0可为具有固定盒来固持多个基板的容器。FOUP 110可各自具有前 开孔接口，所述前开孔接口配置来与工厂接口 108-起使用。在其他实施方式中，任何合适 种类的舱及/或负载接口可用来取代FOUP 110。工厂接口 108可具有一或更多个机器人(未 图示），一或更多个机器人配置来经由FOUP 110与负载锁定腔室106之间的线性、旋转的、 及/或垂直移动，W任何顺序或方向来传送基板。电子装置制造系统100可具有其他合适数 量的 FOUP 110。
[0042] 控制器112可控制基板的某些或全部的处理与传送进与通过电子装置制造系统 100。控制器112可为例如通用目标计算机，及/或控制器112可包括微处理器或其他合适的 CPlK中央处理单元）、用于存储控制电子装置制造系统100的软件例程的存储器、输入/输出 周边、与支持电路(像是例如，电源、频率电路、用于驱动机器人的电路、快取、及/或类似 者)。
[0043] 在其他实施方式中，电子装置制造系统100可具有其他合适数量与配置的传送腔 室1〇2(包括其他合适的形状）、处理腔室104、及/或负载锁定腔室106,每个腔室可为传统的 设计及/或架构。
[0044] 传送腔室102W及每个处理腔室104与负载锁定腔室106可具有一或更多个腔室端 口 114。腔室端口 114可为腔室的侧壁中的开孔，配置来允许水平定向的基板经由机器人或 其他合适的机构而传送通过其中。每个腔室端口 114可为例如伸长的狭孔或狭缝。腔室端口 114可具有其他合适的配置。每个腔室端口 114可配置成禪接于腔室端口组件116的一侧。
[0045] 多个腔室端口组件116可包括于电子装置制造系统100中。腔室端口组件116可配 置来在腔室的对应腔室端口 114处接合（interface)-个腔室与另一腔室。例如，如同图1所 示，个别的腔室端口组件116可接合传送腔室102与处理腔室104及/或负载锁定腔室106。一 个腔室可禪接于腔室端口组件116的一侧，且另一腔室可禪接于腔室端口组件116的相对 侧。腔室端口组件116可具有基板传送区域在其中，通过基板传送区域可经由机器人或其他 合适的机构将水平定向的基板传送于相邻的腔室之间。腔室端口组件116可包括流量阀机 构或其他合适的装置，用于打开与关闭至基板传送区域的开孔。
[0046] 图2根据一或更多个实施方式，绘示禪接于处理腔室204(其中移除了盖体)的腔室 端口组件216。腔室端口组件216可包括框体218，框体218具有多个禪接位置220(图2中仅标 示出=个)形成于框体218接合于腔室的每一侧上。禪接位置220可为例如螺孔，配置来接收 对应的螺纹紧固件。例如，腔室端口组件216可利用多个紧固件而禪接于处理腔室204,紧固 件可具有螺纹部，紧固件插设通过处理腔室204的侧壁中的对应通孔并且被接收于框体218 上所形成的个别多个禪接位置220中。一或更多个0形环可设置于腔室端口组件216与处理 腔室204之间，W提供防空气的密封于其间。防空气的密封允许基板通过腔室之间，而不会 使任一腔室丧失其中的真空压力。腔室端口组件216可用任何其他合适的方式禪接于处理 腔室204。
[0047] 腔室端口组件216可具有第一腔室侧部322，第一腔室侧部322可为处理腔室侧部， 如同图3A与图3B所示。第一腔室侧部322可配置来禪接于例如如同上述的处理腔室204,及/ 或禪接于任一处理腔室104。第一腔室侧部322可具有第一开孔324,第一开孔324的尺寸经 过设计，W允许水平定向的基板经由机器人或其他合适的机构而传送通过其中。如同上述， 第一腔室侧部322可具有多个禪接位置220(图3A中标示出屯个)形成于框体218上，用于禪 接于处理腔室。第一腔室侧部322也可具有一或更多个0形环326设置于其上，W提供与处理 腔室的防空气密封。
[004引腔室端口组件216可具有第二腔室侧部328，第二腔室侧部328可为传送腔室侧部， 如同图3C与图3D所示。第二腔室侧部328可配置来禪接于例如传送腔室102。第二腔室侧部 328可具有一或更多个O形环327(仅图示一个)设置于其上，W提供腔室端口组件216与传送 腔室之间的防空气密封。第二腔室侧部328可具有第二开孔330,第二开孔330的尺寸经过设 计，W允许水平定向的基板经由机器人或其他合适的机构而传送通过其中。第二开孔330可 大于第一开孔324。基板传送区域332可位于第一腔室侧部322与第二腔室侧部328之间，且 更具体地，位于第一开孔324与第二开孔330之间。当基板经由机器人或其他合适的机构通 过腔室端口组件216从第一腔室传送至第二腔室（其可为处理腔室与传送腔室，或反之亦 然)时，基板传送区域332可配置来接收通过其中的基板。
