一种大功率太阳能电池片石墨舟的制作方法
【技术领域】
[0001]本实用新型涉及太阳能电池片加工设备领域，特别涉及一种大功率太阳能电池片石墨舟。
【背景技术】
[0002]石墨舟是给太阳能电池片中的硅片镀膜的载体，在进行镀膜时，将插有未镀膜的硅片的石墨舟送入PECVD真空镀膜设备腔体内且利用PECVD工艺进行放电镀膜。镀膜结束后，取出石墨舟，将硅片从石墨舟上卸取下来。
[0003]目前的石墨舟一般包括石墨舟片、陶瓷管、石墨棒、石墨隔块等石墨配件构成，如中国专利申请公布号CN102354676A(申请公布日2012.02.15)公开了一种石墨舟，其包括交错分布的第一石墨舟片、第二石墨舟片、第三石墨舟片及第四石墨舟片；第一石墨舟片、第二石墨舟片、第三石墨舟片及第四石墨舟片间通过石墨棒及石墨螺母串接后紧固连接；所述第一石墨舟片、第二石墨舟片、第三石墨舟片及第四石墨舟片间均通过陶瓷管相隔离；第一石墨舟片、第二石墨舟片、第三石墨舟片及第四石墨舟片间端部的石墨棒上套有石墨块；第一石墨舟片、第二石墨舟片、第三石墨舟片及第四石墨舟片上均设置有石墨棒安装孔。但是目前这种结构的石墨舟的陶瓷管与石墨棒之间通过间隙配合，使得陶瓷管内壁、石墨棒外壁以及相邻两石墨舟片之间所围成区域形成一空气腔，而在进行PECVD工艺时，需要要求设备内为无氧环境，但是该空气腔内的空气在镀膜过程中会缓慢释放氧气，影响设备内的无氧环境，从而影响镀膜效果。
【实用新型内容】
[0004]本实用新型的目的在于针对现有的石墨舟的上述不足和缺陷，提供一种大功率太阳能电池片石墨舟，该石墨舟可以避免陶瓷管内壁、石墨棒外壁以及相邻两石墨舟片之间所围成区域形成空气腔，以解决上述问题。
[0005]本实用新型所解决的技术问题可以采用以下技术方案来实现:
[0006]一种大功率太阳能电池片石墨舟，包括干依次交错分布的若干第一石墨舟片和第二石墨舟片，所述第一石墨舟片的两侧下部设置有第一连接耳片，所述第二石墨舟片的两侧上部设置有第二连接耳片，所述第一连接耳片和第二连接耳片之间设置有供外石墨棒穿过的石墨块，所述第一石墨舟片和第二石墨舟片上间隔设置有若干供内石墨棒穿过的孔，所述第一石墨舟片和第二石墨舟片之间的内石墨棒段上设置有与所述内石墨棒间隙配合的陶瓷管本体，所述陶瓷管本体内壁、内石墨棒外壁以及第一石墨舟片和第二石墨舟片外壁之间所围成区域形成一空气腔，其特征在于，所述陶瓷管本体上开设有与所述空气腔连通的通孔。
[0007]在本实用新型的一个优选实施例中，所述通孔包括设置在所述陶瓷管本体一端或两端的缺口。
[0008]在本实用新型的一个优选实施例中，所述陶瓷管本体的每一端均设置有两个所述缺口，且同一端的两个所述缺口关于所述陶瓷管本体的中轴线对称设置。
[0009]在本实用新型的一个优选实施例中，所述陶瓷管本体的至少一端外壁为渐缩锥形面。
[0010]在本实用新型的一个优选实施例中，所述第一石墨舟片和第二石墨舟片沿长度方向间隔设置有七个供硅片固定用的方形镂空区域。
[0011]在本实用新型的一个优选实施例中，在所述方形镂空区域的外围设置有若干固定工艺孔。
[0012]由于采用了如上的技术方案，本实用新型在进行PECVD工艺时，空气腔内部可被抽成真空，可以避免陶瓷管本体内壁、内石墨棒外壁以及第一石墨舟片和第二石墨舟片外壁之间所围成区域形成空气腔，保证设备内为无氧环境，保证利用PECVD工艺镀膜的效果。
【附图说明】
