太阳能电池片生产中的石墨舟转运车的制作方法
【技术领域】
[0001]本实用新型涉及一种太阳能电池片生产设备，具体为一种太阳能电池片生产中的石墨舟转运车。
【背景技术】
[0002]太阳能电池片的生产工艺流程分为硅片检测，表面制绒及酸洗，扩散制结，去磷硅玻璃，等离子刻蚀及酸洗，镀减反射膜，丝网印刷，快速烧结等。
[0003]等离子刻蚀的主要步骤是，
[0004]由于在扩散过程中，即使采用背靠背扩散，硅片的所有表面包括边缘都将不可避免地扩散上磷。PN结的正面所收集到的光生电子会沿着边缘扩散有磷的区域流到PN结的背面，而造成短路。因此，必须对太阳能电池周边的掺杂硅进行刻蚀，以去除电池边缘的PN结。通常采用等离子刻蚀技术完成这一工艺。等离子刻蚀是在低压状态下，反应气体CF4的母体分子在射频功率的激发下，产生电离并形成等离子体。等离子体是由带电的电子和离子组成，反应腔体中的气体在电子的撞击下，除了转变成离子外，还能吸收能量并形成大量的活性基团。活性反应基团由于扩散或者在电场作用下到达Si02表面，在那里与被刻蚀材料表面发生化学反应，并形成挥发性的反应生成物脱离被刻蚀物质表面，被真空系统抽出腔体。
[0005]经过刻蚀之后的硅片放在石墨舟中，需要PECVD镀膜处理，介质的等离子体增强化学气相淀积(PECVD)设备工作原理为，在真空压力下，加在电极板上的射频电场，使反应室气体发生辉光放电，在辉光发电区域产生大量的电子。这些电子在电场的作用下获得充足的能量，其本身温度很高，它与气体分子相碰撞，使气体分子活化。它们吸附在衬底上，并发生化学反应生成介质膜，副产物从衬底上解吸，随主气流由真空泵抽走。
[0006]这中间需要使用到一种专用装置石墨舟，而石墨舟本身很精密，而且温度较高，人不能直接接触，因此需要一个转运设备，处理完之后，石墨舟还得使用该设备送至冷却房，冷却完之后，还需要使用该设备送到工作台，再取片。
【发明内容】
[0007]本实用新型为了解决太阳能硅片加工中专用的石墨舟的转运问题，提供了一种太阳能电池片生产中的石墨舟转运车。
[0008]本实用新型的技术方案是，一种太阳能电池片生产中的石墨舟转运车，结构包括移动架，在移动架中部设有平台，在平台中部设有两个支架板，支架板中间通过轴穿设有摆块，摆块上连接把手，摆块前侧设有锁具，摆块中部设有转轴，转轴上设有转台，转台20上设有石墨舟的放置台；
[0009]所述的锁具中部为铰接架，铰接架中穿设转杆，转杆上设有拨杆，转杆两端设有锁母，在铰接架两侧设有锁扣，所述的锁扣和锁母之间为闭锁区间，所述的转台上设有锁杆，锁杆位于闭锁区间内；
[0010]所述的支架板上设有前定位杆、后定位杆，前定位杆上设有前支杆7，后定位杆上设有后支杆。
[0011]使用中，石墨舟可以直接放置在放置台上，可以在车间内输送石墨舟，要去取片或者插片操作，只需要下压把手，可以使摆块逆时针转动，带动放置台形成一个倾斜状态，方便工作人员操作，当石墨舟需要旋转时候，下压拨杆，使转杆带动锁母转动，锁杆则脱离闭锁区间，整个转台转动180°后，锁杆另一端又转动到锁具的另一侧，重新进入锁母和锁扣形成的闭锁区间内，将转台固定，工作人员开始操作。
[0012]本实用新型所述的石墨舟运转装置，结构简单，设计合理，可以实现石墨舟的输送目的，同时还可以使石墨舟具有前后转动，以及水平旋转的功能。方便石墨舟上太阳能电池片的取片，插片工作，分拣等工作。提高了劳动效率和产品质量。
【附图说明】
[0013]图1为本实用新型的结构示意图
[0014]图2为本实用新型的侧视图
[0015]图3为锁具结构示意图
[0016]图4为锁具的俯视图
[0017]图5为图1的A-A剖视图
