场效应晶体管构造及存储器阵列的制作方法
场效应晶体管构造及存储器阵列的制作方法
【专利摘要】本发明揭示一种晶体管，在一些实施例中，其包含具有底部源极/漏极区、第一绝缘材料、导电栅极、第二绝缘材料及顶部源极/漏极区的堆叠。所述堆叠具有垂直侧壁，其具有沿着所述底部源极/漏极区的底部部分，沿着所述导电栅极的中间部分，以及沿着所述顶部源极/漏极区的顶部部分。第三绝缘材料沿着所述垂直侧壁的所述中间部分。沟道区材料沿着所述第三绝缘材料。所述沟道区材料直接抵靠所述垂直侧壁的所述顶部部分及所述底部部分。所述沟道区材料具有处在从大于约3A到小于或等于约IθA的范围内的厚度；及/或具有从1单分子层到7单分子层的厚度。
【专利说明】
场效应晶体管构造及存储器阵列
[0001] 相关专利数据
[0002] 本申请案是2014年1月10日申请的序列号为14/152,664的美国申请案的部分接续 申请案。
技术领域
[0003] 本文所掲示的实施例设及场效应晶体管构造且设及具有多个场效应晶体管的存 储器阵列。
【背景技术】
[0004] 存储器是一种类型的集成电路，且在计算机系统中用于存储数据。可W个别存储 器单元的一或多个阵列制造存储器。可使用数字线(其也可被称作位线、数据线、感测线或 数据/感测线)及存取线(其也可被称作字线)写入或读取存储器单元。数字线可沿着阵列的 列与存储器单元导电互连，且存取线可沿着阵列的行与存储器单元导电互连。每一存储器 单元可通过数字线及存取线的组合唯一地寻址。
[0005] 存储器单元可为易失性或非易失性的。非易失性存储器单元在许多情况中（包含 当关闭计算机时)可在延长时段内存储数据。易失性存储器耗散且因此需要刷新/重写，在 许多情况中需要每秒多次刷新/重写。无论如何，存储器单元经配置W将存储器保持或存储 于至少两个不同可选状态中。在二进制系统中，所述状态被视为"0"或"1"。在其它系统中， 至少一些个别存储器单元可经配置W存储多于两个层级或状态的信息。
[0006] 场效应晶体管是一种可在存储器单元中使用的电子组件。运些晶体管包括其间具 有半导体沟道区的一对导电源极/漏极区。导电栅极邻近沟道区且通过薄栅极电介质与所 述沟道区隔开。施加合适的电压到栅极允许电流从源极/漏极区域中的一者流经沟道区到 另一者。当从栅极移除电压时，极大程度上防止电流流经沟道区。场效应晶体管也可包含额 外结构（例如可逆可编程电荷存储区）作为栅极构造的部分。理想地，使沟道区的长度尽可 能地短W最大化晶体管在"导通"状态中的操作速度且最大化电路密度。然而，在"关闭"状 态中短物理沟道长度是不良的，运是因为相比于长沟道装置，短沟道装置中源极/漏极区域 之间的泄漏电流（Ioff)更大。也需开发可按比例调整到占据面积越来越小且集成水平越来 越高的垂直定向场效应晶体管。
【附图说明】
[0007] 图1是根据本发明的实施例包括场效应晶体管的衬底片段的示意截面图。
[000引图2是根据本发明的实施例包括场效应晶体管的衬底片段的示意截面图。
[0009] 图3是根据本发明的实施例包括场效应晶体管的衬底片段的示意截面图。
[0010] 图4是根据本发明的实施例包括场效应晶体管的衬底片段的示意截面图。
[0011] 图5是通过图4中的线5-5所得的截面图。
[0012] 图6是通过图4中的线6-6所得的截面图。
[0013] 图7是通过图4中的线7-7所得的截面图。
[0014] 图8是根据本发明的实施例包括存储器阵列的部分的衬底片段的示意截面图。
[0015] 图9是通过图8中的线9-9所得的截面图。
[0016] 图10是通过图8中的线10-10所得的截面图。
[0017] 图11是根据本发明的实施例包括存储器阵列的部分的衬底片段的示意截面图。 [001引图12是通过图11中的线12-12所得的截面图。
[0019] 图13是通过图11中的线13-13所得的截面图。
[0020] 图14是通过图11中的线14-14所得的截面图。
[0021] 图15是根据本发明的实施例包括存储器阵列的部分的衬底片段的示意截面图。
[0022] 图16到20是根据额外实例实施例的垂直晶体管构造的示意截面图。
[0023] 图21到29是可用于制造包括实例实施例晶体管的集成电路的实例实施例处理阶 段的示意截面图。
[0024] 图30是集成电路的多个层级的实例实施例堆叠布置的示意横截面图。
【具体实施方式】
[0025] 首先参考图1描述根据本发明的实施例的实例场效应晶体管构造。实例衬底片段 10包括其上形成有包括场效应晶体管构造14的各种材料的电介质材料（即，绝缘材料）12。 实例电介质材料12是渗杂二氧化娃、无渗杂二氧化娃及氮化娃。其它部分或整体制作的集 成电路的组件可形成为材料12的部分或可处于材料12的立面内部。衬底片段10可包括半导 体衬底。在此文献的上下文中，术语"半导体衬底"或"半导电衬底"经界定W意指包括半导 电材料的任何构造，包含(但不限于)块状半导电材料(例如半导电晶片）（单独地或W在其 上包括有其它材料的组合件)及半导电材料层(单独地或W在其上包括有其它材料的组合 件）。术语"衬底"是指任何支撑结构，包含(但不限于)上文所描述的半导电衬底。在一些实 施例中，可将材料12用作"衬底"或"基座"的实例。
[0026] 本文所描述的材料及/或结构中的任一者可为同质的或非同质的，且无论如何在 其上覆的任何材料上可为连续或不连续的。如本文所使用，例如如果此类材料是非同质的， 那么"不同成分"仅要求两个所陈述的材料中彼此可直接抵靠的那些部分在化学上及/或物 理上不同。如果两个所陈述的材料不彼此直接抵靠且如果此类材料是非同质的，那么"不同 成分"仅要求两个所陈述的材料中彼此最接近的那些部分在化学上及/或物理上不同。在此 文献中，当所述的材料或结构相对于彼此至少存在一些物理接触时，材料或结构是"直接抵 靠"另一者。相反，未在前面注明"直接"的"在…上方"、"在…之上"及"抵靠"则包括"直接抵 靠"W及其中介入材料或结构导致与所陈述的材料或结构相对于彼此无物理接触的构造。 此外，除非另有声明，否则可使用任何合适的现有或仍待开发的技术形成每一材料，其中实 例包含原子层沉积、化学气相沉积、物理气相沉积、外延生长、扩散渗杂及离子植入。
[0027] 晶体管构造14包括两个源极/漏极区16、18及其间的沟道区20。沟道区20包括沟道 材料22(其也可被称作沟道区材料），其具有1单分子层到7单分子层的厚度且具有介于源 极/漏极区16与18之间的物理长度(例如，展示为加括号的跨度20的长度）。在此文献中，将 "厚度"界定为从紧邻的成分不同的材料的最近表面垂直地穿过给定材料所得的平均直线 距离。沟道材料22可包括任何合适的成分或成分的组合。在一些实施例中，沟道材料22可包 括、基本上由或由过渡金属硫属化物组成;且因此可被称作过渡金属硫属化物材料。所述过 渡金属硫属化物可（例如)包括、基本上由或由过渡金属二硫属化物(例如，MoS2、WS2、InS2、 InSe2、MoSe2、WSe52 等等）及/或过渡金属 S硫属化物（例如，M0S3、WS3、InS3、InSes、MoSe3、WSe3 等等)组成。在一个实施例中，过渡金属硫属化物材料22的厚度不大于4单分子层，且在一个 实施例中其厚度不大于2单分子层。
[00%]在一个实施例中且如所展示，源极/漏极区16及18也包括具有1单分子层到7单分 子层的厚度的过渡金属硫属化物材料22(例如，材料22的延伸部分19)。源极/漏极区16及18 经展示为包括直接抵靠硫属化物材料22的传导（即导电)材料30。导电材料30可为导电性渗 杂半导电材料、一或多个元素金属、元素金属的合金及导电金属化合物中的任何一或多者。 在材料12与30之间缺少过渡金属硫属化物材料22的情况下，导电材料30可替代地延伸到电 介质材料12。另外，当硫属化物材料22介于材料12与30之间时，相应源极/漏极区可被视为 直接抵靠材料30的构成材料22,其中材料30被视为与材料22的导电接触件，而其本身不一 定被视为晶体管构造14的两个源极/漏极区的部分。
[0029] 在一个实施例中，沟道区20没有导电率增强杂质且在一个实施例中没有可检测导 电性增强杂质。在此文献中，"没有导电率增强杂质"意指不多于IxlOi4原子/立方厘米。在一 个实施例中，源极/漏极区16及18没有导电率增强杂质且在一个实施例中没有可检测导电 率增强杂质。在其中过渡金属硫属化物材料22包括相应源极/漏极区的至少部分的一个实 施例中，此材料22没有导电率增强杂质且在一个实施例中没有可检测导电率增强杂质。
[0030] 晶体管构造14包括相对于沟道区20的物理长度在操作上接近沟道区20的中间部 分26的中间栅极24。在一个实施例中且如所展示，中间部分26相对于沟道区20居中。中间栅 极24可被视为具有相对侧28及29。一对栅极32及33分别操作上接近沟道区20的不同部分34 及35,其中部分34及35各自不同于部分26。在所描绘的实例中，在侧28上栅极32与中间栅极 24隔开且电隔离，且在侧29上栅极33与中间栅极24隔开且电隔离。横向介于紧邻的导电组 件30、32、24、33及30之间的电介质材料36展示发生此电隔离。实例电介质材料36与材料12 是相同的。结构30、32、24及33的导电材料之间的电介质材料36的实例横向厚度是从约1纳 米到15纳米。另外，栅极电介质38介于沟道区20与中间栅极24、栅极32及栅极33中的每一者 之间。栅极电介质38的实例厚度是从约1纳米到30纳米。
[0031] 在一个实施例中，栅极32及33电禪合在一起，例如如经由互连线39概略地所展示。 在一个实施例中，中间栅极24具有与栅极32及33中的至少一者的功函数不同的功函数。栅 极32及33相对于彼此可具有相同功函数或相对于彼此可具有不同功函数。在此文献的上下 文中，相同功函数意指功函数中的差值为零到不大于O.leV，且不同功函数意指功函数中的 差值为至少〇.2eV。在一个实施例中，中间栅极24、栅极32及栅极33具有相同功函数。在一个 实施例中，栅极32及33具有相同成分。在一个实施例中，中间栅极24、栅极32及栅极33皆具 有相同成分。在一个实施例中，中间栅极24、栅极32及栅极33包括n型导电性渗杂半导电材 料。在一个此实施例中，中间栅极24的功函数大于栅极32及33的功函数（即，大至少0.2eV)。 在一个实施例中，中间栅极24、栅极32及33包括P型导电性渗杂半导电材料。在一个此实施 例中，中间栅极24的功函数小于栅极32及33的功函数（即，小至少0.2eV)。作为栅极24、32及 33的材料的一些实例，n+渗杂多晶娃及P+渗杂多晶娃（即，将每一者渗杂为至少lXl〇w原子/ 立方厘米)分别具有约4. OeV及5. IeV的功函数。TiN具有约4.65eV的功函数，其中W及WN具有 范围介于约4.3eV与4.6eV之间的功函数。
