5的位置处。
[0084]根据本公开的各实施例，晶片背侧上的通孔填充物超出晶片的背侧表平面。晶片的背侧表平面将指代背侧平面，不论背侧的特定位置处是否存在通孔。在本文中，所述背侧表平面也可以简称为“背侧平面”。
[0085]按绝对价值计算，过量填充物通常具有至少15微米的厚度(即，在垂直方向上)。在水平方向填充物的扩展可以是超出通孔直径至少10微米，或者甚至至少20微米。
[0086]相对来说，过量填充物的过量厚度可以大于所述填充物上突出部的厚度。特别地，所述过量填充物的过量厚度可以是所述填充物上的突出部厚度的至少1.3倍或者甚至至少1.5倍。
[0087]提供过量填充物厚度与填充物上突出部厚度相比的这种关系通常导致在背侧上的通孔拐角处有足够的导电性材料。换句话说，剖面95可以从而设计为足够大，同时没有对第二胶浆的整体材料浪费。值得注意的是，通孔拐角处的剖面95可能与导电性相关。然而，远离背侧上填充物的中心处，电流以较大的面积分布于突出部中，因此不需要突出部的外部区域具有可比拟的厚度。在典型性实施例中，突出部的沉积厚度实质上是均匀的，主要包含在实际应用中发生的+/-15%的偏差。
[0088]根据本文描述的实施例，第二胶浆沉积为环形。这个形状在本文中也称为圈状。这种形状的剖面图在图13和图14的实施例中图示。
[0089]图13图示所述沉积的剖面图。除第二胶浆的沉积形状之外，所述沉积工艺和所述晶片可具有先前参照所论述的其他实施例论述的元件和特征结构。
[0090]第二胶浆可沉积为环状突出部18。特别地，在这种情况下，在使用第一胶浆的沉积中心上不会形成使用第二胶浆的沉积。通常，因此在使用第一胶浆沉积的层(即，填充物7)的第一胶浆层中心区域不会被遮盖，特别是在通孔2上的区域中。环状突出部18的内环范围的典型直径可能类似于所述通孔的直径。在这里“类似于”应被理解为等同于+/-20%的偏差。根据各实施例，所述内环范围的典型直径可能在80 μ m和300 μ m之间的范围内。
[0091]图14图示在图13中图示的太阳能电池的部分的背侧俯视图。所述图高亮度显示所沉积的突出部的环形。
[0092]尽管上述内容是针对本发明的实施例，但可在不脱离本发明的基本范围的情况下设计本发明的其他和进一步实施例，且本发明的范围是由所附权利要求书来确定。
【主权项】
1.一种用于制造太阳能电池中的背侧触点的方法，包括: a.提供晶片，所述晶片包括背侧、前侧和穿过所述晶片的至少一个通孔； b.从背侧用第一胶浆填充通孔；以及 c.从背侧将第二胶浆沉积在所述填充物上。
2.如权利要求1所述的方法，其特征在于，所述第一胶浆包括的过渡金属含量比第二胶浆中的过渡金属含量高。
3.如权利要求1或2所述的方法，其特征在于，所述第一胶浆包括按重量计至少75%的过渡金属，所述过渡金属优选是银。
4.如权利要求1或2中任一项所述的方法，其特征在于，所述第一胶浆包括按重量计至少75%的混合物，所述混合物包括银和另一种过渡金属，其中所述另一种过渡金属的含量优选按重量计不超出所述第一胶浆的15%。
5.如前述权利要求中任一项所述的方法，其特征在于，所述第二胶浆包括按重量计至多65%、优选按重量计至多60%、甚至更优选按重量计至多35%的过渡金属。
6.如权利要求1到4中任一项所述的方法，其特征在于，所述第二胶浆包括按重量计至多65%、优选按重量计至多60%、甚至更优选按重量计至多35%的银。
7.如前述权利要求中的任一项所述的方法，其特征在于，所述第一胶浆包括: 按重量计至少85%的过渡金属，其中所述过渡金属优选是银；或者 按重量计至少85%的混合物，所述混合物由银和另一种过渡金属构成，所述另一种过渡金属的含量优选按重量计不超过所述第一胶浆的15%。
8.如前述权利要求中的任一项所述的方法，其特征在于，填充所述通孔的步骤进一步包括:将第一胶浆沉积在所述晶片背侧上，以在所述晶片的背侧表面上形成过量填充物，所述过量填充物的过量厚度优选是至少10微米。
