参数的配置文件，根据配置的参数的存在状态判断当前参数是否存在，若存在，则加载该参数，若不存在，则隐藏该参数。直至最后一个参数加载或隐藏完后，结束当前工艺配方的加载。
[0051]其中，配置文件中包括各个参数的名称和对应的各个参数的存在状态。
[0052]进一步地，作为一种可实施方式，参数的存在状态为I或0，其中，I代表存在，O代表不存在。
[0053]作为一种可实施方式，根据硬件设备的变化来手动设置工艺配方的各个参数是否存在。例如，对某一个参数，在配置文件中将其存在状态设置为“1”，则表示该参数需要使用，即在工艺配方界面中需要存在；如果设置为“0”，则表示该参数目前不使用，在工艺配方界面中需要隐藏。这样，在工艺配方加载时，就会根据配置文件中各个参数的存在状态进行加载，不需要出现提示框，使得显示界面更加友好。
[0054]本发明提供的半导体工艺配方的配置方法，在实现不同机台使用相同模板的工艺配方的同时，减少了开发或维护人员的代码维护操作和出错风险，使得显示界面更加友好。
[0055]基于同一发明构思，相应地本发明还提供一种半导体工艺配方的配置系统，由于此系统解决问题的原理与前述半导体工艺配方的配置方法的实现原理相似，此系统的实施可以通过前述方法的具体过程实现，因此重复之处不再赘述。
[0056]本发明实施例提供的半导体工艺配方的配置系统的一个实施例，如图2所示，包括配置文件预设模块100、参数配置模块200以及加载模块300 ；
[0057]配置文件预设模块100，用于为工艺配方中的所有参数建立配置文件；
[0058]参数配置模块200，用于根据硬件设备的变化，对配置文件中的各个参数的存在状态进行配置；
[0059]加载模块300，用于根据配置的参数的存在状态对工艺配方中的参数进行加载。
[0060]其中，加载模块300包括读取单元310、判断单元320、加载单元330以及隐藏单元340 ；
[0061]读取单元310，用于加载工艺配方时，读取配置后的配置文件；
[0062]判断单元320，用于根据配置的参数的存在状态判断当前参数是否存在；
[0063]加载单元330，用于在判断当前参数存在后，加载该参数；
[0064]隐藏单元340，用于在判断当前参数不存在后，隐藏该参数。
[0065]进一步地，加载模块300还包括循环判断单元；
[0066]循环判断单元，用于在加载单元330加载当前参数后，判断当前参数是否是工艺配方中的所有参数中的最后一个，若是，则显示所有加载的参数；若否，则读取下一个参数。
[0067]其中，配置文件中包括各个参数的名称和对应的各个参数的存在状态。
[0068]进一步地，作为一种可实施方式，参数的存在状态为I或0，其中，I代表存在，O代表不存在。
[0069]本发明提供的半导体工艺配方的配置方法及系统，通过为工艺配方中的所有参数建立配置文件，增加了对工艺配方中的参数进行设置的功能，使得操作人员可以根据硬件设备的变化，对配置文件中的各个参数的存在状态进行配置，在实现不同机台使用相同模板的工艺配方的同时，减少了开发或维护人员的代码维护操作和出错风险，使得显示界面更加友好。
[0070]以上实施例仅表达了本发明的几种实施方式，其描述较为具体和详细，但并不能因此而理解为对本发明专利范围的限制。应当指出的是，对于本领域的普通技术人员来说，在不脱离本发明构思的前提下，还可以做出若干变形和改进，这些都属于本发明的保护范围。因此，本发明专利的保护范围应以所附权利要求为准。
【主权项】
1.一种半导体工艺配方的配置方法，其特征在于，包括以下步骤: 为工艺配方中的所有参数建立配置文件； 根据硬件设备的变化，对所述配置文件中的各个所述参数的存在状态进行配置； 根据配置的所述参数的存在状态对所述工艺配方中的所述参数进行加载。2.根据权利要求1所述的半导体工艺配方的配置方法，其特征在于，所述根据配置的所述参数的存在状态对所述工艺配方中的所述参数进行加载，包括以下步骤: 在加载所述工艺配方时，读取配置后的所述配置文件； 根据配置的所述参数的存在状态判断当前所述参数是否存在； 若判断为是，则加载该参数； 若判断为否，则隐藏该参数。3.根据权利要求2所述的半导体工艺配方的配置方法，其特征在于，所述根据配置的所述参数的存在状态对所述工艺配方中的所述参数进行加载，还包括以下步骤: 在所述加载该参数的步骤后，判断当前所述参数是否是所述工艺配方中的所有参数中的最后一个；若是，则显示所有加载的所述参数；若否，则读取下一个所述参数。4.根据权利要求1至3任一项所述的半导体工艺配方的配置方法，其特征在于，所述配置文件中包括各个所述参数的名称和对应的各个所述参数的存在状态。5.根据权利要求4所述的半导体工艺配方的配置方法，其特征在于，所述参数的存在状态为I或O，其中，I代表存在，O代表不存在。6.一种半导体工艺配方的配置系统，其特征在于，包括配置文件预设模块、参数配置模块以及加载模块； 所述配置文件预设模块，用于为工艺配方中的所有参数建立配置文件； 所述参数配置模块，用于根据硬件设备的变化，对所述配置文件中的各个所述参数的存在状态进行配置； 所述加载模块，用于根据配置的所述参数的存在状态对所述工艺配方中的所述参数进行加载。7.根据权利要求6所述的半导体工艺配方的配置系统，其特征在于，所述加载模块包括读取单元、判断单元、加载单元以及隐藏单元； 所述读取单元，用于加载所述工艺配方时，读取配置后的所述配置文件； 所述判断单元，用于根据配置的所述参数的存在状态判断当前所述参数是否存在； 所述加载单元，用于在判断当前所述参数存在后，加载该参数； 所述隐藏单元，用于在判断当前所述参数不存在后，隐藏该参数。8.根据权利要求7所述的半导体工艺配方的配置系统，其特征在于，所述加载模块，还包括循环判断单元； 所述循环判断单元，用于在所述加载单元加载当前所述参数后，判断当前所述参数是否是所述工艺配方中的所有参数中的最后一个，若是，则显示所有加载的所述参数；若否，则读取下一个参数。9.根据权利要求6至8任一项所述的半导体工艺配方的配置系统，其特征在于，所述配置文件中包括各个所述参数的名称和对应的各个所述参数的存在状态。10.根据权利要求9所述的半导体工艺配方的配置系统，其特征在于，所述参数的存在状态为I或O，其中，I代表存在，O代表不存在。
【专利摘要】本发明公开了一种半导体工艺配方的配置方法及系统，其中方法包括：为工艺配方中的所有参数建立配置文件；根据硬件设备的变化，对配置文件中的各个参数的存在状态进行配置；根据配置的参数的存在状态对工艺配方中的参数进行加载。本发明提供的半导体工艺配方的配置方法及系统，通过为工艺配方中的所有参数建立配置文件，根据硬件设备的变化对工艺配方中各个参数的存在状态进行配置，使其满足不同硬件设备的需求，实现在不同设备使用相同模板的工艺配方的同时，减少开发或维护人员的代码维护操作和出错风险，使得显示界面更加友好。
【IPC分类】H01L21/67
【公开号】CN104952764
【申请号】CN201410125776
【发明人】蔡纯兴
【申请人】北京北方微电子基地设备工艺研究中心有限责任公司
【公开日】2015年9月30日
【申请日】2014年3月31日