[0032] 图2展示根据本发明的替代实施例的相对于衬底片段IOa形成的场效应晶体管构 造14a。在适当的情况下使用来自上文所描述的实施例的类似数字，其中使用后缀V'指示 一些构造差异。栅极32、24及33可被视为分别包括相对侧40及41，其中中间栅极24的所述侧 不同于相对中间栅极侧28及29。沟道区20a在中间栅极24及栅极32、33对的相对侧40及41中 的每一者上包括具有1单分子层到7单分子层的厚度的过渡金属硫属化物材料22。栅极电介 质38介于过渡金属硫属化物材料22与中间栅极24及栅极32、33对的相对侧40、41中的每一 者之间。在一个实施例中且如所展示，源极/漏极区16a及18a个别地包括过渡金属硫属化物 材料22的两个分隔部分19。导电材料30介于源极/漏极区16a、18a两者内的部分19之间且与 其电禪合。再次，取决于材料30的成分，可将其视为源极/漏极区16a、18a的部分或介于被视 为硫属化物材料22的部分19的源极/漏极区之间的导电互连件。作为替代构造且类似于上 文相对于图1所描述的构造，没有过渡金属硫属化物材料22可介于材料30与材料12(未展 示)之间，且介于材料30与材料36(未展示)之间。
[0033] 根据本发明的实施例的场效应晶体管构造可具有任何所要的定向。图1及2展示构 造14及14a为水平定向。在替代实施例中，场效应晶体管构造可垂直定向或非垂直或非水平 定向。在此文献中，垂直是大体上正交与水平的方向，其中水平指代沿着在制造期间处理衬 底所相对的主要表面的一般方向。此外，本文所使用的垂直及水平大体上是独立于衬底在 =维空间中的定向相对于彼此垂直的方向。另外，立面、上方及下方是参考垂直方向。此外 在此文献的上下文中，垂直定向晶体管的特征在于在垂直方向上穿过沟道区的主要电流流 动。此外在此文献的上下文中，水平定向的晶体管的特征在于在水平方向上穿过沟道的主 要电流流动。
[0034] 作为实例，相对于图3中的衬底IOb展示垂直定向场效应晶体管构造14b。在适当的 情况下已使用来自上文所描述的实施例的类似数字，其中使用后缀"b"或使用不同数字指 示一些构造差异。图3的构造类似于图2的构造，尽管可使用类似于图1的结构或其它结构。 图3展示垂直定向场效应晶体管构造14b，其中栅极33包括与中间栅极24的材料向上隔开且 与其电隔离的外部栅极材料。栅极32包括与中间栅极24的材料向下隔开且电隔离的内部栅 极材料。源极/漏极区18a可被视为立面外部源极/漏极区且源极/漏极区16a可被视为立面 内部源极/漏极区。外部源极/漏极区18a及内部源极/漏极区16a可被视为包括相应横向外 部侧壁44。在一个实施例中，导电接触件45直接抵靠外部源极/漏极区18a的过渡金属硫属 化物材料22的横向外部侧壁44。在一个实施例中，导电接触件46直接抵靠内部源极/漏极区 16a的过渡金属硫属化物材料22的横向外部侧壁44。导电接触件45及46分别经展示为仅接 触每一源极/漏极区的过渡金属硫属化物材料22的一个横向外部侧壁。替代地或另外，导电 接触件可相对于源极/漏极区的一或二者直接抵靠(未展示)过渡金属硫属化物材料22的另 一横向外部侧壁。
[0035] 接下来参考展示衬底IOc的图4到7描述替代实施例垂直场效应晶体管构造14c。在 适当的情况下已使用来自上文所描述的实施例的类似数字，其中使用后缀V'或使用不同 数字指示一些构造差异。垂直晶体管构造 Hc包括绝缘核忍48(即，电隔离）。绝缘核忍48的 材料可为电介质，包含(例如)上文相对于材料12及36的成分所描述的任何材料。绝缘核忍 48的材料可为半导电性或导电性，且(例如）可提供电隔离功能给垂直晶体管构造14c上方 及/或下方的电路组件(未展示），例如保持在接地或一些其它电位上。
[0036] 过渡金属硫属化物材料22c环绕绝缘核忍48且具有1单分子层到7单分子层的横向 壁厚度。栅极电介质38c环绕过渡金属硫属化物材料22c。在一个实施例中，绝缘核忍48、过 渡金属硫属化物材料22c及栅极电介质38c各自具有在水平截面上是环形的相应周边。
[0037] 导电中间栅极24c在过渡金属硫属化物材料22c的立面中间部分处环绕栅极电介 质38c。导电外部栅极材料33c在过渡金属硫属化物材料22c的立面外部部分35c处环绕栅极 电介质38c。外部栅极材料33c(例如通过电介质36c)与中间栅极材料24c立面隔开且电隔 离。导电内部栅极材料32c在过渡金属硫属化物材料22c的立面内部部分34c处环绕栅极电 介质38c。内部栅极材料32c(例如通过电介质36c)与中间栅极材料24c立面隔开且电隔离。 为简洁起见，未相对于内部栅极材料32c展示横截面图。此横截面应看上去与图6横截面相 同，但其中数字32c取代数字33c。
[0038] 立面外部源极/漏极区18c环绕绝缘核忍48且与外部栅极材料33c立面向外隔开且 与其电隔离。立面内部源极/漏极区16c环绕绝缘核忍48且与内部栅极材料32c立面向内隔 开且与其电隔离。在一个实施例中且如所展示，外部及内部源极/漏极区18c及16c分别包括 具有1单分子层到7单分子层的厚度的横向壁厚度的过渡金属硫属化物材料22c。在一个实 施例中，导电接触件直接抵靠外部源极/漏极区18c及内部源极/漏极区16c中的至少一者的 横向外部侧壁，其中展示实例导电接触件45c及46c。为简洁起见，未相对于内部源极/漏极 区16c展示横截面图。此横截面应看上去与图7横截面相同，但其中数字16c及46c分别取代 数字18c及45c。可相对于参考图4到7所描述的实施例应用上文相对于图1到3实施例所描述 的任何其它或额外属性。
[0039] 可将上文所描述的晶体管用作任何现有或仍待开发的集成电路的部分。另外，且 作为实例，可将多个上述的场效应晶体管并入阵列（例如存储器阵列）内。相对于本文关于 阵列的结构描述，子阵列（即，全阵列的部分)也可被视为阵列。在一个实施例中，根据本发 明的存储器阵列包括个别地包括垂直场效应晶体管的多个存储器单元。所述个别晶体管包 括立面外部源极/漏极区、立面内部源极/漏极区及立面介于外部与内部源极/漏极区之间 的沟道区。所述沟道区包括具有1单分子层到7单分子层的横向厚度的过渡金属硫属化物材 料且具有立面介于源极/漏极区之间的物理长度。在一个实施例中，立面外部及内部源极/ 漏极区包括具有1单分子层到7单分子层的横向壁厚度的过渡金属硫属化物材料。无论如 何，中间栅极横向地接近沟道区的立面中间部分。外部栅极处于中间栅极上方且横向地接 近沟道区的立面外部部分。所述外部栅极与中间栅极立面隔开且电隔离。内部栅极处于中 间栅极下方且横向地接近沟道区的立面内部部分。所述内部栅极与中间栅极立面隔开且电 隔离。栅极电介质横向地介于a)沟道区与b)中间栅极、外部栅极及内部栅极之间。理想地， 贯穿存储器阵列的晶体管构造是相同的，但不一定如此。仅W实例的方式，图3的晶体管构 造14b及图4到7的晶体管构造14c仅是根据本发明的可在存储器及/或晶体管阵列中使用的 两个实例垂直场效应晶体管构造。
[0040] 无论如何，a)阵列内外部栅极彼此电禪合及b)阵列内内部栅极彼此电禪合中的至 少一者。在一个实施例中，阵列内外部栅极彼此电禪合且阵列内内部栅极彼此电禪合。在一 个实施例中，阵列内全部内部栅极与全部外部栅极电禪合。可使用上文相对于图1到7实施 例所描述的其它或额外属性。
[0041] 根据本发明的实施例的一个此实例存储器阵列60的部分相对于图8到10中的衬底 IOd经展示，且其包括类似图4到7的场效应晶体管构造的多个场效应晶体管构造。在适当的 情况下已使用来自上文所描述的实施例的类似数字，其中使用后缀"d"或使用不同数字指 示一些构造差异。实例阵列60具有互连于（即，电禪合于)处于行或列62中的多个晶体管14d 之间的中间栅极24d，所述中间栅极24d通过合适的电介质材料64彼此隔开。a)阵列内外部 栅极33d彼此电禪合及b)阵列内内部栅极32d彼此电禪合中的至少一者。外部栅极33d经展 示贯穿阵列60电禪合，例如为板状。内部栅极32d经展示贯穿阵列60电禪合，例如为板状。栅 极33d及32d可彼此电禪合。电介质材料36d及64经展示使各种组件绝缘。可使用上文相对于 图1到7所描述的其它或额外属性。中间栅极24可互连于处于行或列中的阵列内W用作存取 线。位线(未展示)可与处于行或列的另一者中的多个外部源极/漏极18d或多个内部源极/ 漏极18e中的一者互连W用作数据/感测线。电荷存储装置(未展示）（例如，电容器)可电禪 合到多个外部源极/漏极18d或多个内部源极/漏极18e的另一者。
[0042] 替代实施例存储器阵列60e相对于图11到14中的衬底IOe经展示，且其包括类似图 3的场效应晶体管构造的多个场效应晶体管构造。在适当的情况下已使用来自上文所描述 的实施例的类似数字，其中使用后缀V'或使用不同数字指示一些构造差异。实例阵列60e 具有互连于（即，电禪合于)处于行或列62e中的多个晶体管He之间的中间栅极24e，所述中 间栅极24e通过电介质材料64e彼此隔开。a)阵列内外部栅极33e彼此电禪合及b)阵列内内 部栅极32e彼此电禪合中的至少一者。外部栅极33e示意性地且概略地经展示为经由互连线 39(图13)相对于彼此电禪合，且贯穿阵列全部所述外部栅极33e可彼此电禪合。同样地可如 此禪合内部栅极32e，且贯穿阵列栅极33e及32e可彼此电禪合。电介质材料64e使各种组件 绝缘。可使用上文相对于图1到10的实施例所描述的其它或额外属性。
[0043] 替代实施例存储器阵列60f相对于图15中的衬底IOf经展示且描述，且其并入类似 图3的垂直场效应晶体管构造的垂直场效晶体管构造且由此类似于图11到14的阵列60e。在 适当的情况下已使用来自上文所描述的实施例的类似数字，其中使用后缀吁"或使用不同 数字指示一些构造差异。晶体管构造Hf彼此水平隔开，其中阵列60f包括处于电介质材料 64f内且介于水平紧邻的晶体管构造Hf之间的反向偏置栅极75。如所展示，反向偏置栅极 75可分别沿着立面外部栅极、立面内部栅极及中间栅极33e、3^及24e立面延伸。个别反向 偏置栅极75也可如图12及13中所展示的材料24e及33e那样在平行于且介于材料24e及33e 的线之间的线上纵向延伸。在一个实施例中，阵列内的全部反向偏置栅极75彼此电禪合。可 使用上文相对于图1到14实施例所描述的其它或额外属性。