[0013]为了更清楚地说明本实用新型实施例或现有技术中的技术方案，下面将对实施例或现有技术描述中所需要使用的附图作简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图仅仅是本实用新型的一些实施例，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图获得其他的附图。
[0014]图1是本实用新型一种实施例的结构示意图(图中省略右侧的石墨块)。
[0015]图2是图1的左侧局部放大图。
[0016]图3是图1的右侧局部放大图。
[0017]图4是本实用新型一种实施例的一种陶瓷管本体的结构示意图。
[0018]图5是图4的左视图。
[0019]图6是图4的俯视图。
[0020]图7是本实用新型的一种实施例的使用状态局部俯视示意图。
[0021]图8是本实用新型一种实施例的另一种陶瓷管本体的结构示意图。
[0022]图9是图8的左视图。
[0023]图10是图9的右视图。
[0024]图11是图9的俯视图。
[0025]图12是本实用新型一种实施例的另一种使用状态局部俯视示意图。
【具体实施方式】
[0026]为了使本实用新型实现的技术手段、创作特征、达成目的与功效易于明白了解，下面进一步阐述本实用新型。
[0027]实施例1
[0028]参见图1至图3所示的一种大功率太阳能电池片石墨舟，包括干依次交错分布的第一石墨舟片1a和第二石墨舟片10b，本实施例中的第一石墨舟片1a为十片，第二石墨舟片1b为九片，所以相邻两第一石墨舟片1a之间夹有第二石墨舟片10b。第一石墨舟片1a的两侧下部设置有第一连接耳片11a，第二石墨舟片1b的两侧上部设置有第二连接耳片lib。第一连接耳片Ila和第二连接耳片Ilb上分别设置有若干孔llaa、llbb。而相邻的第一连接耳片Ila和第二连接耳片Ilb之间夹有石墨块40，下部的石墨块40的底部还设置有支撑脚41。每一第一连接耳片I Ia和第二连接耳片Ilb均被一对穿过孔IlaaUlbb和石墨块40的外石墨棒20a穿过，且外石墨棒20a的两端通过石墨螺帽21a并紧。第一石墨舟片1a和第二石墨舟片1b的上部和下部沿长度方向上间隔设置有若干供内石墨棒20穿过的孔21，内石墨棒20的两端通过石墨螺帽22并紧。本实施例中的第一石墨舟片1a和第二石墨舟片1b沿长度方向间隔设置有七个供硅片固定用的方形镂空区域12。为了方便硅片固定，在方形镂空区域12的外围设置有若干固定工艺孔13。
[0029]结合图4至图7所示，第一石墨舟片1a和第二石墨舟片1b之间的内石墨棒段上套设有与内石墨棒20间隙配合的陶瓷管本体30，陶瓷管本体30内壁31、内石墨棒20外壁以及第一石墨舟片1a和第二石墨舟片1b外壁之间所围成区域形成一空气腔，陶瓷管本体30上开设有与空气腔连通的通孔。本实施例中的通孔为开设在陶瓷管本体30其中一端的缺口 32。
[0030]实施例2
[0031]参见图8至图12所示的一种大功率太阳能电池片石墨舟，该实施例的大致结构与实施例1的结构一样，其区别在于陶瓷管本体30’的结构有区别，以下仅对陶瓷管本体30’的结构进行描述。
[0032]第一石墨舟片1a和第二石墨舟片1b之间的内石墨棒段上套设有与内石墨棒20间隙配合的陶瓷管本体30’，陶瓷管本体30’内壁31’、内石墨棒20外壁以及第一石墨舟片1a和第二石墨舟片1b外壁之间所围成区域形成一空气腔，陶瓷管本体30’上开设有与空气腔连通的通孔。本实施例中的通孔为分别开设在陶瓷管本体30’两端的一对缺口 32’，且同一端的两个缺口 32’关于陶瓷管本体30’的中轴线对称设置，陶瓷管本体30’两端的一对缺口 32’的中心连线相互垂直。为了使得陶瓷管本体30’与相邻第一石墨舟片1a和第二石墨舟片1b之间的配合更加紧密，本实施例中的陶瓷管本体30’的其中一端外壁为渐缩锥形面33’。