[0049] 腔室端口组件216可包括流量阀机构234。流量阀机构234可包括流量阀口 336 (见 图3B与图3D)与致动汽缸238，所述致动汽缸238用于操纵流量阀口 336。在某些实施方式中， 流量阀口336与致动汽缸238可位于基板传送区域332中。流量阀口336可配置成具有打开与 关闭位置。在打开位置中，基板可经由机器人或其他合适的机构通过基板传送区域332W及 第一与第二开孔324与330传送。在关闭位置中，流量阀口336可密封第一开孔324, W提供禪 接于腔室端口组件216的相邻腔室之间的防空气界线。在某些实施方式中，流量阀机构234 可为L形移动流量阀机构。流量阀机构234可另外为任何合适及/或传统的架构。其他合适的 装置可替代地用于打开与关闭腔室端口组件216。
[0050] 图4A至图4E根据一或更多个实施方式，绘示腔室端口组件216的子组件400,子组 件400可配置来提供净化气体功能给基板传送区域332。基板传送区域332中与周围的净化 气体功能可减少腔室端口组件部件与密封组件的氧化及/或腐蚀，可减少基板传送区域332 中产生的微粒状物质，及/或可净化基板传送区域332的微粒状物质，微粒状物质来自腔室 硬件并且可能迁移至正传送通过腔室端口组件216的基板上。腔室端口组件216的子组件 400可包括盖体440、一或更多个气体导管构件442、框插件444、与一或更多个气体喷嘴446 (在图4A与图4B的每一图中仅标示四个）。图4A与图4B绘示来自腔室端口组件216的第一腔 室侧部322的盖体440、框插件444、与气体喷嘴446,而图4C、图4D与图4E绘示来自腔室端口 组件216的第二腔室侧部328的盖体440、气体导管构件442、与框插件444。
[0051] 如同图4C最佳图示的，当流量阀口336在关闭位置中时，流量阀口336可抵接于框 插件444并且密封第一开孔324。也就是说，流量阀口 336可由流量阀机构234的致动汽缸238 而坐落于框插件444中并且偏移相抵于框插件444, W产生防空气密封于第一开孔324处。 [0化2]图5A至图5C绘示盖体440,盖体440在某些实施方式中可坐落于每一气体导管构件 442上或对接于每一气体导管构件442(注意到，图4C仅绘示一个气体导管构件442)。换句话 说，盖体440可能不是直接机械性紧固或附接至气体导管构件442。而是，如同图5A所示，盖 体440可具有多个通孔548(仅标示出S个)形成于盖体440的顶表面549中。通孔548可各自 配置来接收紧固件450(见图4A至图4E)，紧固件450用于附接盖体440至腔室端口组件216的 框体218(见图5B)。紧固件450可为例如有螺纹的螺丝或螺钉。如同图5C所示，坐落于盖体 440的底表面559周界周围的凹槽中的0形环527可用于提供与框体218的防空气密封。盖体 440可用任何其他合适的方式固定至框体218。在其他实施方式中，盖体440可替代地或额外 地直接机械性紧固或附接至气体导管构件442。
[0053] 也如同图5A所示，盖体440可具有气体入口 552形成于顶表面549中。气体入口 552 可配置来禪接于气体入口连接器354 (如同图3A至图3D所示），气体入口连接器354接着可禪 接于气体管线355,气体管线355可禪接于气体传送装置356。气体入口连接器354、气体管线 355、与气体装置356的某些或全部可为传统的设计及/或架构。在某些实施方式中，气体传 送装置356可配置来传送净化气体(像是例如，氮)至腔室端口组件216,如同下面另外叙述 的。
[0054] 图5B绘示盖体440(其中沿着图5A的截面线5A-5B而移除顶表面549)，盖体440附接 于框体218。盖体440可具有气体通道557内部地且纵向地延伸通过盖体440。气体通道558可 流体连通于气体入口 552 W及气体出口 558a与558b。如同图5C所示，气体出口 558a与558b可 延伸通过盖体440的底表面559。盖体440可由侣、不诱钢、一或更多个铁类材料及/或任何其 他合适的材料制成。
[0055] 图6A至图6B根据一或更多个实施方式，绘示气体导管构件442。在某些实施方式 中，一或更多个气体导管构件442可设置于盖体440与框插件444之间，如同也许图4E最佳绘 示的。气体导管构件442可利用螺钉或螺丝而附接于框插件444。例如，气体导管构件442可 具有多个通孔648,多个通孔648配置成对准于框插件444上所形成的禪接位置460a-d(见例 如图4D)。禪接位置460a-d可各自为有螺纹的孔，配置来接收有螺纹的螺钉或螺丝，有螺纹 的螺钉或螺丝可为例如头部为六角形的螺钉或螺丝，为了方便性，利用中空、头部为六角形 的锁钥工具来安装与移除。在某些实施方式中，例如，四个禪接位置的两个禪接位置460a与 460c可为对准的暗禅，配置成被接收于四个对准的通孔648的两个中，其中螺钉或螺丝可拴 紧通过另两个通孔648进入对准的禪接位置46化与460d。气体导管构件442可用任何其他合 适的方式附接于框插件444或腔室端口组件216的任何其他合适部件。气体导管构件442可 为