专利名称：一种等离子体化学气相沉积设备后的太阳能电池冷却装置的制作方法
技术领域：
本实用新型涉及一种冷却装置，具体的说是一种在等离子体化学气相沉积设备中
对太阳能电池逐步冷却的装置。
背景技术：
在现有太阳能电池生产中，等离子体化学气相沉积设备对太阳能电池进行沉积 PIN层的过程中，电池的温度会很高，一般会达到18(TC，沉积完成以后，太阳能电池从等离 子体化学气相沉积设备出来以后，如果直接到室温的话，电池会受到骤然降温，不利于太阳 能电池的应力释放，严重时会有炸片的情况发生，所以需要对从等离子体化学气相沉积设 备出来的电池进行逐步降温，保证太阳能电池的性质稳定。
发明内容本实用新型的目的是要提供一种在等离子体化学气相沉积设备中能够对太阳能 电池进行逐步降温的太阳能电池冷却装置。 本实用新型的目的是这样实现的该冷却装置包括并排设置的三个冷却箱、电池 挂片箱、传送导轨，所述的传送导轨设置在三个冷却箱的上面，电池挂片箱挂装在传送导轨 上。 所述的前面的冷却箱的温度设置为150°C，中间的冷却箱的温度设置为9(TC，后 面的冷却箱的温度设置为30°C。 所述的传送导轨贯穿于三个冷却箱，并在冷却箱以后延伸出一段置于室温下，即 直接在室温下对太阳能电池进行冷却。 本实用新型由于采用上述结构，能够对太阳能电池在等离子体化学气相沉积工序 后逐步冷却，有利于太阳能电池的应力释放，保证了太阳能电池的性质稳定，不会有炸片的 情况发生。
图1为本实用新型整体结构示意图。 图2为本实用新型侧面投影图。
具体实施方式由附图所示该冷却装置包括并排设置的三个冷却箱1、2、3、电池挂片箱4、传送 导轨5，所述的传送导轨5设置在三个冷却箱1、2、3的上面，电池挂片箱4挂装在传送导轨 5上。 所述的前面的冷却箱1的温度设置为150°C，中间的冷却箱2的温度设置为90°C， 后面的冷却箱3的温度设置为30°C。 所述的传送导轨5贯穿于三个冷却箱1、2、3，并在冷却箱以后延伸出一段6置于室温下，即直接在室温下对太阳能电池进行冷却。 工作过程如下设置在电池挂片箱4内的太阳能电池从等离子体化学气相沉积设 备沿传送导轨5出来以后，电池温度大约在180°C ，使其先通过第一个冷却箱1对其冷却，使 太阳能电池降温至150°C，再通过第二个冷却箱2，降温至9(TC，然后通过第三个冷却箱3， 降温至3(TC，最后从第三个冷却箱3出来以后，直接进入室温，在传送导轨5的后段6上逐 步冷却至室温。整个过程使太阳能电池从等离子体化学气相沉积设备出来时的18(TC逐步 冷却到室温。
权利要求一种等离子体化学气相沉积设备后的太阳能电池冷却装置，其特征在于该冷却装置包括并排设置的三个冷却箱(1)、(2)、(3)、电池挂片箱(4)、传送导轨(5)，所述的传送导轨(5)设置在三个冷却箱(1)、(2)、(3)的上面，电池挂片箱(4)挂装在传送导轨(5)上。
2. 根据权利要求1所述的一种等离子体化学气相沉积设备后的太阳能电池冷却装置， 其特征在于所述的前面的冷却箱(1)的温度设置为15(TC，中间的冷却箱(2)的温度设置 为9(TC，后面的冷却箱(3)的温度设置为30°C。
3. 根据权利要求1所述的一种等离子体化学气相沉积设备后的太阳能电池冷却装置， 其特征在于所述的传送导轨(5)贯穿于三个冷却箱(1)、 (2)、 ( )3，并在冷却箱以后延伸 出一段(6)置于室温下。
专利摘要本实用新型涉及一种一种在等离子体化学气相沉积设备中对太阳能电池逐步冷却的装置，该冷却装置包括并排设置的三个冷却箱、电池挂片箱、传送导轨，所述的传送导轨设置在三个冷却箱的上面，电池挂片箱挂装在传送导轨上；所述的前面的冷却箱的温度设置为150℃，中间的冷却箱的温度设置为90℃，后面的冷却箱的温度设置为30℃；所述的传送导轨贯穿于三个冷却箱，并在冷却箱以后延伸出一段置于室温下，即直接在室温下对太阳能电池进行冷却。本实用新型能够对太阳能电池在等离子体化学气相沉积工序后逐步冷却，有利于太阳能电池的应力释放，保证了太阳能电池的性质稳定，不会有炸片的情况发生。
文档编号H01L31/18GK201536110SQ20092009471
公开日2010年7月28日 申请日期2009年11月17日 优先权日2009年11月17日
发明者刘万学, 刘志才, 崔庆春, 强艳建, 李宇, 杨继泽, 程明辉, 魏含芳 申请人:吉林庆达新能源电力股份有限公司