光电检测器、液晶显示器件和发光器件的制作方法_5

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一反射层2或第二反射层3,这使得来自对象14的光更容易地被第一光电二极管4或第二光电二极管5检测到。
[0154]制作发光器件的方法将在下面描述。制作发光器件的方法与实施例2中的方法相同,除了在形成像素电极51的步骤之后所执行的步骤。
[0155]有机树脂膜或无机绝缘膜形成于像素电极51之上并且通过光刻和蚀刻来处理,从而形成隔膜61。
[0156]发光层62通过汽相沉积或液滴排放法等形成于像素电极51之上。
[0157]透光电极63通过溅射或汽相沉积等形成于发光层62之上。
[0158]第一彩色滤光片6通过实施例1和2中的方法来形成。第一彩色滤光片6还形成于绝缘膜42、44及49中的槽内。然后,形成第二彩色滤光片7。第二彩色滤光片7也形成于以上所描述的槽内。使用第一彩色滤光片6和第二彩色滤光片7形成的第三挡光层8被形成以致于填充槽。类似地,形成第三彩色滤光片9。使用第二彩色滤光片7和第三彩色滤光片9形成的第三挡光层8 ",以及使用第一彩色滤光片6和第三彩色滤光片9形成的第三挡光层屮形成于各自的槽内。
[0159]发光器件可以以这种方式制作。发光器件62可以因水分而劣化;因此,可以另外地将密封构件(member)提供于第一彩色滤光片6、第二彩色滤光片7及第三彩色滤光片9之上。
[0160](实施例4)
[0161]在本实施例中,将描述光电检测器、液晶显示器件及发光器件在电子器具内的实例应用(图13A到13F)。
[0162]在图13A中的移动电话包括显示部分9101。在图13B中的个人数字助理包括显示部分9201、输入笔9202等。在图13C中的数码摄像机包括显示部分9301、显示部分9302等。在图13D中的便携式游戏机包括显示部分9401等。在图13E中的个人数字助理包括显示部分9501等。在图13E中的个人数字助理包括显示部分9501等。在图13F中的电视包括显示部分9601、输入笔9602等。其中每个都是本发明的一个实施例的光电检测器、液晶显示器件及发光器件可以被用作在显示部分中所使用的触摸面板。通过将光电检测器、液晶显示器件及发光器件用作触摸面板,可以提供能够进行高敏感度的数据感测的触摸面板。
[0163](实施例5)
[0164]下面将描述使用包括光电二极管的液晶显示器件或发光器件的写入板(黑板、白板等)的实例。
[0165]例如,在以上实施例中的包括光电二极管的液晶显示器件或者在以上实施例中的包括光电二极管的发光器件被提供于图14中的面板9696的位置处。
[0166]在此,有可能用记号笔等在面板9696的表面上自由地书写文字等。
[0167]注意,如果文字用没有固定剂(fixer)的记号笔等来书写,则容易擦除文字。
[0168]另外,优选地,面板9696的表面是足够平滑的以便可以容易地去除记号笔的墨水。
[0169]例如,如果使用玻璃基板等制成,则面板9696的表面就是足够平滑的。
[0170]此外,可以将合成树脂等的透明薄片层压至面板9696的表面。
[0171]优选地,将例如丙烯酸树脂用作合成树脂。在这种情况下,合成树脂薄片的表面是优选平滑的。
[0172]另外,由于面板9696包括显示元件,因而面板9696可以显示具体的图像并且同时,有可能用记号笔在面板9696的表面上书写文字等。
[0173]此外,由于面板9696包括光电二极管,因而如果与打印机等连接,则面板9696能够读出并打印出用记号笔书写的文字。
[0174]此外,由于面板9696包括含有光电二极管的液晶显示器件或含有光电二极管的发光器件,因而通过在面板9696显示图像的同时于面板9696的表面上书写文字等或者绘制图形等,面板9696能够显示叠加于图像上的记号笔的迹线,其中该迹线已经由光电二极管读出。
[0175]注意,电阻式触摸传感器、电容式触摸传感器等的感测仅能够在以记号笔等书写的同时执行。
[0176]同时,在书写已经由记号笔等完成之后的相当长的时间内的任何时间也能够执行感测方面,用光电二极管的感测是有优势的。
[0177]注意,该实施例可以与任意其他实施例自由地结合。
[0178]本申请基于在2009年8月21日提交日本专利局的日本专利申请N0.2009-191827,其全部内容在此通过引用的方式并入本申请。
【主权项】
1.一种半导体器件,包括: 在透光基板之上的第一透光绝缘层; 在所述第一透光绝缘层之上并与所述第一透光绝缘层接触的光电二极管,所述光电二极管包括氧化物半导体膜; 在所述光电二极管之上并覆盖所述光电二极管的第二透光绝缘层; 在所述第二透光绝缘层之上并覆盖所述第二透光绝缘层的第一彩色滤光片,所述第一彩色滤光片与所述第一透光绝缘层接触;以及 与所述第一透光绝缘层和所述第一彩色滤光片接触的第二彩色滤光片。
2.如权利要求1所述的半导体器件,还包括: 在所述透光基板和所述第一透光绝缘层之间的挡光层, 其中所述光电二极管与所述挡光层重叠。
3.如权利要求2所述的半导体器件,其中所述挡光层为反射层。
4.如权利要求1所述的半导体器件,还包括: 在所述第一彩色滤光片和所述第二彩色滤光片之上的液晶层;以及 在所述液晶层之上的基板。
5.如权利要求1所述的半导体器件,其中所述透光基板具有柔性。
