一种晶圆可旋转的夹持装置的制造方法
【技术领域】
[0001]本实用新型涉及一种晶圆可旋转的夹持装置，属于夹持装置技术领域。
【背景技术】
[0002]在晶圆加工完毕后，需要通过夹持装置将完成的晶圆固定，以方便作各种检测以及清洗，传统的夹持装置不能实现一次夹紧就能解决晶圆两个面的检测和清洗目的。
【实用新型内容】
[0003]为解决上述技术问题，克服现有技术存在的不足，本实用新型提供一种晶圆可旋转的夹持装置。
[0004]本实用新型采用如下技术方案:一种晶圆可旋转的夹持装置，其特征在于，包括长轴，所述长轴外部设置有轴套，所述长轴的上端开有吊挂孔，所述长轴的下端设置有下支撑，所述下支撑上通过销轴活动设置有多个卡爪，所述卡爪的上端通过销轴与斜拉杆的下端活动连接，所述斜拉杆的上端通过销轴与所述轴套活动连接，所述卡爪的下端设置有水平夹持臂，所述水平夹持臂与旋转夹持臂配合连接。
[0005]更进一步地说，所述下支撑与所述长轴之间设置有锁紧固定的弹簧垫圈和螺母。
[0006]更进一步地说，所述水平夹持臂上开有凹槽，所述旋转夹持臂靠近水平夹持臂的一侧设置有与所述凹槽配合的凸棱。
[0007]更进一步地说，所述凹槽为两个互相垂直相交的凹槽。
[0008]更进一步地说，所述卡爪的个数为2个。
[0009]更进一步地说，所述卡爪上设置有加强支撑杆。
[0010]本实用新型所达到的有益效果:通过一次夹紧晶圆，根据需要转动旋转夹持臂，晶圆随之转动，从而实现很方便地对晶圆作各种检测以及清洗。
【附图说明】
[0011]图1是本实用新型的结构示意图。
[0012]图2是本实用新型的水平夹持臂上凹槽的一种实施例的示意图。
[0013]图3是本实用新型的旋转夹持臂上凸起的一种实施例的示意图。
[0014]图中标记的含义:1_长轴，2-轴套，3-吊挂孔，4-下支撑，5-弹簧垫圈，6-弹簧，7-销轴，8-卡爪，9-加强支撑杆，10-斜拉杆，11-水平夹持臂，12-旋转夹持臂，13-晶圆。
【具体实施方式】
[0015]下面结合附图对本实用新型作进一步描述。以下实施例仅用于更加清楚地说明本实用新型的技术方案，而不能以此来限制本实用新型的保护范围。
[0016]如图1所示的是本实用新型的结构示意图，本实用新型提供一种晶圆可旋转的夹持装置，包括长轴1，长轴I外部设置有轴套2，长轴I的上端开有吊挂孔3，长轴I的下端设置有下支撑4，下支撑4上通过销轴7活动设置有多个卡爪8，卡爪8的上端通过销轴7与斜拉杆10的下端活动连接，斜拉杆10的上端通过销轴7与轴套2活动连接，卡爪8的下端设置有水平夹持臂11，所述水平夹持臂11与旋转夹持臂12配合连接。
[0017]优选地，下支撑4与长轴I之间设置有锁紧固定的弹簧垫圈5和螺母6。
[0018]优选地，卡爪8的个数为2个。
[0019]优选地，卡爪8上设置有加强支撑杆9。
[0020]优选地，水平夹持臂11上开有凹槽，旋转夹持臂12靠近水平夹持臂11的一侧设置有与凹槽配合的凸棱。
[0021]优选地，凹槽为两个互相垂直相交的凹槽I如图2和图3所示的是互相配合的凹槽和凸棱的一种实施例的结构示意图，转动旋转夹持臂12，晶圆13随之转动，从而实现很方便地对晶圆13作各种检测以及清洗。
[0022]以上所述仅是本实用新型的优选实施方式，应当指出，对于本技术领域的普通技术人员来说，在不脱离本实用新型技术原理的前提下，还可以做出若干改进和变形，这些改进和变形也应视为本实用新型的保护范围。
【主权项】
1.一种晶圆可旋转的夹持装置，其特征在于，包括长轴，所述长轴外部设置有轴套，所述长轴的上端开有吊挂孔，所述长轴的下端设置有下支撑，所述下支撑上通过销轴活动设置有多个卡爪，所述卡爪的上端通过销轴与斜拉杆的下端活动连接，所述斜拉杆的上端通过销轴与所述轴套活动连接，所述卡爪的下端设置有水平夹持臂，所述水平夹持臂与旋转夹持臂配合连接。
2.根据权利要求1所述的一种晶圆可旋转的夹持装置，其特征在于，所述下支撑与所述长轴之间设置有锁紧固定的弹簧垫圈和螺母。
3.根据权利要求2所述的一种晶圆可旋转的夹持装置，其特征在于，所述水平夹持臂上开有凹槽，所述旋转夹持臂靠近水平夹持臂的一侧设置有与所述凹槽配合的凸棱。
4.根据权利要求3所述的一种晶圆可旋转的夹持装置，其特征在于，所述凹槽为两个互相垂直相交的凹槽。
5.根据权利要求1所述的一种晶圆可旋转的夹持装置，其特征在于，所述卡爪的个数为2个。
6.根据权利要求1所述的一种晶圆可旋转的夹持装置，其特征在于，所述卡爪上设置有加强支撑杆。
【专利摘要】本实用新型公开了一种晶圆可旋转的夹持装置，属于夹持装置技术领域。本实用新型采用如下技术方案：一种晶圆可旋转的夹持装置，其特征在于，包括长轴，所述长轴外部设置有轴套，所述长轴的上端开有吊挂孔，所述长轴的下端设置有下支撑，所述下支撑上通过销轴活动设置有多个卡爪，所述卡爪的上端通过销轴与斜拉杆的下端活动连接，所述斜拉杆的上端通过销轴与所述轴套活动连接，所述卡爪的下端设置有水平夹持臂，所述水平夹持臂与旋转夹持臂配合连接。本实用新型通过一次夹紧晶圆，根据需要转动旋转夹持臂，晶圆随之转动，从而实现很方便地对晶圆作各种检测以及清洗。
【IPC分类】H01L21-687
【公开号】CN204332931
【申请号】CN201420837159
【发明人】刘思佳
【申请人】苏州凯锝微电子有限公司
【公开日】2015年5月13日
【申请日】2014年12月26日