槽540b可以具有下部打开的球状形状。也就是说，凹槽可以从板540的下部向上界定。此处，凹槽可以具有平坦的顶部表面，但是并不具有弯曲的顶部表面。
[0042]因此，根据所述示例性实施例，穿过第二缝隙540a排放的惰性气体可以向外推动存在于气体喷射模块500下方的氧气和杂质。因此,氧气和杂质可以分散在板540的底部表面的延伸方向上并且可以不通过板540的底部表面的边缘区域向外流动。因此，喷射到气体喷射模块500的下侧中的惰性气体可以类似于相关技术而未向外耗尽，而是停滞在界定在板540的下部中的停滞