装置10适用的工艺环境更广泛。
[0046]需要说明的是，在本实施例中，多个第二出气孔组内的多组第二出气孔的数量相等；且任意两个第二出气孔组中，一个第二出气孔组中的多组第二出气孔与另一第二出气孔组中的多组第二出气孔一一对应，且在该相对应的两组第二出气孔中，与同一出气管路12对应的第二出气孔132沿平行于比例控制装置13作升降运动的方向上间隔设置于比例控制装置13的侧壁上，但本发明并不限于此，在实际应用中，在上述相对应的两组第二出气孔中，与同一出气管路12对应的第二出气孔132还可以沿与比例控制装置13作升降运动不平行的方向上间隔设置于比例控制装置13的侧壁上，在此情况下，可以通过旋转驱动装置14驱动比例控制装置13绕其中心轴作旋转运动，同时通过升降装置驱动比例控制装置13沿与其侧壁相平行的方向作升降运动，来使多个出气管路12与不同第二出气孔组中的多组第二出气孔连通，调节经多个出气管路12通入反应腔室内的工艺气体的体积流量的比值，以及工艺气体在反应腔室内的密度分布。此外，在实际应用中，多个第二出气孔组中的多组第二出气孔的数量还可以不相等，在此情况下，同样可以通过上述方式使多个出气管路12与不同第二出气孔组中的多组第二出气孔连通，达到调节经多个出气管路12通入反应腔室内的工艺气体的体积流量的比值，以及工艺气体在反应腔室内的密度分布的目的。
[0047]图7为本发明第二实施例提供的进气装置的结构示意图。请参看图7，进气装置10用于向反应腔室内通入工艺气体，其包括进气管路11、多个出气管路12、比例控制装置
13和升降装置20。其中，每个出气管路12包括第一进气孔121和第一出气孔122，且多个出气管路12的第一出气孔122分别于反应腔室内的不同区域连通。升降装置20的驱动轴与比例控制装置13连接，用于驱动比例控制装置13沿与其侧壁相平行的方向作升降运动；在本实施例中，升降装置20为升降电机。请一并参看图7和图8，比例控制装置13的一端设有与进气管路11连通的第二进气孔131，其侧壁设有第二出气孔组，第二出气孔组包括多组第二出气孔，每组第二出气孔包括多个与第二进气孔131连通的第二出气孔132 ;每组第二出气孔中第二出气孔132的数量与出气管路12的数量相等；且每组第二出气孔的多个第二出气孔132用于与多个第一进气孔121 对应地连通；每个第二出气孔132在与第一进气孔121连通时开启；并且，第一进气孔121的孔径大于每组第二出气孔中与其对应的第二出气孔132的孔径；在第二出气孔组中的任意两组第二出气孔中，其中一组第二出气孔的多个第二出气孔132的孔径与另一组第二出气孔的多个第二出气孔132的孔径不完全相等；第二出气孔组的多组第二出气孔中，与同一第一进气孔121对应的第二出气孔132沿平行于比例控制装置13作升降运动的方向依次设置于比例控制装置13的侧壁上。在本实施例中，比例控制装置13为多棱柱形或圆柱形。
[0048]在本实施例中，当一组第二出气孔中的多个第二出气孔132与多个出气管路12的第一进气孔121——对应地连通时，该组第二出气孔中的多个第二出气孔132开启，而该组第二出气孔外的其他的第二出气孔132关闭；在此情况下，进气管路11中的工艺气体通过第二进气孔131进入到比例控制装置13中，并通过第二出气孔132及第一进气孔121进入到多个出气管路12中；而后多个出气管路12中的工艺气体通过第一出气孔122进入到反应腔室内，从而本实施例提供的进气装置10将工艺气体通入到反应腔室内。
[0049]在本实施例中，由于升降装置20驱动比例控制装置13沿与比例控制装置13的侧壁相平行的方向作升降运动；且在第二出气孔组的多组第二出气孔中，与同一第一进气孔121对应的第二出气孔132沿平行于比例控制装置13作升降运动的方向依次设置于比例控制装置13的侧壁上，因此，在比例控制装置13沿与其侧壁相平行的方向作升降运动时，第二出气孔组中的多组第二出气孔会通过其多个第二出气孔132依次与多个出气管路12的第一进气孔121 —一对应连通。