[0044] 技术人员可提供额外电路(未展示）用于存取(例如，读取自及/或写入到）阵列内 的存储器单元。此电路可包含将较大的存储器阵列形成为多个单独子阵列。将此段落到此 文献的末尾中所使用的"子阵列"界定为全存储器阵列单元的子集，所述子集的全存储器阵 列单元处于连续区域内且可独立于其中具有全存储器阵列单元的其它者的其它子阵列激 活。子阵列可先后或W其它方式相对于彼此独立制造且操作。无论如何，可W任何方式操作 根据本发明的实施例的晶体管及存储器阵列。理想地，可静电界定且动态改变根据本发明 的晶体管的有效沟道长度。作为相对于晶体管及/或存储器阵列的一个实例，贯穿全部给定 子阵列，栅极33d/33e/33f可相对于彼此电禪合且可分别电禪合到阵列60、60e及60f中的栅 极32d/32e/32f。在子阵列的"非作用"、"待命"或"关闭"状态中，可使此类栅极偏置使得其 紧邻的半导电过渡金属硫属化物材料22耗尽载子，由此使得个别晶体管的有效沟道长度更 长(例如，泄漏电流更少）。在本发明的上下文中，"耗尽载子"意指少于或等于IxlQis载子/立 方厘米(例如，电子或空穴）。在非作用、待命或关闭状态中，可将中间栅极24d/24e/24f设置 为O伏特或略呈负值。举例来说，全部"非作思'子阵列可使其栅极如此偏置。此结构及操作 可减少非作用、待命或关闭状态中的功率消耗。
[0045] 针对其中在一些时段内将相对于"作用"子阵列中的存储器单元发生读取及/或写 入的所述子阵列，可使栅极32、33偏置W引发其紧邻的过渡金属硫属化物材料中的高载子 密度，由此使得个别晶体管的有效沟道长度更短。在此文献的上下文中，"高载子密度"意指 至少IxlQis载子/立方厘米。作用子阵列中的中间栅极24d/24e/24f可在"导通"状态(例如， 电压值非零）中正常操作W造成电流流经有效较短晶体管沟道，或在"关断"状态(例如，电 压值为零)中正常操作W排斥此电流流动(但针对泄漏）。当然，可使用替代操作方式。
[0046] 在一些实施例中，认识到制造垂直场效应晶体管存在优势，所述垂直场效应晶体 管具有厚度与在晶体管的"导通"状态中的导电层厚度约相同的沟道材料。特定来说，常规 晶体管装置在沟道区上频繁使用相对厚的半导体材料，且所述半导体材料的大部分是多余 的。在"导通"状态中，仅沟道材料邻近栅极的部分实际承载电流。多余沟道材料可被视为浪 费空间，且减小装置的可伸缩性。相反，用于本文所描述的实施例中的薄沟道材料22可形成 为足W用于"导通"状态中所要的电流传导的厚度。在一些实施例中，沟道材料可形成为从 约3 A到约10 A的厚度;及/或可形成为从1单分子层到7单分子层的厚度。
[0047] 图16到20说明实例实施例垂直晶体管构造IOg到10k。
[004引参考图16,晶体管构造包括垂直定向堆叠66,所述垂直定向堆叠66包括（W递升顺 序)底部源极/漏极区16、第一绝缘材料67、栅极材料24(用于导电栅极25中）、第二绝缘材料 68及顶部源极/漏极区18。绝缘材料67及68可包括彼此相同的成分，或可包括不同的成分； 且在一些实施例中可包括与上文相对于绝缘材料36所描述相同的成分。
[0049] 堆叠66由对应于绝缘材料12的基座支撑。在所展示的实施例中，间隙将所述堆叠 与所述基座隔开W指示堆叠与基座之间可存在一或多个介入材料。
[0050] 堆叠具有彼此成对立关系的垂直侧壁70及72。垂直侧壁具有沿着底部源极/漏极 区16的底部部分73、沿着导电栅极25的中间部分75及沿着顶部源极/漏极区18的顶部部分 77。
[0051] 栅极电介质38(其可被称作绝缘材料，且在一些实施例中可被称作第=绝缘材料 W使其与第一及第二绝缘材料67及68区分)沿着垂直侧壁70/72的整个中间部分75。如在图 18到20中所说明，栅极电介质38也可垂直地重叠绝缘区67及68中的一或两者。
[0052] 沟道区材料22沿着栅极电介质38且通过栅极电介质38与导电栅极25隔开。沟道区 材料直接抵靠侧壁70/72的底部部分73的至少部分，且也直接抵靠侧壁70/72的顶部部分77 的至少部分。本文所描述的垂直晶体管构造的优势可为即使当构造按比例调整到较小尺 寸，源极/漏极区16及18的较大表面仍可直接禪合到沟道区材料22。特定来说，沟道区22垂 直地重叠源极/漏极区的侧壁，且直接抵靠此类侧壁。因此，即使通过沿着所说明的横截面 宽度将本文所描述的装置(例如，图16到20中所展示的晶体管装置)压缩来使所述装置收 缩，沟道区22与源极/漏极区之间的电禪合仍不受影响，因为沟道区与源极/漏极区之间的 垂直重叠面积可保持相同。沟道材料可为任何合适的材料，包含(例如)过渡金属硫属化物、 结晶半导体材料(例如，单晶娃、多晶娃等等）、或可W大体上2维定向（即，W具有长度与宽 度但厚度非常小的定向）形成的任何材料。
[0053] 在不同实施例中可改变沟道区材料22与源极/漏极区的重叠量，但至少一些沟道 区材料将垂直地重叠源极/漏极区中的每一者且直接接触源极/漏极区中的每一者。例如， 图18展示其中沟道区材料22仅部分垂直地重叠源极/漏极区16及18的实施例。
[0054] 沟道区材料22可包括上文所描述的成分中的任何者(举例来说，可包括、基本上由 或由过渡金属硫属化物组成，所述过渡金属硫属化物包括选择自由硫化钢、砸化钢、硫化 鹤、砸化鹤、硫化铜及砸化铜组成的群组中的一或多个材料），且也可具有处在从大于约 3 _1到小于或等于约10 A的范围内的厚度;及/或可具有从1单分子层到7单分子层的厚度。
[0055] 图16的构造具有沿着侧壁70及72两者形成的沟道材料22;且因此具有关于垂直面 78的镜像对称。在其它实施例中，沟道材料可沿着侧壁70/72中的仅一者形成。例如，图17展 示其中沟道材料22及电介质3的往着侧壁72而非侧壁70形成的实施例。图17的构造不具有关 于垂直面78的镜像对称。在一些实施例中，图17的构造可为优选的，因为其可按比例调整到 较小尺寸及/或相比于图16的构造其制造可更简单。在其它实施例中，图16中的对称实施例 可为优选的，因为其栅极及源极/漏极区到沟道区的电禪合较好及/或其制造更简单。
[0056] 可使用任何合适的处理形成由图16到20举例说明的晶体管构造。参考21到29描述 实例处理。
[0057] 参考图21，构造80经展示W包括基座12及所述基座上的堆叠82。所述堆叠包含数 字线材料84、源极/漏极材料85、绝缘材料67、导电栅极材料24、绝缘材料68及源极/漏极材 料87。源极/漏极材料85及87可为彼此成分相同或彼此不同，且最终分别经图案化为源极/ 漏极区16及18。源极/漏极材料可(举例来说)包括导电性渗杂半导体材料(例如，导电性渗 杂娃及/或错)及/或金属。
[0058] 参考图22,可将绝缘材料67、栅极材料24、绝缘材料68及源极/漏极材料87图案化 为通过间隙92彼此分隔的柱90。可使用任何合适的处理实现此图案化。例如，可在堆叠82上 形成掩模(未展示）W界定柱的定位，且随后可实施蚀刻W形成间隙92。可接着将掩模移除 W留有所说明的图22的构造。图案化将材料87形成为源极/漏极区18(至少沿着所说明的图 22的横截面;可使用未展示的其它处理使源极/漏极区沿着正交于所说明的横截面的方向 (即，相对于所说明的图的页面内及外)彼此电隔离）。
[0059] 参考图23,栅极电介质38经形成W延伸到柱90上且介于柱90之间。
[0060] 参考图24,各向异性地蚀刻栅极电介质材料38W从沿着源极/漏极材料87的侧壁 移除栅极电介质38,同时沿着栅极材料24的侧壁留有栅极电介质材料。
[0061] 参考图25,在蚀刻穿过源极/漏极材料85期间，将柱90用作掩模。此将材料85图案 化为柱下方的台座60。所述台座可具有与材料67、24、68及87的侧壁约垂直地共延伸的侧壁 (如所展示），可相对于其它侧壁嵌入(在未展示的其它实施例中），或从其它侧壁向外横向 延伸(在未展示的其它实施例中）。图案化将材料85形成为源极/漏极区16(至少沿着所说明 的图25的横截面;可使用未展示的其它处理使源极/漏极区沿着正交于所说明的横截面的 方向（即，相对于所说明的图的页面内及外)彼此电隔离）。
[0062] 参考图26,沟道区材料22形成于柱90上且介于柱90之间；且绝缘材料36形成于沟 道区材料上。
[0063] 参考图27,可使用合适的处理(例如，化学机械抛光或其它平坦化)将材料22及36 从材料87的顶部表面上移除，且使用合适的处理(例如，在使用掩模保护柱90及沿着柱的侧 壁的材料22及36区域的同时实施的蚀刻）将材料22及36从间隙92内的数字线84区域上移 除。图27的构造具有沿着柱90的侧壁形成的沟道区材料22,且具有保持在数字线区域上且 介于柱之间的间隙92。也可沿着字线方向（相对于图27的截面图的页面内及外）图案化沟道 材料22使得与个别晶体管相关联的沟道材料沿着此字线方向与邻近晶体管相关联的沟道 材料绝缘。
[0064] 参考图28,额外绝缘材料36形成于间隙92内W填充间隙；且平坦化表面91跨材料 87、22及36形成。额外绝缘材料36可在一些实施例中被称作第=绝缘材料，W使其与第一及 第二绝缘材料67及68区分。
[0065] 在一些实施例中，可在处于或低于约750°C的情况下使用处理形成材料22及36(其 中术语"处于或低于大750°C"意指在沉积材料22及36期间，构造80的组件皆不暴露于超过 约750°C的溫度下）。此处理可为有优势的，因为可避免有害热条件。
[0066] 图28的构造包括多个晶体管IOOa到100c。此类晶体管可代表形成于阵列中的大量 晶体管。数字线84可代表沿着阵列的列延伸的大量数字线，且栅极材料24可并入到沿着阵 列的行延伸的字线中（延伸于相对于图28的横截面的页面内及外）。
[0067] 参考图29,晶体管的源极/漏极区16经展示连接到电路IOla到101c。在一些实施例 中，晶体管用于存储器阵列中且电路IOla到IOlc对应于电荷存储装置(例如电容器），或对 应于存储器单元(例如，相变存储器单元、导电桥接RAM单元、其它类型的RRAM单元、磁性RAM 单元等等）。
[0068] 图29的构造的优势是此可易堆叠W形成=维架构。例如，图29的构造经展示对应 于集成电路的层级（或层次）11〇。图30展示多个层级IlOa到IlOc可W集成电路架构层层堆 叠。层级可彼此分隔开W示意性地说明层级IlOa到IlOc之间可存在其它电路(包含其它层 级或层次）。
[0069] 术语"电介质"及"电隔离"两者皆可用W描述具有绝缘电性质的材料。在本发明 中，所述术语被视为同义。在一些例子中利用术语"电介质"且在其它例子中利用术语"电隔 离"可将提供本发明内的语言变化W简化随后的权利要求书的先行基础，且不用W指示任 何显著的化学或电性差异。
[0070] 图式中的各种实施例的特定定向仅为说明的目的，且在一些申请案中可相对于所 展示的定向旋转实施例。本文所提供的描述及随后的权利要求书设及在各种特征之间具有 所描述的关系的任何结构，不论结构是否处于图式的特定定向中或相对于此定向旋转。