[0033]本实用新型在进行PECVD工艺时，空气腔内部可被抽成真空，所以该陶瓷管可以避免陶瓷管本体内壁、内石墨棒外壁以及第一石墨舟片和第二石墨舟片外壁之间所围成区域形成空气腔，保证设备内为无氧环境，保证利用PECVD工艺镀膜的效果。
[0034]以上显示和描述了本实用新型的基本原理和主要特征和本实用新型的优点。本行业的技术人员应该了解，本实用新型不受上述实施例的限制，上述实施例和说明书中描述的只是说明本实用新型的原理，在不脱离本实用新型精神和范围的前提下，本实用新型还会有各种变化和改进，这些变化和改进都落入要求保护的本实用新型范围内。本实用新型要求保护范围由所附的权利要求书及其等效物界定。
【主权项】
1.一种大功率太阳能电池片石墨舟，包括干依次交错分布的若干第一石墨舟片和第二石墨舟片，所述第一石墨舟片的两侧下部设置有第一连接耳片，所述第二石墨舟片的两侧上部设置有第二连接耳片，所述第一连接耳片和第二连接耳片之间设置有供外石墨棒穿过的石墨块，所述第一石墨舟片和第二石墨舟片上间隔设置有若干供内石墨棒穿过的孔，所述第一石墨舟片和第二石墨舟片之间的内石墨棒段上设置有与所述内石墨棒间隙配合的陶瓷管本体，所述陶瓷管本体内壁、内石墨棒外壁以及第一石墨舟片和第二石墨舟片外壁之间所围成区域形成一空气腔，其特征在于，所述陶瓷管本体上开设有与所述空气腔连通的通孔。
2.如权利要求1所述的一种大功率太阳能电池片石墨舟，其特征在于，所述通孔包括设置在所述陶瓷管本体一端或两端的缺口。
3.如权利要求2所述的一种大功率太阳能电池片石墨舟，其特征在于，所述陶瓷管本体的每一端均设置有两个所述缺口，且同一端的两个所述缺口关于所述陶瓷管本体的中轴线对称设置。
4.如权利要求1至3任一权利要求所述的一种大功率太阳能电池片石墨舟，其特征在于，所述陶瓷管本体的至少一端外壁为渐缩锥形面。
5.如权利要求1所述的一种大功率太阳能电池片石墨舟，其特征在于，所述第一石墨舟片和第二石墨舟片沿长度方向间隔设置有七个供硅片固定用的方形镂空区域。
6.如权利要求5所述的一种大功率太阳能电池片石墨舟，其特征在于，在所述方形镂空区域的外围设置有若干固定工艺孔。
【专利摘要】本实用新型公开了一种大功率太阳能电池片石墨舟，包括干依次交错分布的若干第一石墨舟片和第二石墨舟片，第一石墨舟片的两侧下部设置有第一连接耳片，第二石墨舟片的两侧上部设置有第二连接耳片，第一连接耳片和第二连接耳片之间设置有供外石墨棒穿过的石墨块，第一石墨舟片和第二石墨舟片上间隔设置有若干供内石墨棒穿过的孔，第一石墨舟片和第二石墨舟片之间的内石墨棒段上设置有与内石墨棒间隙配合的陶瓷管本体，陶瓷管本体内壁、内石墨棒外壁以及第一石墨舟片和第二石墨舟片外壁之间所围成区域形成一空气腔，陶瓷管本体上开设有与空气腔连通的通孔。本实用新型在进行PECVD工艺时，保证设备内为无氧环境，保证PECVD工艺镀膜的效果。
【IPC分类】H01L31-18, H01L21-673, C23C16-458
【公开号】CN204558431
【申请号】CN201520257123
【发明人】张孟彤
【申请人】上海弘枫实业有限公司
【公开日】2015年8月12日
【申请日】2015年4月24日