由于第一进气孔121的孔径大于每组第二出气孔中与其对应的第二出气孔132的孔径，因此，与第一进气孔121连通的第二出气孔132的孔径决定经该第一进气孔121所在的出气管路12通入反应腔室内的工艺气体的体积流量。同时，由于在任意两组第二出气孔中，其中一组第二出气孔的多个第二出气孔132的孔径与另一组第二出气孔的多个第二出气孔132的孔径不完全相等，因此，在不同组第二出气孔与多个出气管路12的第一进气孔121连通时，经每个出气管路12通入反应腔室的工艺气体的体积流量不完全相等，并且，通入反应腔室的工艺气体在反应腔室内的密度分布不同。从而，在进气装置10通入反应腔室内的工艺气体在反应腔室内的密度分布不能满足工艺环境的要求时，进气装置10可以通过升降装置20驱动比例控制装置13沿与其侧壁相平行的方向作升降运动，使不同组第二出气孔与多个出气管路12的第一进气孔121连通，从而改变进气装置10通入反应腔室内的工艺气体在反应腔室内的密度分布，进而满足工艺环境的要求。
[0050]在本实施例中，第二出气孔组中所包含的多组第二出气孔的数量可以根据工艺环境的要求设置。在实际应用中，第二出气孔组所包含的多组第二出气孔的数量越多，进气装置10可以使多个出气管路12的第一进气孔121与更多组第二进气孔连通，从而使进气装置10在更大范围内调节经多个出气管路12通入反应腔室内的工艺气体的体积流量的比值，以及在更大范围内控制工艺气体在反应腔室内的密度分布，进而使进气装置10适用的工艺环境更广泛。
[0051]本实施例提供的进气装置，其升降装置20驱动比例控制装置13沿与其侧壁相平行的方向作升降运动，且在第二出气孔组的多组第二出气孔中，与同一第一进气孔121对应的第二出气孔132沿平行于比例控制装置13作升降运动的方向依次设置于比例控制装置13的侧壁上，使升降装置20驱动比例控制装置13沿与其侧壁相平行的方向作升降运动的过程中，第二出气孔组的多组第二出气孔通过其多个第二出气孔132依次与多个出气管路12的第一进气孔121连通，并且，每个第二出气孔132仅在与第一进气孔121连通时开启；同时，在任意两组第二出气孔中，其中一组第二出气孔的多个第二出气孔132的孔径与另一组第二出气孔的多个第二出气孔132的孔径不完全相等，使不同组第二出气孔与多个出气管路12的第一进气孔121连通时，经每个出气管路12通入反应腔室的工艺气体的体积流量不完全相等，并使通入反应腔室内的工艺气体在反应腔室内的密度分布不同；从而，本实施提供的进气装置10可以通过升降装置20驱动比例控制装置13沿与其侧壁相平行的方向作升降运动，使不同组第二出气孔与多个出气管路12的第一进气孔121连通，进而改变进气装置10通入反应腔室内的工艺气体在反应腔室内的密度分布；并且，在实际应用中，本实施例提供的进气装置10可以通过在第二出气孔组中设置较多组第二出气孔，使其在更大范围内调节经其多个出气管路12通入反应腔室内的工艺气体的体积流量的比值，以及使其在更大范围内控制工艺气体在反应腔室内的密度分布，从而使本实施例提供的进气装置10适用的工艺环境更广泛；此外，在第二出气孔组中设置较多组第二出气孔，对进气装置10的结构复杂程度和其体积不产生明显影响，使进气装置10的加工制造成本及其占用的空间得到很好的控制。
[0052]具体地，进气装置10还包括第一安装件15，第一安装件15上设有凹部，该凹部的侧壁的形状与比例控制装置13的侧壁的形状相对应，且比例控制装置13置于该凹部内。此夕卜，第一安装件15上还设有与上述凹部的底壁连通的第一通孔和与上述凹部的侧壁连通的第二通孔；其中，第二通孔的数量与多个出气管路12的数量相等。在本实施例中，进气管路11穿过第一通孔与比例控制装置13的第二进气孔131连通；多个出气管路12穿过第二通孔，用于与每组第二出气孔的多个第二出气孔132连通。在实际应用中，上述凹部的内壁与比例控制装置13的侧壁相接触，使每组第二出气孔中的多个第二出气孔132未与多个出气管路12的第一进气孔121——对应地连通时关闭，从而在进气装置10向反应腔室内通入工艺气体时，工艺气体无法从上述未与第一进气孔121连通的第二出气孔132逸出。
[0053]需要说明的是，在本实施例中，通过