[0071] 所附说明的横截面图仅展示横截面的平面内的特征，且不展示横截面的平面后的 材料W便简化图式。
[0072] ^
[0073] 在一些实施例中，场效应晶体管构造包括两个源极/漏极区及其间的沟道区。沟道 区包括具有1单分子层到7单分子层的厚度且具有介于源极/漏极区之间的物理长度的过渡 金属二硫属化物材料。中间栅极操作上接近沟道区且相对于物理长度的中间部分。一对栅 极操作上接近沟道区中不同于接近中间栅极的沟道区部分的相应部分。所述栅极对可在中 间栅极的相对侧上与中间栅极隔开且电隔离。栅极电介质介于a)沟道区与b)中间栅极及栅 极对之间。
[0074] 在一些实施例中，垂直场效应晶体管构造包括绝缘核忍。过渡金属二硫属化物材 料环绕所述绝缘核忍且具有1单分子层到7单分子层的横向壁厚度。栅极电介质环绕过渡金 属二硫属化物材料。导电中间栅极材料在过渡金属二硫属化物材料的立面中间部分处环绕 栅极电介质。导电外部栅极材料在过渡金属二硫属化物材料的立面外部部分处环绕栅极电 介质。外部栅极材料与中间栅极材料立面隔开且电隔离。导电内部栅极材料在过渡金属二 硫属化物材料的立面内部部分处环绕栅极电介质。内部栅极材料与中间栅极材料立面隔开 且电隔离。立面外部源极/漏极区环绕绝缘核忍且从外部栅极材料立面向外分隔且与其电 隔离。立面内部源极/漏极区环绕绝缘核忍且从内部栅极材料立面向内分隔且与其电隔离。
[0075] 在一些实施例中，垂直场效应晶体管构造包括导电中间栅极材料。导电外部栅极 材料与中间栅极材料向上隔开且与其电隔离。导电内部栅极材料与中间栅极材料向下隔开 且与其电隔离。栅极电介质处于中间栅极材料、外部栅极材料及内部栅极材料的横向地相 对的外侧上。一对横向地相对的沟道处于栅极电介质的横向地相对的外侧上且处于中间栅 极材料、外部栅极材料及内部栅极材料的横向地相对的外侧上。所述对沟道分别包括具有1 单分子层到7单分子层的横向厚度的过渡金属二硫属化物材料。立面内部源极/漏极区电禪 合于沟道中横向地处于内部栅极材料的相对外侧上的所述部分且处于其立面向内。立面外 部源极/漏极区电禪合于沟道中横向地处于外部栅极材料的相对外侧上的所述部分且其立 面向外。
[0076] 在一些实施例中，存储器阵列包括个别地包括垂直场效应晶体管的多个存储器单 元。晶体管包括立面外部源极/漏极区、立面内部源极/漏极区及立面介于外部与内部源极/ 漏极区之间沟道区。所述沟道区包括具有1单分子层到7单分子层的横向厚度且具有立面介 于源极/漏极区之间的物理长度的过渡金属二硫属化物材料。中间栅极横向地接近沟道区 的立面中间部分。外部栅极处于中间栅极上且横向地接近沟道区的立面外部部分。外部栅 极与中间栅极立面隔开且电隔离。内部栅极处于中间栅极下方且横向地接近沟道区的立面 内部部分。内部栅极与中间栅极立面隔开且电隔离。栅极电介质横向地介于a)沟道区与b) 中间栅极、外部栅极及内部栅极之间。a)阵列内外部栅极彼此电禪合及b)阵列内内部栅极 彼此电禪合中的至少一者。
[0077] 在一些实施例中，垂直场效应晶体管构造包含垂直定向堆叠，所述垂直定向堆叠 包括（W递升顺序)底部源极/漏极区、第一绝缘材料、导电栅极、第二绝缘材料及顶部源极/ 漏极区。所述堆叠具有垂直侧壁。所述垂直侧壁具有沿着底部源极/漏极区的底部部分、沿 着导电栅极的中间部分及沿着顶部源极/漏极区的顶部部分。第=绝缘材料沿着整个所述 垂直侧壁的中间部分。沟道区材料沿着第=绝缘材料且通过第=绝缘材料与导电栅极隔 开。沟道区材料直接抵靠垂直侧壁的底部部分的至少部分，且直接抵靠垂直侧壁的顶部部 分的至少部分。沟道区材料具有处在从大于约3 A到小于或等于约10 A的范围内的厚度。
[0078] 在一些实施例中，垂直场效应晶体管构造包括底部源极/漏极区、处于底部源极/ 漏极区的正上方的导电栅极及处于导电栅极的正上方的顶部源极/漏极区。绝缘材料沿着 导电栅极的侧壁。沟道区材料沿着绝缘材料且通过绝缘材料与导电栅极隔开。沟道区材料 至少部分沿着底部源极/漏极区的侧壁延伸且至少部分沿着顶部源极/漏极区的侧壁延伸。 沟道区材料具有1单分子层到7单分子层的厚度。
[0079]在一些实施例中，一种形成晶体管的方法包括形成堆叠，所述堆叠包括（W递升顺 序)数字线材料、第一源极/漏极区材料、第一绝缘材料、栅极材料、第二绝缘材料及第二源 极/漏极材料。将第一绝缘材料、栅极材料、第二绝缘材料及第二源极/漏极材料图案化为 柱。沿着柱的侧壁形成栅极电介质材料。栅极电介质材料沿着栅极材料且非沿着第二源极/ 漏极材料。在蚀刻穿过漏极区材料期间将柱用作掩模。蚀刻将漏极区材料形成为柱下方的 台座。沿着柱及台座的侧壁形成沟道区材料。柱与台座之间的数字线材料区域上留有间隙。 沟道区材料具有从1单分子层到7单分子层的厚度。使用第=绝缘材料填充间隙。平坦化跨 第二源极/漏极材料、沟道区材料及第=绝缘材料的顶部表面。
【主权项】
1. 一种垂直场效应晶体管构造，其包括： 垂直定向堆叠，其W递升顺序包括底部源极/漏极区、第一绝缘材料、导电栅极、第二绝 缘材料及顶部源极/漏极区；所述堆叠具有垂直侧壁;所述垂直侧壁具有沿着所述底部源 极/漏极区的底部部分、沿着所述导电栅极的中间部分及沿着所述顶部源极/漏极区的顶部 部分； 第Ξ绝缘材料，其沿着所述垂直侧壁的整个所述中间部分； 沟道区材料，其沿着所述第Ξ绝缘材料且通过所述第Ξ绝缘材料与所述导电栅极隔 开;所述沟道区材料直接抵靠所述垂直侧壁的所述底部部分的至少部分，且直接抵靠所述 垂直侧壁的所述顶部部分的至少部分;且 所述沟道区材料具有处在大于约3 A到小于或等于约10 A的范围内的厚度。2. 根据权利要求1所述的构造，其中所述沟道区材料包括结晶半导体材料。3. 根据权利要求1所述的构造，其中所述沟道区材料包括过渡金属硫属化物。4. 根据权利要求1所述的构造，其中所述沟道区材料包括过渡金属二硫属化物及/或过 渡金属Ξ硫属化物。5. 根据权利要求1所述的构造，其中所述沟道区材料包括选自由硫化钢、砸化钢、硫化 鹤、砸化鹤、硫化铜及砸化铜组成的群组的一或多个硫属化物。6. 根据权利要求1所述的构造，其中所述垂直侧壁是第一垂直侧壁，且所述堆叠具有与 所述第一垂直侧壁成相对关系的第二垂直侧壁;且其中所述构造具有穿过所述堆叠的中屯、 沿着垂直面的镜像对称使得所述沟道区材料及所述第Ξ绝缘材料也沿着所述第二垂直侧 壁。7. 根据权利要求1所述的构造，其中所述垂直侧壁是第一垂直侧壁，且所述堆叠具有与 所述第一垂直侧壁成相对关系的第二垂直侧壁;且其中所述构造不具有穿过所述堆叠的中 屯、沿着垂直面的镜像对称。8. 根据权利要求1所述的构造，其中所述沟道区材料仅部分沿着所述垂直侧壁的所述 顶部部分及所述底部部分中的一或两者延伸。9. 根据权利要求1所述的构造，其中所述沟道区材料整体沿着所述垂直侧壁的所述顶 部部分及所述底部部分的至少一者延伸。10. 根据权利要求1所述的构造，其中所述沟道区材料整体沿着所述垂直侧壁的所述顶 部部分及所述底部部分两者延伸。11. 根据权利要求1所述的构造，其中所述第Ξ绝缘材料沿着所述第一绝缘材料延伸。12. 根据权利要求1所述的构造，其中所述第Ξ绝缘材料沿着所述第二绝缘材料延伸。13. -种垂直场效应晶体管构造，其包括： 底部源极/漏极区； 导电栅极，其处于所述底部源极/漏极区的正上方； 顶部源极/漏极区，其处于所述导电栅极的正上方； 绝缘材料，其沿着所述导电栅极的侧壁； 沟道区材料，其沿着所述绝缘材料且通过所述绝缘材料与所述导电栅极隔开;所述沟 道区材料至少部分沿着所述底部源极/漏极区的侧壁延伸且至少部分沿着所述顶部源极/ 漏极区的侧壁延伸;且 所述沟道区材料具有从1单分子层到7单分子层的厚度。14. 根据权利要求13所述的构造，其中所述沟道区材料包括过渡金属硫属化物。15. 根据权利要求13所述的构造，其中所述沟道区材料包括过渡金属二硫属化物及/或 过渡金属Ξ硫属化物。16. 根据权利要求13所述的构造，其中所述沟道区材料包括选自由硫化钢、砸化钢、硫 化鹤、砸化鹤、硫化铜及砸化铜组成的所述群组的一或多个硫属化物。17. 根据权利要求13所述的构造，其具有沿着垂直面的镜像对称使得所述沟道区材料 及绝缘材料沿着所述构造的两个相对侧面。18. 根据权利要求13所述的构造，其不具有沿着垂直面的镜像对称。19. 根据权利要求13所述的构造，其中所述沟道区材料整体沿着所述底部源极/漏极区 的所述侧壁延伸。20. 根据权利要求13所述的构造，其中所述沟道区材料整体沿着所述顶部源极/漏极区 的所述侧壁延伸。21. 根据权利要求13所述的构造，其中所述沟道区材料整体沿着所述顶部部分及所述 底部源极/漏极区的所述侧壁延伸。22. -种形成晶体管的方法，其包括： 形成堆叠，所述堆叠W递升顺序包括数字线材料、第一源极/漏极区材料、第一绝缘材 料、栅极材料、第二绝缘材料及第二源极/漏极材料； 将所述第一绝缘材料、栅极材料、第二绝缘材料及第二源极/漏极材料图案化为柱； 沿着所述柱的侧壁形成栅极电介质材料，所述栅极电介质材料沿着所述栅极材料且非 沿着所述第二源极/漏极材料； 在蚀刻穿过所述漏极区材料期间将所述柱用作掩模;所述蚀刻将所述漏极区材料形成 为所述柱下方的台座； 沿着所述柱的侧壁及台座形成沟道区材料，且在所述柱与台座之间的所述数字线材料 区域上留有间隙，所述沟道区材料具有从1单分子层到7单分子层的厚度；W及 使用第Ξ绝缘材料填充所述间隙且平坦化跨所述第二源极/漏极材料、沟道区材料及 第Ξ绝缘材料的顶部表面。23. 根据权利要求22所述的方法，其中所述柱内的栅极材料沿着字线方向延伸，且进一 步包括沿着所述字线方向图案化所述沟道材料。24. 根据权利要求22所述的方法，其中所述沟道区材料包括过渡金属硫属化物。25. 根据权利要求22所述的方法，其中所述沟道区材料包括过渡金属二硫属化物及/或 过渡金属Ξ硫属化物。26. 根据权利要求22所述的方法，其中所述沟道区材料包括选自由硫化钢、砸化钢、硫 化鹤、砸化鹤、硫化铜及砸化铜组成的所述群组的一或多个硫属化物。27. 根据权利要求22所述的方法，其中所述沟道区材料在小于或等于约75(TC的溫度下 沉积。28. 根据权利要求22所述的方法，其中在图案化为所述柱期间将所述顶部源极/漏极材 料图案化为顶部源极/漏极区，且进一步包括形成电禪合到所述顶部源极/漏极区的存储器 单元。29.根据权利要求22所述的方法，其中在图案化为所述柱期间将所述顶部源极/漏极材 料图案化为顶部源极/漏极区，且进一步包括形成电禪合到所述顶部源极/漏极区的电荷存 储装置。
【文档编号】H01L21/336GK105981177SQ201480075413
【公开日】2016年9月28日
【申请日】2014年12月3日
【发明人】卡迈勒·M·考尔道, 钱德拉·穆利, 古尔特杰·S·桑胡
【申请人】美光科技公司