6.如权利要求1所述的半导体器件,其中所述光电二极管为竖向二极管。
7.一种半导体器件,包括: 在透光基板之上的第一透光绝缘层; 在所述第一透光绝缘层之上并与所述第一透光绝缘层接触的光电二极管,所述光电二极管包括第一氧化物半导体膜; 在所述第一透光绝缘层之上并与所述第一透光绝缘层接触的包括第二氧化物半导体膜的晶体管; 在所述光电二极管之上并覆盖所述光电二极管的第二透光绝缘层; 在所述第二透光绝缘层之上并覆盖所述第二透光绝缘层的第一彩色滤光片,所述第一彩色滤光片与所述第一透光绝缘层接触;以及 与所述第一透光绝缘层和所述第一彩色滤光片接触的第二彩色滤光片。
8.如权利要求7所述的半导体器件,还包括: 在所述透光基板和所述第一透光绝缘层之间的挡光层, 其中所述光电二极管与所述挡光层重叠。
9.如权利要求8所述的半导体器件,其中所述挡光层为反射层。
10.如权利要求7所述的半导体器件,还包括: 在所述透光基板和所述第一透光绝缘层之间的挡光层, 其中所述第二半导体层与所述挡光层重叠。
11.如权利要求7所述的半导体器件,还包括: 在所述第一彩色滤光片和所述第二彩色滤光片之上的液晶层;以及 在所述液晶层之上的基板。
12.如权利要求7所述的半导体器件,其中所述透光基板具有柔性。
13.如权利要求7所述的半导体器件,其中所述光电二极管为竖向二极管。
14.一种半导体器件,包括: 在透光基板之上的第一透光绝缘层; 在所述第一透光绝缘层之上并与所述第一透光绝缘层接触的第一光电二极管,所述第一光电二极管包括第一氧化物半导体膜; 在所述第一透光绝缘层之上并与所述第一透光绝缘层接触的第二光电二极管,所述第二光电二极管包括第二氧化物半导体膜; 在所述第一光电二极管和所述第二光电二极管之上的第二透光绝缘层,所述第二透光绝缘层覆盖所述第一光电二极管和所述第二光电二极管; 在所述第二透光绝缘层中的沟槽,所述沟槽到达所述第一透光绝缘层; 在所述沟槽中的第一彩色滤光片,所述第一彩色滤光片与所述第一透光绝缘层接触;以及 在所述沟槽中的第二彩色滤光片,所述第二彩色滤光片与所述第一透光绝缘层和所述第一彩色滤光片接触, 其中所述沟槽位于所述第一光电二极管和所述第二光电二极管之间。
15.如权利要求14所述的半导体器件,还包括: 在所述透光基板和所述第一透光绝缘层之间的第一挡光层和第二挡光层, 其中所述第一光电二极管与所述第一挡光层重叠,并且 其中所述第二光电二极管与所述第二挡光层重叠。
16.如权利要求15所述的半导体器件,其中所述第一挡光层和所述第二挡光层中的每一个均为反射层。
17.如权利要求14所述的半导体器件,还包括: 在所述第一透光绝缘层之上并与所述第一透光绝缘层接触的包括第三氧化物半导体膜的晶体管。
18.如权利要求14所述的半导体器件,还包括: 在所述第一彩色滤光片和所述第二彩色滤光片之上的液晶层;以及 在所述液晶层之上的基板。
19.如权利要求14所述的半导体器件,其中所述透光基板具有柔性。
20.如权利要求14所述的半导体器件,其中所述第一光电二极管和所述第二光电二极管中的每一个均为竖向二极管。
21.—种发光器件,包括: 在基板之上的第一光电二极管、第二光电二极管以及发光层;以及 在所述发光层之上的第一彩色滤光片和第二彩色滤光片, 其中所述第一彩色滤光片覆盖所述第一光电二极管, 其中所述第二彩色滤光片覆盖所述第二光电二极管,并且 其中包括所述第一彩色滤光片和所述第二彩色滤光片的挡光层位于所述第一光电二极管和所述第二光电二极管之间。
22.如权利要求21所述的发光器件,还包括: 在所述基板之上的第一挡光层和第二挡光层, 其中所述第一光电二极管形成在所述第一挡光层之上,并且 其中所述第二光电二极管形成在所述第二挡光层之上。
23.如权利要求22所述的发光器件,包括: 代替所述第一挡光层和所述第二挡光层的第一反射层和第二反射层。
24.—种半导体器件,包括: 在基板之上的第一光电二极管和第二光电二极管; 在所述第一光电二极管和所述第二光电二极管之上的绝缘膜,所述绝缘膜具有沟槽; 在所述绝缘膜之上的第一彩色滤光片和第二彩色滤光片, 其中在所述绝缘膜的所述沟槽中,所述第一彩色滤光片和所述第二彩色滤光片彼此接触,从而使得挡光层形成在所述沟槽中。
25.如权利要求24所述的半导体器件,所述半导体器件是光电检测器、液晶显示装置和发光器件中的一种。
【专利摘要】本发明涉及光电检测器、液晶显示器件和发光器件。本发明的一种实施例包括在透光基板之上的第一挡光层和第二挡光层,在第一挡光层之上的第一光电二极管,在第二挡光层之上的第二光电二极管,覆盖第一光电二极管的第一彩色滤光片,覆盖第二光电二极管的第二彩色滤光片,以及使用第一彩色滤光片和第二彩色滤光片形成的并布置于第一光电二极管和第二光电二极管之间的第三挡光层。
【IPC分类】H01L27-144, H01L27-146, G02F1-1335
【公开号】CN104795408
【申请号】CN201510068262
【发明人】黑川义元, 池田隆之
【申请人】株式会社半导体能源研究所
【公开日】2015年7月22日
【申请日】2010年8月20日
【公告号】CN101997053A, CN101997053B, US8773622, US20110042766, US20140285755
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