旋转限制装置以及包含该旋转限制装置的基板搬运装置的制造方法
【技术领域】
[0001]本发明涉及用于搬运基板的基板搬运装置。
【背景技术】
[0002]显示装置、太阳能电池、半导体元件等(以下称“电子部件”)经过各种工序制造而成。这些制造工序中利用用于制造所述电子部件的基板(substrate)。例如，所述制造工序可以包括在基板上沉积导体、半导体、电介质等薄膜的沉积工序以及使沉积后的薄膜形成为规定图案的蚀刻工序等。这些制造工序在进行相关工序的工艺腔室内完成。基板搬运装置用于在所述工艺腔室之间搬运基板。
[0003]图1是示出现有技术涉及的基板搬运装置的概略立体图。
[0004]参照图1，现有技术涉及的基板搬运装置I包括:搬运臂10，用于支撑基板S ;升降部20，用于升降所述搬运臂10 ;旋转部30，用于旋转所述搬运臂10 ;以及限制部40，用于限制所述旋转部30的旋转范围。
[0005]所述搬运臂10在支撑所述基板S的状态下水平移动，从而搬运所述基板10。所述搬运臂10包括:支撑机械手11，用于支撑所述基板10 ;臂单元12，用于在水平方向上搬运所述支撑机械手11 ;以及臂基体13，其一侧与所述臂单元12结合，另一侧与所述升降部20
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[0006]所述升降部20使所述搬运臂10在垂直方向上移动。所述升降部20通过升降所述臂基体13来使结合于所述臂基体13上的所述支撑机械手11以及所述臂单元12升降。所述升降部20包括:第一升降单元21，结合于所述旋转部30上；以及第二升降单元22，其一侧与所述第一升降单元21结合，另一侧与所述搬运臂10结合。
[0007]所述旋转部30用于使所述升降部20旋转。所述旋转部30以旋转轴31为中心旋转所述升降部20，从而使被支撑在所述搬运臂10上的所述基板S旋转。
[0008]所述限制部40限制所述旋转部30的旋转范围。所述限制部40包括:第一限制构件41，与所述旋转部30结合；第二限制构件42，与结合有所述旋转部30的运行底座50结合，用于限制所述旋转部30的旋转范围。
[0009]所述第一限制构件41结合于所述旋转部30上。所述旋转部30旋转时，所述第一限制构件41与所述第二限制构件42相接触，以便限制所述旋转部30的旋转范围。
[0010]所述第二限制构件42结合于所述运行底座50上。所述第二限制构件42通过所述旋转轴31以顺时针方向或者逆时针方向旋转来限制所述第一限制构件41的移动，从而限制所述旋转部30的旋转范围。
[0011]在此，对现有技术涉及的基板搬运装置I而言，通过所述第二限制构件42来限制所述第一限制构件41的移动路径，从而限制所述旋转部30的旋转范围。因此，对现有技术涉及的基板搬运装置I而言，由于所述第二限制构件42的厚度而形成所述旋转部30不能旋转的范围R。因此，现有技术涉及的基板搬运装置1，由于所述第二限制构件42所具有的厚度导致所述旋转部30的旋转范围变小，从而限制所述旋转部30的活动区域，降低搬运所述基板S的工作效率。
【发明内容】
[0012]所要解决的技术问题
[0013]本发明为了解决如上所述的问题而提出，其目的在于，提供一种能够防止由于第二限制构件的厚度而形成旋转轴不能旋转的范围的旋转限制装置以及包含该旋转限制装置的基板搬运装置。
[0014]解决技术问题的方案
[0015]为了解决如上所述的技术问题，本发明可以包括如下结构。
[0016]本发明涉及的基板搬运装置用的旋转限制装置，其特征在于，包括:第一限制构件，结合于旋转部上，所述旋转部与用于支撑基板的搬运臂连接，并且以旋转轴为中心旋转，从而使所述搬运臂旋转；第二限制构件，可旋转地结合于运行底座上，在所述第一限制构件旋转时接触于所述第一限制构件，以限制所述第一限制构件的旋转，其中，所述运行底座上可旋转地结合有所述旋转部；以及移动构件，用于控制所述第二限制构件的位置，若所述第一限制构件旋转而接触于所述第二限制构件，则所述第二限制构件一同旋转，当所述第二限制构件与所述第一限制构件接触而旋转时，所述移动构件控制所述第二限制构件的位置，以限制所述第二限制构件的旋转范围，从而在确保所述旋转部旋转一圈的同时防止所述旋转部连续旋转。