[0018]图中:1-移动架、2-放置台、3-把手、4-锁杆、5-锁具、6-前定位杆、7-前支杆、8-摆块、9-支架板、10-平台、11-横向推杆、12-纵向推杆、13-拉手、14-万向轮、15-铰接架、16-转杆、17-拨杆、18-锁母、19-锁扣、20-转台、21-转轴、22-后定位杆。
【具体实施方式】
[0019]如图1、2所示意，一种太阳能电池片生产中的石墨舟转运车，结构包括移动架1，在移动架I中部设有平台10，在平台中部设有两个支架板9，支架板9中间通过轴穿设有摆块8，摆块8上连接把手3，摆块8前侧设有锁具5，摆块8中部设有转轴21，转轴21上设有转台20，转台20上设有石墨舟的放置台2，
[0020]如图3、4所示意，所述的锁具5中部为铰接架15，铰接架15中穿设转杆16，转杆16上设有拨杆17，转杆16两端设有锁母18，在铰接架15两侧设有锁扣19，所述的锁扣19和锁母18之间为闭锁区间，
[0021]所述的转台20上设有锁杆4，锁杆4位于闭锁区间内。
[0022]如图5所示意，所述的支架板9上设有前定位杆6、后定位杆22，前定位杆6上设有前支杆7，后定位杆22上设有后支杆。
[0023]该设计是使摆块8只能在一个较小的范围内转动，这个角度使石墨舟的倾斜角度与人适应性最佳。
[0024]在移动架下侧设有万向轮14，上侧设有横向推杆11、纵向推杆12、拉手13。该设计可以使本装置有较好的操控性。
【主权项】
1.一种太阳能电池片生产中的石墨舟转运车，其特征在于:结构包括移动架(1)，在移动架(I)中部设有平台(10)，在平台中部设有两个支架板(9)，支架板(9)中间通过轴穿设有摆块(8)，摆块(8)上连接把手(3)，摆块(8)前侧设有锁具(5)，摆块(8)中部设有转轴(21)，转轴(21)上设有转台(20)，转台(20)上设有石墨舟的放置台(2)。
2.根据权利要求1所述的太阳能电池片生产中的石墨舟转运车，其特征在于:所述的锁具(5)中部为铰接架(15)，铰接架(15)中穿设转杆(16)，转杆(16)上设有拨杆(17)，转杆(16)两端设有锁母(18)，在铰接架(15)两侧设有锁扣(19)，所述的锁扣(19)和锁母(18 )之间为闭锁区间，所述的转台(20 )上设有锁杆(4 )，锁杆(4 )位于闭锁区间内。
3.根据权利要求1所述的太阳能电池片生产中的石墨舟转运车，其特征在于:所述的支架板(9 )上设有前定位杆(6 )、后定位杆(22 )，前定位杆(6 )上设有前支杆(7 )，后定位杆(22)上设有后支杆。
4.根据权利要求1所述的太阳能电池片生产中的石墨舟转运车，其特征在于:在移动架下侧设有万向轮(14)，上侧设有横向推杆(11)、纵向推杆(12)、拉手(13)。
【专利摘要】本实用新型涉及一种太阳能电池片生产设备，具体为一种太阳能电池片生产中的石墨舟转运车。解决太阳能硅片加工中专用的石墨舟的转运问题结构包括移动架，在移动架中部设有平台，在平台中部设有两个支架板，支架板中间通过轴穿设有摆块，摆块上连接把手，摆块前侧设有锁具，摆块中部设有转轴，转轴上设有转台，转台上设有石墨舟的放置台。本实用新型所述的石墨舟运转装置，结构简单，设计合理，可以实现石墨舟的输送目的，同时还可以使石墨舟具有前后转动，以及水平旋转的功能。方便石墨舟上太阳能电池片的取片，插片工作，分拣等工作。提高了劳动效率和产品质量。
【IPC分类】H01L31-18, H01L21-677
【公开号】CN204407314
【申请号】CN201520159235
【发明人】焦惠峰
【申请人】山西晨洋光伏科技有限公司
【公开日】2015年6月17日
【申请日】2015年3月20日