【专利摘要】本发明揭示一种晶体管，在一些实施例中，其包含具有底部源极/漏极区、第一绝缘材料、导电栅极、第二绝缘材料及顶部源极/漏极区的堆叠。所述堆叠具有垂直侧壁，其具有沿着所述底部源极/漏极区的底部部分，沿着所述导电栅极的中间部分，以及沿着所述顶部源极/漏极区的顶部部分。第三绝缘材料沿着所述垂直侧壁的所述中间部分。沟道区材料沿着所述第三绝缘材料。所述沟道区材料直接抵靠所述垂直侧壁的所述顶部部分及所述底部部分。所述沟道区材料具有处在从大于约3A到小于或等于约IθA的范围内的厚度；及/或具有从1单分子层到7单分子层的厚度。
【专利说明】
场效应晶体管构造及存储器阵列
[0001] 相关专利数据
[0002] 本申请案是2014年1月10日申请的序列号为14/152,664的美国申请案的部分接续 申请案。
技术领域
[0003] 本文所掲示的实施例设及场效应晶体管构造且设及具有多个场效应晶体管的存 储器阵列。
【背景技术】
[0004] 存储器是一种类型的集成电路，且在计算机系统中用于存储数据。可W个别存储 器单元的一或多个阵列制造存储器。可使用数字线(其也可被称作位线、数据线、感测线或 数据/感测线)及存取线(其也可被称作字线)写入或读取存储器单元。数字线可沿着阵列的 列与存储器单元导电互连，且存取线可沿着阵列的行与存储器单元导电互连。每一存储器 单元可通过数字线及存取线的组合唯一地寻址。
[0005] 存储器单元可为易失性或非易失性的。非易失性存储器单元在许多情况中（包含 当关闭计算机时)可在延长时段内存储数据。易失性存储器耗散且因此需要刷新/重写，在 许多情况中需要每秒多次刷新/重写。无论如何，存储器单元经配置W将存储器保持或存储 于至少两个不同可选状态中。在二进制系统中，所述状态被视为"0"或"1"。在其它系统中， 至少一些个别存储器单元可经配置W存储多于两个层级或状态的信息。
[0006] 场效应晶体管是一种可在存储器单元中使用的电子组件。运些晶体管包括其间具 有半导体沟道区的一对导电源极/漏极区。导电栅极邻近沟道区且通过薄栅极电介质与所 述沟道区隔开。施加合适的电压到栅极允许电流从源极/漏极区域中的一者流经沟道区到 另一者。当从栅极移除电压时，极大程度上防止电流流经沟道区。场效应晶体管也可包含额 外结构（例如可逆可编程电荷存储区）作为栅极构造的部分。理想地，使沟道区的长度尽可 能地短W最大化晶体管在"导通"状态中的操作速度且最大化电路密度。然而，在"关闭"状 态中短物理沟道长度是不良的，运是因为相比于长沟道装置，短沟道装置中源极/漏极区域 之间的泄漏电流（Ioff)更大。也需开发可按比例调整到占据面积越来越小且集成水平越来 越高的垂直定向场效应晶体管。
【附图说明】
[0007] 图1是根据本发明的实施例包括场效应晶体管的衬底片段的示意截面图。
[000引图2是根据本发明的实施例包括场效应晶体管的衬底片段的示意截面图。
[0009] 图3是根据本发明的实施例包括场效应晶体管的衬底片段的示意截面图。
[0010] 图4是根据本发明的实施例包括场效应晶体管的衬底片段的示意截面图。
[0011] 图5是通过图4中的线5-5所得的截面图。
[0012] 图6是通过图4中的线6-6所得的截面图。
[0013] 图7是通过图4中的线7-7所得的截面图。
[0014] 图8是根据本发明的实施例包括存储器阵列的部分的衬底片段的示意截面图。
[0015] 图9是通过图8中的线9-9所得的截面图。
[0016] 图10是通过图8中的线10-10所得的截面图。
[0017] 图11是根据本发明的实施例包括存储器阵列的部分的衬底片段的示意截面图。 [001引图12是通过图11中的线12-12所得的截面图。
[0019] 图13是通过图11中的线13-13所得的截面图。
[0020] 图14是通过图11中的线14-14所得的截面图。
[0021] 图15是根据本发明的实施例包括存储器阵列的部分的衬底片段的示意截面图。
[0022] 图16到20是根据额外实例实施例的垂直晶体管构造的示意截面图。
[0023] 图21到29是可用于制造包括实例实施例晶体管的集成电路的实例实施例处理阶 段的示意截面图。
[0024] 图30是集成电路的多个层级的实例实施例堆叠布置的示意横截面图。
【具体实施方式】
[0025] 首先参考图1描述根据本发明的实施例的实例场效应晶体管构造。实例衬底片段 10包括其上形成有包括场效应晶体管构造14的各种材料的电介质材料（即，绝缘材料）12。 实例电介质材料12是渗杂二氧化娃、无渗杂二氧化娃及氮化娃。其它部分或整体制作的集 成电路的组件可形成为材料12的部分或可处于材料12的立面内部。衬底片段10可包括半导 体衬底。在此文献的上下文中，术语"半导体衬底"或"半导电衬底"经界定W意指包括半导 电材料的任何构造，包含(但不限于)块状半导电材料(例如半导电晶片）（单独地或W在其 上包括有其它材料的组合件)及半导电材料层(单独地或W在其上包括有其它材料的组合 件）。术语"衬底"是指任何支撑结构，包含(但不限于)上文所描述的半导电衬底。在一些实 施例中，可将材料12用作"衬底"或"基座"的实例。
[0026] 本文所描述的材料及/或结构中的任一者可为同质的或非同质的，且无论如何在 其上覆的任何材料上可为连续或不连续的。如本文所使用，例如如果此类材料是非同质的， 那么"不同成分"仅要求两个所陈述的材料中彼此可直接抵靠的那些部分在化学上及/或物 理上不同。如果两个所陈述的材料不彼此直接抵靠且如果此类材料是非同质的，那么"不同 成分"仅要求两个所陈述的材料中彼此最接近的那些部分在化学上及/或物理上不同。在此 文献中，当所述的材料或结构相对于彼此至少存在一些物理接触时，材料或结构是"直接抵 靠"另一者。相反，未在前面注明"直接"的"在…上方"、"在…之上"及"抵靠"则包括"直接抵 靠"W及其中介入材料或结构导致与所陈述的材料或结构相对于彼此无物理接触的构造。 此外，除非另有声明，否则可使用任何合适的现有或仍待开发的技术形成每一材料，其中实 例包含原子层沉积、化学气相沉积、物理气相沉积、外延生长、扩散渗杂及离子植入。
[0027] 晶体管构造14包括两个源极/漏极区16、18及其间的沟道区20。沟道区20包括沟道 材料22(其也可被称作沟道区材料），其具有1单分子层到7单分子层的厚度且具有介于源 极/漏极区16与18之间的物理长度(例如，展示为加括号的跨度20的长度）。在此文献中，将 "厚度"界定为从紧邻的成分不同的材料的最近表面垂直地穿过给定材料所得的平均直线 距离。沟道材料22可包括任何合适的成分或成分的组合。在一些实施例中，沟道材料22可包 括、基本上由或由过渡金属硫属化物组成;且因此可被称作过渡金属硫属化物材料。所述过 渡金属硫属化物可（例如)包括、基本上由或由过渡金属二硫属化物(例如，MoS2、WS2、InS2、 InSe2、MoSe2、WSe52 等等）及/或过渡金属 S硫属化物（例如，M0S3、WS3、InS3、InSes、MoSe3、WSe3 等等)组成。在一个实施例中，过渡金属硫属化物材料22的厚度不大于4单分子层，且在一个 实施例中其厚度不大于2单分子层。
[00%]在一个实施例中且如所展示，源极/漏极区16及18也包括具有1单分子层到7单分 子层的厚度的过渡金属硫属化物材料22(例如，材料22的延伸部分19)。源极/漏极区16及18 经展示为包括直接抵靠硫属化物材料22的传导（即导电)材料30。导电材料30可为导电性渗 杂半导电材料、一或多个元素金属、元素金属的合金及导电金属化合物中的任何一或多者。 在材料12与30之间缺少过渡金属硫属化物材料22的情况下，导电材料30可替代地延伸到电 介质材料12。另外，当硫属化物材料22介于材料12与30之间时，相应源极/漏极区可被视为 直接抵靠材料30的构成材料22,其中材料30被视为与材料22的导电接触件，而其本身不一 定被视为晶体管构造14的两个源极/漏极区的部分。
[0029] 在一个实施例中，沟道区20没有导电率增强杂质且在一个实施例中没有可检测导 电性增强杂质。在此文献中，"没有导电率增强杂质"意指不多于IxlOi4原子/立方厘米。在一 个实施例中，源极/漏极区16及18没有导电率增强杂质且在一个实施例中没有可检测导电 率增强杂质。在其中过渡金属硫属化物材料22包括相应源极/漏极区的至少部分的一个实 施例中，此材料22没有导电率增强杂质且在一个实施例中没有可检测导电率增强杂质。
[0030] 晶体管构造14包括相对于沟道区20的物理长度在操作上接近沟道区20的中间部 分26的中间栅极24。在一个实施例中且如所展示，中间部分26相对于沟道区20居中。中间栅 极24可被视为具有相对侧28及29。一对栅极32及33分别操作上接近沟道区20的不同部分34 及35,其中部分34及35各自不同于部分26。在所描绘的实例中，在侧28上栅极32与中间栅极 24隔开且电隔离，且在侧29上栅极33与中间栅极24隔开且电隔离。横向介于紧邻的导电组 件30、32、24、33及30之间的电介质材料36展示发生此电隔离。实例电介质材料36与材料12 是相同的。结构30、32、24及33的导电材料之间的电介质材料36的实例横向厚度是从约1纳 米到15纳米。另外，栅极电介质38介于沟道区20与中间栅极24、栅极32及栅极33中的每一者 之间。栅极电介质38的实例厚度是从约1纳米到30纳米。
[0031] 在一个实施例中，栅极32及33电禪合在一起，例如如经由互连线39概略地所展示。 在一个实施例中，中间栅极24具有与栅极32及33中的至少一者的功函数不同的功函数。栅 极32及33相对于彼此可具有相同功函数或相对于彼此可具有不同功函数。在此文献的上下 文中，相同功函数意指功函数中的差值为零到不大于O.leV，且不同功函数意指功函数中的 差值为至少〇.2eV。在一个实施例中，中间栅极24、栅极32及栅极33具有相同功函数。在一个 实施例中，栅极32及33具有相同成分。在一个实施例中，中间栅极24、栅极32及栅极33皆具 有相同成分。在一个实施例中，中间栅极24、栅极32及栅极33包括n型导电性渗杂半导电材 料。在一个此实施例中，中间栅极24的功函数大于栅极32及33的功函数（即，大至少0.2eV)。 在一个实施例中，中间栅极24、栅极32及33包括P型导电性渗杂半导电材料。在一个此实施 例中，中间栅极24的功函数小于栅极32及33的功函数（即，小至少0.2eV)。作为栅极24、32及 33的材料的一些实例，n+渗杂多晶娃及P+渗杂多晶娃（即，将每一者渗杂为至少lXl〇w原子/ 立方厘米)分别具有约4. OeV及5. IeV的功函数。TiN具有约4.65eV的功函数，其中W及WN具有 范围介于约4.3eV与4.6eV之间的功函数。