9.如权利要求8所述的方法，其特征在于，沉积所述第二胶浆以形成突出部，其中所述过量填充物的过量厚度大于所述突出部厚度，其中所述过量填充物的过量厚度优选是所述突出部厚度的至少1.3倍、优选至少1.5倍。
10.如前述权利要求中任一项所述的方法，其特征在于，沉积所述第二胶浆以形成突出部，所述突出部较好地是环状的。
11.如前述权利要求中任一项所述的方法，其特征在于，进一步包括以下一个或多个步骤: ?将一个或多个背侧接触垫沉积在所述背侧上； ?将背层沉积在所述背侧上； ?将一个或多个汇流排沉积在所述背侧上； ?将绝缘层沉积在所述背侧上； ?翻转所述基板； ?将前侧图案单次印刷在所述前侧上；以及 ?将前侧图案二次印刷在所述前侧上。
12.如权利要求11所述的方法，其特征在于，在与沉积所述第二胶浆相同的沉积步骤中进行背侧上一或多个背层的沉积。
13.一种太阳能电池装置，包括: 晶片，所述晶片包括背侧和前侧； 背侧触点，所述背侧触点包括: 至少一个通孔，所述通孔穿过所述晶片； 至少一个通孔的填充物，所述填充物由第一胶浆构成；以及 位于晶片背侧的背侧突出部，所述背侧突出部在填充物上且由第二胶浆构成。
14.如权利要求13所述的太阳能电池，其特征在于，所述第一胶浆包括的银含量比第二胶浆中的银含量高。
15.如权利要求13或14所述的太阳能电池，其特征在于，所述第一胶浆包括: 按重量计至少75%的过渡金属，其中所述过渡金属优选是银；或者 按重量计至少75%的混合物，所述混合物由银和另一种过渡金属构成，其中所述另一种过渡金属的含量优选按重量计不超过所述第一胶浆的15%。
16.如权利要求13、14或15所述的太阳能电池，其特征在于，所述第二胶浆包括按重量计至多65%、优选按重量计至多60%、甚至更优选按重量计至多35%的诸如银之类的过渡金属。
17.如权利要求13到16中任一项所述的太阳能电池，其特征在于，所述第一胶浆包括: 按重量计至少85%的过渡金属，其中所述过渡金属优选是银；或者按重量计至少85%的混合物，所述混合物由银和另一种过渡金属构成，所述另一种过渡金属的含量优选按重量计不超过所述第一胶浆的15%。
18.如权利要求13到17中任一项所述的太阳能电池，其特征在于，所述突出部是环状的。
19.如权利要求13到18中任一项所述的太阳能电池，其特征在于，所述晶片背侧上的填充物超出所述晶片的背侧表平面，从而形成过量填充物，其中所述过量填充物优选具有至少15微米的过量厚度。
20.如权利要求19所述的太阳能电池，其特征在于，沉积所述第二胶浆以形成突出部，其中所述过量填充物的过量厚度大于所述突出部厚度，其中所述过量填充物的过量厚度优选是所述突出部厚度的至少1.3倍，甚至更优选是至少1.5倍。
【专利摘要】本发明公开了制造太阳能电池装置背侧触点的方法和太阳能电池装置。根据一方面，提供了一种用于制造太阳能电池的背侧触点的方法。所述方法包括以下步骤：提供晶片和一个或多个穿过所述晶片的通孔，所述晶片具有背侧和前侧；从背侧用第一胶浆填充通孔；以及从背侧将第二胶浆沉积在所述填充物上。根据另一方面，提供了一种太阳能电池装置。所述太阳能电池装置包括晶片和背侧触点，其中所述晶片具有背侧和前侧。所述背侧触点包括：一个或多个通孔，所述通孔穿过所述晶片；一个或多个通孔的填充物，所述填充物由第一胶浆构成；以及位于晶片背侧的背侧突出部，所述背侧突出部在填充物上且由第二胶浆构成。第一胶浆的银重量含量可能比第二胶浆的银重量含量高。
【IPC分类】H01L31-18, H01L31-02
【公开号】CN104576820
【申请号】CN201310585491
【发明人】乔治欧·塞勒里, 戴戈·唐尼
【申请人】应用材料意大利有限公司
【公开日】2015年4月29日
【申请日】2013年11月19日
【公告号】CN203774340U, EP2863441A1