[0017]根据本发明涉及的基板搬运装置用的旋转限制装置，其特征在于，所述移动构件控制所述第二限制构件的位置，使得所述第二限制构件位于第一位置和第二位置之间，所述第一位置是所述第二限制构件由于与所述第一限制构件接触从而向第一方向旋转后接触于所述运行底座的位置，所述第二位置是所述第二限制构件由于与所述第一限制构件接触从而向相反于所述第一方向的第二方向旋转后接触于所述运行底座的位置。
[0018]根据本发明涉及的基板搬运装置用的旋转限制装置，其特征在于，所述移动构件包括:第一喷射机构，向所述第二限制构件侧喷射气体，以使所述第二限制构件向所述第二方向移动；以及第二喷射机构，向所述第二限制构件侧喷射气体，以使所述第二限制构件向所述第一方向移动，基于所述第一喷射机构以及所述第二喷射机构来控制所述第二限制构件，使得所述第二限制构件位于所述第一位置和所述第二位置之间。
[0019]根据本发明涉及的基板搬运装置用的旋转限制装置，其特征在于，所述移动构件包括:第一弹性构件，向所述第二限制构件提供在所述第二方向上的弹力；以及第二弹性构件，向所述第二限制构件提供在所述第一方向上的弹力，基于所述第一弹性构件以及所述第二弹性构件来控制所述第二限制构件，使得所述第二限制构件位于所述第一位置和所述第二位置之间。
[0020]本发明涉及的基板搬运装置，其特征在于，包括:搬运臂，用于搬运基板；升降部，用于升降所述搬运臂，以改变所述搬运臂所位于的高度；旋转部，用于旋转所述升降部，以改变所述搬运臂所朝向的方向；以及上述的任意一种基板搬运装置用的旋转限制装置，用于限制所述旋转部的旋转。
[0021]发明效果
[0022]根据本发明，具有如下效果。
[0023]在本发明中，第二限制构件可移动地结合于运行底座上，从而能够防止由于第二限制构件的厚度而形成旋转部不能旋转的范围，并且能够限制旋转部的旋转，以使其不能连续旋转，由此，能够提高搬运基板的工作效率。
【附图说明】
[0024]图1是示出现有技术涉及的基板搬运装置的概略立体图。
[0025]图2是示出本发明涉及的基板搬运装置的概略立体图。
[0026]图3是为了说明基板搬运装置中的旋转限制装置而放大了图2的A部分以示出第一限制构件的旋转状态的放大图。
[0027]图4是为了说明基板搬运装置中的旋转限制装置而放大了图2的A部分以示出第一限制构件向另一方向旋转的状态的放大图。
[0028]图5是为了示出基板搬运装置中的旋转限制装置的变形例而放大了图2的A部分的放大图。
[0029]附图标记
[0030]100:基板搬运装置
[0031]110:基板
[0032]120:搬运臂
[0033]121:支撑机械手
[0034]122:臂单元
[0035]123:臂基体
[0036]130:升降部
[0037]140:旋转部
[0038]141:旋转轴
[0039]150:运行底座
[0040]200:旋转限制装置
[0041]210:第一限制构件
[0042]220:第二限制构件
[0043]230:移动构件
[0044]231:第一弹性构件
[0045]232:第二弹性构件
[0046]233:第一喷射机构
[0047]233a:第一喷射孔
[0048]234:第二喷射机构
[0049]234a:第二喷射孔
【具体实施方式】
[0050]需要注意的是，在给各附图中的构成要素赋予附图标记时，对于相同的构成要素，虽然在不同的附图中示出，但也是尽可能地赋予相同的附图标记。
[0051]另一方面，本说明书中所使用的术语的含义应