[0032] 图2展示根据本发明的替代实施例的相对于衬底片段IOa形成的场效应晶体管构 造14a。在适当的情况下使用来自上文所描述的实施例的类似数字，其中使用后缀V'指示 一些构造差异。栅极32、24及33可被视为分别包括相对侧40及41，其中中间栅极24的所述侧 不同于相对中间栅极侧28及29。沟道区20a在中间栅极24及栅极32、33对的相对侧40及41中 的每一者上包括具有1单分子层到7单分子层的厚度的过渡金属硫属化物材料22。栅极电介 质38介于过渡金属硫属化物材料22与中间栅极24及栅极32、33对的相对侧40、41中的每一 者之间。在一个实施例中且如所展示，源极/漏极区16a及18a个别地包括过渡金属硫属化物 材料22的两个分隔部分19。导电材料30介于源极/漏极区16a、18a两者内的部分19之间且与 其电禪合。再次，取决于材料30的成分，可将其视为源极/漏极区16a、18a的部分或介于被视 为硫属化物材料22的部分19的源极/漏极区之间的导电互连件。作为替代构造且类似于上 文相对于图1所描述的构造，没有过渡金属硫属化物材料22可介于材料30与材料12(未展 示)之间，且介于材料30与材料36(未展示)之间。
[0033] 根据本发明的实施例的场效应晶体管构造可具有任何所要的定向。图1及2展示构 造14及14a为水平定向。在替代实施例中，场效应晶体管构造可垂直定向或非垂直或非水平 定向。在此文献中，垂直是大体上正交与水平的方向，其中水平指代沿着在制造期间处理衬 底所相对的主要表面的一般方向。此外，本文所使用的垂直及水平大体上是独立于衬底在 =维空间中的定向相对于彼此垂直的方向。另外，立面、上方及下方是参考垂直方向。此外 在此文献的上下文中，垂直定向晶体管的特征在于在垂直方向上穿过沟道区的主要电流流 动。此外在此文献的上下文中，水平定向的晶体管的特征在于在水平方向上穿过沟道的主 要电流流动。
[0034] 作为实例，相对于图3中的衬底IOb展示垂直定向场效应晶体管构造14b。在适当的 情况下已使用来自上文所描述的实施例的类似数字，其中使用后缀"b"或使用不同数字指 示一些构造差异。图3的构造类似于图2的构造，尽管可使用类似于图1的结构或其它结构。 图3展示垂直定向场效应晶体管构造14b，其中栅极33包括与中间栅极24的材料向上隔开且 与其电隔离的外部栅极材料。栅极32包括与中间栅极24的材料向下隔开且电隔离的内部栅 极材料。源极/漏极区18a可被视为立面外部源极/漏极区且源极/漏极区16a可被视为立面 内部源极/漏极区。外部源极/漏极区18a及内部源极/漏极区16a可被视为包括相应横向外 部侧壁44。在一个实施例中，导电接触件45直接抵靠外部源极/漏极区18a的过渡金属硫属 化物材料22的横向外部侧壁44。在一个实施例中，导电接触件46直接抵靠内部源极/漏极区 16a的过渡金属硫属化物材料22的横向外部侧壁44。导电接触件45及46分别经展示为仅接 触每一源极/漏极区的过渡金属硫属化物材料22的一个横向外部侧壁。替代地或另外，导电 接触件可相对于源极/漏极区的一或二者直接抵靠(未展示)过渡金属硫属化物材料22的另 一横向外部侧壁。
[0035] 接下来参考展示衬底IOc的图4到7描述替代实施例垂直场效应晶体管构造14c。在 适当的情况下已使用来自上文所描述的实施例的类似数字，其中使用后缀V'或使用不同 数字指示一些构造差异。垂直晶体管构造 Hc包括绝缘核忍48(即，电隔离）。绝缘核忍48的 材料可为电介质，包含(例如)上文相对于材料12及36的成分所描述的任何材料。绝缘核忍 48的材料可为半导电性或导电性，且(例如）可提供电隔离功能给垂直晶体管构造14c上方 及/或下方的电路组件(未展示），例如保持在接地或一些其它电位上。
[0036] 过渡金属硫属化物材料22c环绕绝缘核忍48且具有1单分子层到7单分子层的横向 壁厚度。栅极电介质38c环绕过渡金属硫属化物材料22c。在一个实施例中，绝缘核忍48、过 渡金属硫属化物材料22c及栅极电介质38c各自具有在水平截面上是环形的相应周边。
[0037] 导电中间栅极24c在过渡金属硫属化物材料22c的立面中间部分处环绕栅极电介 质38c。导电外部栅极材料33c在过渡金属硫属化物材料22c的立面外部部分35c处环绕栅极 电介质38c。外部栅极材料33c(例如通过电介质36c)与中间栅极材料24c立面隔开且电隔 离。导电内部栅极材料32c在过渡金属硫属化物材料22c的立面内部部分34c处环绕栅极电 介质38c。内部栅极材料32c(例如通过电介质36c)与中间栅极材料24c立面隔开且电隔离。 为简洁起见，未相对于内部栅极材料32c展示横截面图。此横截面应看上去与图6横截面相 同，但其中数字32c取代数字33c。
[0038] 立面外部源极/漏极区18c环绕绝缘核忍48且与外部栅极材料33c立面向外隔开且 与其电隔离。立面内部源极/漏极区16c环绕绝缘核忍48且与内部栅极材料32c立面向内隔 开且与其电隔离。在一个实施例中且如所展示，外部及内部源极/漏极区18c及16c分别包括 具有1单分子层到7单分子层的厚度的横向壁厚度的过渡金属硫属化物材料22c。在一个实 施例中，导电接触件直接抵靠外部源极/漏极区18c及内部源极/漏极区16c中的至少一者的 横向外部侧壁，其中展示实例导电接触件45c及46c。为简洁起见，未相对于内部源极/漏极 区16c展示横截面图。此横截面应看上去与图7横截面相同，但其中数字16c及46c分别取代 数字18c及45c。可相对于参考图4到7所描述的实施例应用上文相对于图1到3实施例所描述 的任何其它或额外属性。
[0039] 可将上文所描述的晶体管用作任何现有或仍待开发的集成电路的部分。另外，且 作为实例，可将多个上述的场效应晶体管并入阵列（例如存储器阵列）内。相对于本文关于 阵列的结构描述，子阵列（即，全阵列的部分)也可被视为阵列。在一个实施例中，根据本发 明的存储器阵列包括个别地包括垂直场效应晶体管的多个存储器单元。所述个别晶体管包 括立面外部源极/漏极区、立面内部源极/漏极区及立面介于外部与内部源极/漏极区之间 的沟道区。所述沟道区包括具有1单分子层到7单分子层的横向厚度的过渡金属硫属化物材 料且具有立面介于源极/漏极区之间的物理长度。在一个实施例中，立面外部及内部源极/ 漏极区包括具有1单分子层到7单分子层的横向壁厚度的过渡金属硫属化物材料。无论如 何，中间栅极横向地接近沟道区的立面中间部分。外部栅极处于中间栅极上方且横向地接 近沟道区的立面外部部分。所述外部栅极与中间栅极立面隔开且电隔离。内部栅极处于中 间栅极下方且横向地接近沟道区的立面内部部分。所述内部栅极与中间栅极立面隔开且电 隔离。栅极电介质横向地介于a)沟道区与b)中间栅极、外部栅极及内部栅极之间。理想地， 贯穿存储器阵列的晶体管构造是相同的，但不一定如此。仅W实例的方式，图3的晶体管构 造14b及图4到7的晶体管构造14c仅是根据本发明的可在存储器及/或晶体管阵列中使用的 两个实例垂直场效应晶体管构造。
[0040] 无论如何，a)阵列内外部栅极彼此电禪合及b)阵列内内部栅极彼此电禪合中的至 少一者。在一个实施例中，阵列内外部栅极彼此电禪合且阵列内内部栅极彼此电禪合。在一 个实施例中，阵列内全部内部栅极与全部外部栅极电禪合。可使用上文相对于图1到7实施 例所描述的其它或额外属性。
[0041] 根据本发明的实施例的一个此实例存储器阵列60的部分相对于图8到10中的衬底 IOd经展示，且其包括类似图4到7的场效应晶体管构造的多个场效应晶体管构造。在适当的 情况下已使用来自上文所描述的实施例的类似数字，其中使用后缀"d"或使用不同数字指 示一些构造差异。实例阵列60具有互连于（即，电禪合于)处于行或列62中的多个晶体管14d 之间的中间栅极24d，所述中间栅极24d通过合适的电介质材料64彼此隔开。a)阵列内外部 栅极33d彼此电禪合及b)阵列内内部栅极32d彼此电禪合中的至少一者。外部栅极33d经展 示贯穿阵列60电禪合，例如为板状。内部栅极32d经展示贯穿阵列60电禪合，例如为板状。栅 极33d及32d可彼此电禪合。电介质材料36d及64经展示使各种组件绝缘。可使用上文相对于 图1到7所描述的其它或额外属性。中间栅极24可互连于处于行或列中的阵列内W用作存取 线。位线(未展示)可与处于行或列的另一者中的多个外部源极/漏极18d或多个内部源极/ 漏极18e中的一者互连W用作数据/感测线。电荷存储装置(未展示）（例如，电容器)可电禪 合到多个外部源极/漏极18d或多个内部源极/漏极18e的另一者。
[0042] 替代实施例存储器阵列60e相对于图11到14中的衬底IOe经展示，且其包括类似图 3的场效应晶体管构造的多个场效应晶体管构造。在适当的情况下已使用来自上文所描述 的实施例的类似数字，其中使用后缀V'或使用不同数字指示一些构造差异。实例阵列60e 具有互连于（即，电禪合于)处于行或列62e中的多个晶体管He之间的中间栅极24e，所述中 间栅极24e通过电介质材料64e彼此隔开。a)阵列内外部栅极33e彼此电禪合及b)阵列内内 部栅极32e彼此电禪合中的至少一者。外部栅极33e示意性地且概略地经展示为经由互连线 39(图13)相对于彼此电禪合，且贯穿阵列全部所述外部栅极33e可彼此电禪合。同样地可如 此禪合内部栅极32e，且贯穿阵列栅极33e及32e可彼此电禪合。电介质材料64e使各种组件 绝缘。可使用上文相对于图1到10的实施例所描述的其它或额外属性。
[0043] 替代实施例存储器阵列60f相对于图15中的衬底IOf经展示且描述，且其并入类似 图3的垂直场效应晶体管构造的垂直场效晶体管构造且由此类似于图11到14的阵列60e。在 适当的情况下已使用来自上文所描述的实施例的类似数字，其中使用后缀吁"或使用不同 数字指示一些构造差异。晶体管构造Hf彼此水平隔开，其中阵列60f包括处于电介质材料 64f内且介于水平紧邻的晶体管构造Hf之间的反向偏置栅极75。如所展示，反向偏置栅极 75可分别沿着立面外部栅极、立面内部栅极及中间栅极33e、3^及24e立面延伸。个别反向 偏置栅极75也可如图12及13中所展示的材料24e及33e那样在平行于且介于材料24e及33e 的线之间的线上纵向延伸。在一个实施例中，阵列内的全部反向偏置栅极75彼此电禪合。可 使用上文相对于图1到14实施例所描述的其它或额外属性。
