专利名称：一种等离子体化学气相沉积生产线机械传动装置的制作方法
技术领域：
本实用新型涉及一种太阳能电池生产中对太阳能电池进行等离子体化学沉积PIN 层时在设备内的传动装置，具体的说是一种等离子体化学气相沉积生产线机械传动装置。
背景技术：
在现有太阳能电池生产中，等离子体化学气相沉积装置的传动装置一直不规范， 各种各样的传动装置都不够稳定，对太阳能电池的转换效率有较大的影响，需要寻找一种 稳定的机械传动装置，保证在传输的过程中，稳定的对太阳能电池进行沉积，进而提高太阳 能电池的转换效率。
发明内容本实用新型的目的是要提供一种在太阳能电池生产中，对太阳能电池进行等离子
体化学沉积PIN层时，快速、稳定，能够提高太阳能电池的转换效率的机械传动装置。
本实用新型的目的是这样实现的该传动装置包括机械手、上片台、运载小车、导
轨、沉积舱室、下片台，所述的导轨构成一个矩形回路，其中上片台设置回路中A方向和D方
向的交界处，多个沉积舱室设置在B方向的导轨上，运载小车被设置在导轨上，下片台设置
在回路中C方向和D方向的交界处，所述的上片台和下片台上设置有机械手。 本实用新型由于采用上述结构，使得等离子体化学气相沉积的传动更加稳定，具
有结构简单、使用方便等优点。
图1为本实用新型整体结构示意图。
具体实施方式
由附图所示该传动装置包括机械手1、上片台2、运载小车3、导轨4、沉积舱室5、 下片台6，所述的导轨4构成一个矩形回路，其中上片台2设置导轨A方向和D方向的交 界处，用来接收机械手放置的未经过等离子体化学气相沉积的太阳能电池片；所述的沉积 舱室5设置在B方向的导轨上，用来对太阳能电池进行等离子体化学气相沉积，即沉积PIN 层，沉积舱室5数量一般在十二个左右；所述的运载小车3为金属结构，被设置在导轨4上， 可在导轨4上无障碍运行，其作用是运载电池经过沉积舱室5，对电池进行沉积；所述的下 片台6设置在导轨C方向和D方向的交界处，运载小车3运行到此处后，上面的电池沉积完 毕，待机械手1把电池片7取走。 所述的导轨4为摩擦力很小的金属结构，使运载小车在该矩形结构里无障碍运 行。 所述的运载小车3为金属结构，和导轨沟槽对应，可在导轨上无障碍运行，其作用 是运载电池经过沉积舱室5 ，对电池进行沉积。[0010] 该装置的运行过程如下未沉积的电池片7被机械手1放到上片台2上的运载小 车3上，运载小车3沿A方向运动，根据对设备的操控，运载小车3再沿B方向运动，经过 十二 (不同设备仓室个数不同)个沉积舱室5对太阳能电池进行沉积，沉积完以后，运载小 车3沿C方向运动到下片台6，机械手1从该运载小车3上取走电池片，空的运载小车3沿 D方向回到上片台2，准备接收下一电池片7。 在设备运行时，若干个运载小车3连续运动。
权利要求一种等离子体化学气相沉积生产线机械传动装置，其特征在于该传动装置包括机械手(1)、上片台(2)、运载小车(3)、导轨(4)、沉积舱室(5)、下片台(6)，所述的导轨(4)构成一个矩形回路，其中上片台(2)设置回路中A方向和D方向的交界处，多个沉积舱室(5)设置在B方向的导轨上，运载小车(3)被设置在导轨(4)上，下片台(6)设置在回路中C方向和D方向的交界处，所述的上片台(2)和下片台(6)上设置有机械手(1)。
专利摘要本实用新型涉及一种等离子体化学气相沉积生产线机械传动装置，该传动装置包括机械手、上片台、运载小车、导轨、沉积舱室、下片台，所述的导轨构成一个矩形回路，其中上片台设置回路中A方向和D方向的交界处，多个沉积舱室设置在B方向的导轨上，运载小车被设置在导轨上，下片台设置在回路中C方向和D方向的交界处，所述的上片台和下片台上设置有机械手。本实用新型由于采用上述结构，使得等离子体化学气相沉积的传动更加稳定，具有结构简单、使用方便等优点。
文档编号H01L31/18GK201538815SQ200920094718
公开日2010年8月4日 申请日期2009年11月17日 优先权日2009年11月17日
发明者刘万学, 刘志才, 孙学义, 崔庆春, 强艳建, 杜宏荀, 杨继泽, 马力斌 申请人:吉林庆达新能源电力股份有限公司