[0044] 技术人员可提供额外电路(未展示）用于存取(例如，读取自及/或写入到）阵列内 的存储器单元。此电路可包含将较大的存储器阵列形成为多个单独子阵列。将此段落到此 文献的末尾中所使用的"子阵列"界定为全存储器阵列单元的子集，所述子集的全存储器阵 列单元处于连续区域内且可独立于其中具有全存储器阵列单元的其它者的其它子阵列激 活。子阵列可先后或W其它方式相对于彼此独立制造且操作。无论如何，可W任何方式操作 根据本发明的实施例的晶体管及存储器阵列。理想地，可静电界定且动态改变根据本发明 的晶体管的有效沟道长度。作为相对于晶体管及/或存储器阵列的一个实例，贯穿全部给定 子阵列，栅极33d/33e/33f可相对于彼此电禪合且可分别电禪合到阵列60、60e及60f中的栅 极32d/32e/32f。在子阵列的"非作用"、"待命"或"关闭"状态中，可使此类栅极偏置使得其 紧邻的半导电过渡金属硫属化物材料22耗尽载子，由此使得个别晶体管的有效沟道长度更 长(例如，泄漏电流更少）。在本发明的上下文中，"耗尽载子"意指少于或等于IxlQis载子/立 方厘米(例如，电子或空穴）。在非作用、待命或关闭状态中，可将中间栅极24d/24e/24f设置 为O伏特或略呈负值。举例来说，全部"非作思'子阵列可使其栅极如此偏置。此结构及操作 可减少非作用、待命或关闭状态中的功率消耗。
[0045] 针对其中在一些时段内将相对于"作用"子阵列中的存储器单元发生读取及/或写 入的所述子阵列，可使栅极32、33偏置W引发其紧邻的过渡金属硫属化物材料中的高载子 密度，由此使得个别晶体管的有效沟道长度更短。在此文献的上下文中，"高载子密度"意指 至少IxlQis载子/立方厘米。作用子阵列中的中间栅极24d/24e/24f可在"导通"状态(例如， 电压值非零）中正常操作W造成电流流经有效较短晶体管沟道，或在"关断"状态(例如，电 压值为零)中正常操作W排斥此电流流动(但针对泄漏）。当然，可使用替代操作方式。
[0046] 在一些实施例中，认识到制造垂直场效应晶体管存在优势，所述垂直场效应晶体 管具有厚度与在晶体管的"导通"状态中的导电层厚度约相同的沟道材料。特定来说，常规 晶体管装置在沟道区上频繁使用相对厚的半导体材料，且所述半导体材料的大部分是多余 的。在"导通"状态中，仅沟道材料邻近栅极的部分实际承载电流。多余沟道材料可被视为浪 费空间，且减小装置的可伸缩性。相反，用于本文所描述的实施例中的薄沟道材料22可形成 为足W用于"导通"状态中所要的电流传导的厚度。在一些实施例中，沟道材料可形成为从 约3 A到约10 A的厚度;及/或可形成为从1单分子层到7单分子层的厚度。
[0047] 图16到20说明实例实施例垂直晶体管构造IOg到10k。
[004引参考图16,晶体管构造包括垂直定向堆叠66,所述垂直定向堆叠66包括（W递升顺 序)底部源极/漏极区16、第一绝缘材料67、栅极材料24(用于导电栅极25中）、第二绝缘材料 68及顶部源极/漏极区18。绝缘材料67及68可包括彼此相同的成分，或可包括不同的成分； 且在一些实施例中可包括与上文相对于绝缘材料36所描述相同的成分。
[0049] 堆叠66由对应于绝缘材料12的基座支撑。在所展示的实施例中，间隙将所述堆叠 与所述基座隔开W指示堆叠与基座之间可存在一或多个介入材料。
[0050] 堆叠具有彼此成对立关系的垂直侧壁70及72。垂直侧壁具有沿着底部源极/漏极 区16的底部部分73、沿着导电栅极25的中间部分75及沿着顶部源极/漏极区18的顶部部分 77。
[0051] 栅极电介质38(其可被称作绝缘材料，且在一些实施例中可被称作第=绝缘材料 W使其与第一及第二绝缘材料67及68区分)沿着垂直侧壁70/72的整个中间部分75。如在图 18到20中所说明，栅极电介质38也可垂直地重叠绝缘区67及68中的一或两者。
[0052] 沟道区材料22沿着栅极电介质38且通过栅极电介质38与导电栅极25隔开。沟道区 材料直接抵靠侧壁70/72的底部部分73的至少部分，且也直接抵靠侧壁70/72的顶部部分77 的至少部分。本文所描述的垂直晶体管构造的优势可为即使当构造按比例调整到较小尺 寸，源极/漏极区16及18的较大表面仍可直接禪合到沟道区材料22。特定来说，沟道区22垂 直地重叠源极/漏极区的侧壁，且直接抵靠此类侧壁。因此，即使通过沿着所说明的横截面 宽度将本文所描述的装置(例如，图16到20中所展示的晶体管装置)压缩来使所述装置收 缩，沟道区22与源极/漏极区之间的电禪合仍不受影响，因为沟道区与源极/漏极区之间的 垂直重叠面积可保持相同。沟道材料可为任何合适的材料，包含(例如)过渡金属硫属化物、 结晶半导体材料(例如，单晶娃、多晶娃等等）、或可W大体上2维定向（即，W具有长度与宽 度但厚度非常小的定向）形成的任何材料。
[0053] 在不同实施例中可改变沟道区材料22与源极/漏极区的重叠量，但至少一些沟道 区材料将垂直地重叠源极/漏极区中的每一者且直接接触源极/漏极区中的每一者。例如， 图18展示其中沟道区材料22仅部分垂直地重叠源极/漏极区16及18的实施例。
[0054] 沟道区材料22可包括上文所描述的成分中的任何者(举例来说，可包括、基本上由 或由过渡金属硫属化物组成，所述过渡金属硫属化物包括选择自由硫化钢、砸化钢、硫化 鹤、砸化鹤、硫化铜及砸化铜组成的群组中的一或多个材料），且也可具有处在从大于约 3 _1到小于或等于约10 A的范围内的厚度;及/或可具有从1单分子层到7单分子层的厚度。
[0055] 图16的构造具有沿着侧壁70及72两者形成的沟道材料22;且因此具有关于垂直面 78的镜像对称。在其它实施例中，沟道材料可沿着侧壁70/72中的仅一者形成。例如，图17展 示其中沟道材料22及电介质3的往着侧壁72而非侧壁70形成的实施例。图17的构造不具有关 于垂直面78的镜像对称。在一些实施例中，图17的构造可为优选的，因为其可按比例调整到 较小尺寸及/或相比于图16的构造其制造可更简单。在其它实施例中，图16中的对称实施例 可为优选的，因为其栅极及源极/漏极区到沟道区的电禪合较好及/或其制造更简单。
[0056] 可使用任何合适的处理形成由图16到20举例说明的晶体管构造。参考21到29描述 实例处理。
[0057] 参考图21，构造80经展示W包括基座12及所述基座上的堆叠82。所述堆叠包含数 字线材料84、源极/漏极材料85、绝缘材料67、导电栅极材料24、绝缘材料68及源极/漏极材 料87。源极/漏极材料85及87可为彼此成分相同或彼此不同，且最终分别经图案化为源极/ 漏极区16及18。源极/漏极材料可(举例来说)包括导电性渗杂半导体材料(例如，导电性渗 杂娃及/或错)及/或金属。
[0058] 参考图22,可将绝缘材料67、栅极材料24、绝缘材料68及源极/漏极材料87图案化 为通过间隙92彼此分隔的柱90。可使用任何合适的处理实现此图案化。例如，可在堆叠82上 形成掩模(未展示）W界定柱的定位，且随后可实施蚀刻W形成间隙92。可接着将掩模移除 W留有所说明的图22的构造。图案化将材料87形成为源极/漏极区18(至少沿着所说明的图 22的横截面;可使用未展示的其它处理使源极/漏极区沿着正交于所说明的横截面的方向 (即，相对于所说明的图的页面内及外)彼此电隔离）。
[0059] 参考图23,栅极电介质38经形成W延伸到柱90上且介于柱90之间。
[0060] 参考图24,各向异性地蚀刻栅极电介质材料38W从沿着源极/漏极材料87的侧壁 移除栅极电介质38,同时沿着栅极材料24的侧壁留有栅极电介质材料。
[0061] 参考图25,在蚀刻穿过源极/漏极材料85期间，将柱90用作掩模。此将材料85图案 化为柱下方的台座60。所述台座可具有与材料67、24、68及87的侧壁约垂直地共延伸的侧壁 (如所展示），可相对于其它侧壁嵌入(在未展示的其它实施例中），或从其它侧壁向外横向 延伸(在未展示的其它实施例中）。图案化将材料85形成为源极/漏极区16(至少沿着所说明 的图25的横截面;可使用未展示的其它处理使源极/漏极区沿着正交于所说明的横截面的 方向（即，相对于所说明的图的页面内及外)彼此电隔离）。
[0062] 参考图26,沟道区材料22形成于柱90上且介于柱90之间；且绝缘材料36形成于沟 道区材料上。
[0063] 参考图27,可使用合适的处理(例如，化学机械抛光或其它平坦化)将材料22及36 从材料87的顶部表面上移除，且使用合适的处理(例如，在使用掩模保护柱90及沿着柱的侧 壁的材料22及36区域的同时实施的蚀刻）将材料22及36从间隙92内的数字线84区域上移 除。图27的构造具有沿着柱90的侧壁形成的沟道区材料22,且具有保持在数字线区域上且 介于柱之间的间隙92。也可沿着字线方向（相对于图27的截面图的页面内及外）图案化沟道 材料22使得与个别晶体管相关联的沟道材料沿着此字线方向与邻近晶体管相关联的沟道 材料绝缘。
[0064] 参考图28,额外绝缘材料36形成于间隙92内W填充间隙；且平坦化表面91跨材料 87、22及36形成。额外绝缘材料36可在一些实施例中被称作第=绝缘材料，W使其与第一及 第二绝缘材料67及68区分。
[0065] 在一些实施例中，可在处于或低于约750°C的情况下使用处理形成材料22及36(其 中术语"处于或低于大750°C"意指在沉积材料22及36期间，构造80的组件皆不暴露于超过 约750°C的溫度下）。此处理可为有优势的，因为可避免有害热条件。
[0066] 图28的构造包括多个晶体管IOOa到100c。此类晶体管可代表形成于阵列中的大量 晶体管。数字线84可代表沿着阵列的列延伸的大量数字线，且栅极材料24可并入到沿着阵 列的行延伸的字线中（延伸于相对于图28的横截面的页面内及外）。
[0067] 参考图29,晶体管的源极/漏极区16经展示连接到电路IOla到101c。在一些实施例 中，晶体管用于存储器阵列中且电路IOla到IOlc对应于电荷存储装置(例如电容器），或对 应于存储器单元(例如，相变存储器单元、导电桥接RAM单元、其它类型的RRAM单元、磁性RAM 单元等等）。
[0068] 图29的构造的优势是此可易堆叠W形成=维架构。例如，图29的构造经展示对应 于集成电路的层级（或层次）11〇。图30展示多个层级IlOa到IlOc可W集成电路架构层层堆 叠。层级可彼此分隔开W示意性地说明层级IlOa到IlOc之间可存在其它电路(包含其它层 级或层次）。
[0069] 术语"电介质"及"电隔离"两者皆可用W描述具有绝缘电性质的材料。在本发明 中，所述术语被视为同义。在一些例子中利用术语"电介质"且在其它例子中利用术语"电隔 离"可将提供本发明内的语言变化W简化随后的权利要求书的先行基础，且不用W指示任 何显著的化学或电性差异。
[0070] 图式中的各种实施例的特定定向仅为说明的目的，且在一些申请案中可相对于所 展示的定向旋转实施例。本文所提供的描述及随后的权利要求书设及在各种特征之间具有 所描述的关系的任何结构，不论结构是否处于图式的特定定向中或相对于此定向旋转。
[0071] 所附说明的横截面图仅展示横截面的平面内的特征，且不展示横截面的平面后的 材料W便简化图式。
[0072] ^
[0073] 在一些实施例中，场效应晶体管构造包括两个源极/漏极区及其间的沟道区。沟道 区包括具有1单分子层到7单分子层的厚度且具有介于源极/漏极区之间的物理长度的过渡 金属二硫属化物材料。中间栅极操作上接近沟道区且相对于物理长度的中间部分。一对栅 极操作上接近沟道区中不同于接近中间栅极的沟道区部分的相应部分。所述栅极对可在中 间栅极的相对侧上与中间栅极隔开且电隔离。栅极电介质介于a)沟道区与b)中间栅极及栅 极对之间。
[0074] 在一些实施例中，垂直场效应晶体管构造包括绝缘核忍。过渡金属二硫属化物材 料环绕所述绝缘核忍且具有1单分子层到7单分子层的横向壁厚度。栅极电介质环绕过渡金 属二硫属化物材料。导电中间栅极材料在过渡金属二硫属化物材料的立面中间部分处环绕 栅极电介质。导电外部栅极材料在过渡金属二硫属化物材料的立面外部部分处环绕栅极电 介质。外部栅极材料与中间栅极材料立面隔开且电隔离。导电内部栅极材料在过渡金属二 硫属化物材料的立面内部部分处环绕栅极电介质。内部栅极材料与中间栅极材料立面隔开 且电隔离。立面外部源极/漏极区环绕绝缘核忍且从外部栅极材料立面向外分隔且与其电 隔离。立面内部源极/漏极区环绕绝缘核忍且从内部栅极材料立面向内分隔且与其电隔离。
[0075] 在一些实施例中，垂直场效应晶体管构造包括导电中间栅极材料。导电外部栅极 材料与中间栅极材料向上隔开且与其电隔离。导电内部栅极材料与中间栅极材料向下隔开 且与其电隔离。栅极电介质处于中间栅极材料、外部栅极材料及内部栅极材料的横向地相 对的外侧上。一对横向地相对的沟道处于栅极电介质的横向地相对的外侧上且处于中间栅 极材料、外部栅极材料及内部栅极材料的横向地相对的外侧上。所述对沟道分别包括具有1 单分子层到7单分子层的横向厚度的过渡金属二硫属化物材料。立面内部源极/漏极区电禪 合于沟道中横向地处于内部栅极材料的相对外侧上的所述部分且处于其立面向内。立面外 部源极/漏极区电禪合于沟道中横向地处于外部栅极材料的相对外侧上的所述部分且其立 面向外。
[0076] 在一些实施例中，存储器阵列包括个别地包括垂直场效应晶体管的多个存储器单 元。晶体管包括立面外部源极/漏极区、立面内部源极/漏极区及立面介于外部与内部源极/ 漏极区之间沟道区。所述沟道区包括具有1单分子层到7单分子层的横向厚度且具有立面介 于源极/漏极区之间的物理长度的过渡金属二硫属化物材料。中间栅极横向地接近沟道区 的立面中间部分。外部栅极处于中间栅极上且横向地接近沟道区的立面外部部分。外部栅 极与中间栅极立面隔开且电隔离。内部栅极处于中间栅极下方且横向地接近沟道区的立面 内部部分。内部栅极与中间栅极立面隔开且电隔离。栅极电介质横向地介于a)沟道区与b) 中间栅极、外部栅极及内部栅极之间。a)阵列内外部栅极彼此电禪合及b)阵列内内部栅极 彼此电禪合中的至少一者。
[0077] 在一些实施例中，垂直场效应晶体管构造包含垂直定向堆叠，所述垂直定向堆叠 包括（W递升顺序)底部源极/漏极区、第一绝缘材料、导电栅极、第二绝缘材料及顶部源极/ 漏极区。所述堆叠具有垂直侧壁。所述垂直侧壁具有沿着底部源极/漏极区的底部部分、沿 着导电栅极的中间部分及沿着顶部源极/漏极区的顶部部分。第=绝缘材料沿着整个所述 垂直侧壁的中间部分。沟道区材料沿着第=绝缘材料且通过第=绝缘材料与导电栅极隔 开。沟道区材料直接抵靠垂直侧壁的底部部分的至少部分，且直接抵靠垂直侧壁的顶部部 分的至少部分。沟道区材料具有处在从大于约3 A到小于或等于约10 A的范围内的厚度。
[0078] 在一些实施例中，垂直场效应晶体管构造包括底部源极/漏极区、处于底部源极/ 漏极区的正上方的导电栅极及处于导电栅极的正上方的顶部源极/漏极区。绝缘材料沿着 导电栅极的侧壁。沟道区材料沿着绝缘材料且通过绝缘材料与导电栅极隔开。沟道区材料 至少部分沿着底部源极/漏极区的侧壁延伸且至少部分沿着顶部源极/漏极区的侧壁延伸。 沟道区材料具有1单分子层到7单分子层的厚度。
[0079]在一些实施例中，一种形成晶体管的方法包括形成堆叠，所述堆叠包括（W递升顺 序)数字线材料、第一源极/漏极区材料、第一绝缘材料、栅极材料、第二绝缘材料及第二源 极/漏极材料。将第一绝缘材料、栅极材料、第二绝缘材料及第二源极/漏极材料图案化为 柱。沿着柱的侧壁形成栅极电介质材料。栅极电介质材料沿着栅极材料且非沿着第二源极/ 漏极材料。在蚀刻穿过漏极区材料期间将柱用作掩模。蚀刻将漏极区材料形成为柱下方的 台座。沿着柱及台座的侧壁形成沟道区材料。柱与台座之间的数字线材料区域上留有间隙。 沟道区材料具有从1单分子层到7单分子层的厚度。使用第=绝缘材料填充间隙。平坦化跨 第二源极/漏极材料、沟道区材料及第=绝缘材料的顶部表面。
【主权项】
1. 一种垂直场效应晶体管构造，其包括： 垂直定向堆叠，其W递升顺序包括底部源极/漏极区、第一绝缘材料、导电栅极、第二绝 缘材料及顶部源极/漏极区；所述堆叠具有垂直侧壁;所述垂直侧壁具有沿着所述底部源 极/漏极区的底部部分、沿着所述导电栅极的中间部分及沿着所述顶部源极/漏极区的顶部 部分； 第Ξ绝缘材料，其沿着所述垂直侧壁的整个所述中间部分； 沟道区材料，其沿着所述第Ξ绝缘材料且通过所述第Ξ绝缘材料与所述导电栅极隔 开;所述沟道区材料直接抵靠所述垂直侧壁的所述底部部分的至少部分，且直接抵靠所述 垂直侧壁的所述顶部部分的至少部分;且 所述沟道区材料具有处在大于约3 A到小于或等于约10 A的范围内的厚度。2. 根据权利要求1所述的构造，其中所述沟道区材料包括结晶半导体材料。3. 根据权利要求1所述的构造，其中所述沟道区材料包括过渡金属硫属化物。4. 根据权利要求1所述的构造，其中所述沟道区材料包括过渡金属二硫属化物及/或过 渡金属Ξ硫属化物。5. 根据权利要求1所述的构造，其中所述沟道区材料包括选自由硫化钢、砸化钢、硫化 鹤、砸化鹤、硫化铜及砸化铜组成的群组的一或多个硫属化物。6. 根据权利要求1所述的构造，其中所述垂直侧壁是第一垂直侧壁，且所述堆叠具有与 所述第一垂直侧壁成相对关系的第二垂直侧壁;且其中所述构造具有穿过所述堆叠的中屯、 沿着垂直面的镜像对称使得所述沟道区材料及所述第Ξ绝缘材料也沿着所述第二垂直侧 壁。7. 根据权利要求1所述的构造，其中所述垂直侧壁是第一垂直侧壁，且所述堆叠具有与 所述第一垂直侧壁成相对关系的第二垂直侧壁;且其中所述构造不具有穿过所述堆叠的中 屯、沿着垂直面的镜像对称。8. 根据权利要求1所述的构造，其中所述沟道区材料仅部分沿着所述垂直侧壁的所述 顶部部分及所述底部部分中的一或两者延伸。9. 根据权利要求1所述的构造，其中所述沟道区材料整体沿着所述垂直侧壁的所述顶 部部分及所述底部部分的至少一者延伸。10. 根据权利要求1所述的构造，其中所述沟道区材料整体沿着所述垂直侧壁的所述顶 部部分及所述底部部分两者延伸。11. 根据权利要求1所述的构造，其中所述第Ξ绝缘材料沿着所述第一绝缘材料延伸。12. 根据权利要求1所述的构造，其中所述第Ξ绝缘材料沿着所述第二绝缘材料延伸。13. -种垂直场效应晶体管构造，其包括： 底部源极/漏极区； 导电栅极，其处于所述底部源极/漏极区的正上方； 顶部源极/漏极区，其处于所述导电栅极的正上方； 绝缘材料，其沿着所述导电栅极的侧壁； 沟道区材料，其沿着所述绝缘材料且通过所述绝缘材料与所述导电栅极隔开;所述沟 道区材料至少部分沿着所述底部源极/漏极区的侧壁延伸且至少部分沿着所述顶部源极/ 漏极区的侧壁延伸;且 所述沟道区材料具有从1单分子层到7单分子层的厚度。14. 根据权利要求13所述的构造，其中所述沟道区材料包括过渡金属硫属化物。15. 根据权利要求13所述的构造，其中所述沟道区材料包括过渡金属二硫属化物及/或 过渡金属Ξ硫属化物。16. 根据权利要求13所述的构造，其中所述沟道区材料包括选自由硫化钢、砸化钢、硫 化鹤、砸化鹤、硫化铜及砸化铜组成的所述群组的一或多个硫属化物。17. 根据权利要求13所述的构造，其具有沿着垂直面的镜像对称使得所述沟道区材料 及绝缘材料沿着所述构造的两个相对侧面。18. 根据权利要求13所述的构造，其不具有沿着垂直面的镜像对称。19. 根据权利要求13所述的构造，其中所述沟道区材料整体沿着所述底部源极/漏极区 的所述侧壁延伸。20. 根据权利要求13所述的构造，其中所述沟道区材料整体沿着所述顶部源极/漏极区 的所述侧壁延伸。21. 根据权利要求13所述的构造，其中所述沟道区材料整体沿着所述顶部部分及所述 底部源极/漏极区的所述侧壁延伸。22. -种形成晶体管的方法，其包括： 形成堆叠，所述堆叠W递升顺序包括数字线材料、第一源极/漏极区材料、第一绝缘材 料、栅极材料、第二绝缘材料及第二源极/漏极材料； 将所述第一绝缘材料、栅极材料、第二绝缘材料及第二源极/漏极材料图案化为柱； 沿着所述柱的侧壁形成栅极电介质材料，所述栅极电介质材料沿着所述栅极材料且非 沿着所述第二源极/漏极材料； 在蚀刻穿过所述漏极区材料期间将所述柱用作掩模;所述蚀刻将所述漏极区材料形成 为所述柱下方的台座； 沿着所述柱的侧壁及台座形成沟道区材料，且在所述柱与台座之间的所述数字线材料 区域上留有间隙，所述沟道区材料具有从1单分子层到7单分子层的厚度；W及 使用第Ξ绝缘材料填充所述间隙且平坦化跨所述第二源极/漏极材料、沟道区材料及 第Ξ绝缘材料的顶部表面。23. 根据权利要求22所述的方法，其中所述柱内的栅极材料沿着字线方向延伸，且进一 步包括沿着所述字线方向图案化所述沟道材料。24. 根据权利要求22所述的方法，其中所述沟道区材料包括过渡金属硫属化物。25. 根据权利要求22所述的方法，其中所述沟道区材料包括过渡金属二硫属化物及/或 过渡金属Ξ硫属化物。26. 根据权利要求22所述的方法，其中所述沟道区材料包括选自由硫化钢、砸化钢、硫 化鹤、砸化鹤、硫化铜及砸化铜组成的所述群组的一或多个硫属化物。27. 根据权利要求22所述的方法，其中所述沟道区材料在小于或等于约75(TC的溫度下 沉积。28. 根据权利要求22所述的方法，其中在图案化为所述柱期间将所述顶部源极/漏极材 料图案化为顶部源极/漏极区，且进一步包括形成电禪合到所述顶部源极/漏极区的存储器 单元。29.根据权利要求22所述的方法，其中在图案化为所述柱期间将所述顶部源极/漏极材 料图案化为顶部源极/漏极区，且进一步包括形成电禪合到所述顶部源极/漏极区的电荷存 储装置。
【文档编号】H01L21/336GK105981177SQ201480075413
【公开日】2016年9月28日
【申请日】2014年12月3日
【发明人】卡迈勒·M·考尔道, 钱德拉·穆利, 古尔特杰·S·桑胡
【申请人】美光科技公司
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