胶膜剥离及回收装置的制造方法
【技术领域】
[0001]本实用新型关于一种剥离装置；更详而言之，特别是指一种胶膜剥离及回收装置。
【背景技术】
[0002]现有半导体技术中，在晶圆切割、研磨或抛光作业时，是先在非研磨面(即电路形成面)上贴附一层胶膜加以保护，待研磨作业完成后，再将所述胶膜剥离。
[0003]然而，为了提高胶膜的保护效果，所述胶膜必须具有良好的粘着性及易剥离性，因为晶圆在切割、研磨或抛光时胶膜必须贴附牢固，一旦切割、研磨或抛光完成后，又必须很容易剥离下来，显然胶膜的粘着性和剥离性是相左的。除了胶膜的选用很重要之外，剥离胶膜的装置也是剥离胶膜技术中重要的一环。
[0004]因此，现有胶膜剥离技术中，已有业者研宄一种保护带剥离方法及使用此方法的装置(如中国台湾公告号第1408704号发明专利)，其主要从粘贴于半导体晶圆表面的保护带的周缘钩住前端尖锐的针，将保护带周缘部分的一部剥离而形成剥离部位。其后，从剥离部位将剥离带贴附于保护带的表面，同时以此剥离部位作为起点将剥离带剥离，而使保护带一体地从半导体晶圆剥离。虽然其可达到保护带的剥离效果，但其是利用剥离带以直接性的方式剥离所述保护带，加上保护带对所述半导体晶圆表面本来就具有粘着性，仍难免会损坏半导体晶圆的表面。
[0005]因此，如何能在完成剥离胶膜(或保护带)的情况下，又能提高半导体晶圆表面的完整性，为目前许多半导体业者正努力研发并亟欲达成的一重要目标。
【实用新型内容】
[0006]本实用新型所欲解决的问题是提供一种不会破坏板状构件表面，同时可轻易省力剥离所述板状构件表面的胶膜的胶膜剥离及回收装置。
[0007]为解决上述问题，本实用新型提供一种胶膜剥离及回收装置，所述胶膜贴附于一板状构件的表面上，所述胶膜剥离及回收装置包括有:
[0008]一夹取装置，其包含有一震动部及一端连接所述震动部的夹取部，所述夹取部夹设所述胶膜粘贴的贴带；以及
[0009]—出风装置，其设置于所述夹取装置的一侧，所述出风装置具有一出风口，所述出风口朝向所述胶膜。
[0010]作为上述一种胶膜剥离及回收装置的优选方案，其中所述出风口所吹送出的风朝向所述板状构件和所述胶膜的贴缝处。
[0011]作为上述一种胶膜剥离及回收装置的优选方案，其中所述出风装置产生热风。
[0012]作为上述一种胶膜剥离及回收装置的优选方案，其中所述出风装置产生冷风。
[0013]作为上述一种胶膜剥离及回收装置的优选方案，其中所述夹取装置在剥离所述胶膜时，所述震动部产生微振动。
[0014]为解决上述问题，本实用新型提供另一种胶膜剥离及回收装置，所述胶膜贴附于一板状构件的表面上，所述胶膜剥离及回收装置包括有:
[0015]一卷收装置，其沾粘所述胶膜粘贴的贴带；以及
[0016]一出风装置，其设置于所述卷收装置的一侧，所述出风装置具有一出风口，所述出风口朝向所述胶膜。
[0017]作为上述另一种胶膜剥离及回收装置的优选方案，其中所述出风口所吹送出的风朝向所述板状构件和所述胶膜的贴缝处。
[0018]作为上述另一种胶膜剥离及回收装置的优选方案，其中所述出风装置产生热风。
[0019]作为上述另一种胶膜剥离及回收装置的优选方案，其中所述出风装置产生冷风。
[0020]本实用新型具有以下有益效果:
[0021]本实用新型所提供的胶膜剥离及回收装置，其夹取装置的震动部产生的微振动，使得所述夹取装置在进行胶膜的剥离作业时，可轻易省力地将胶膜从板状构件的表面上剥离，不留下任何胶膜残渣，同时也不损伤所述板状构件的表面；
[0022]本实用新型所提供的胶膜剥离及回收装置，其出风装置所产生的热风或冷风，使贴附于所述板状构件的表面上的胶膜产生微剥离现象，以方便夹取部可轻易夹取粘贴于所述胶膜上的贴带，并顺利进行胶膜的剥离作；
[0023]再者，若将所述夹取装置替换成卷收装置时，可在剥离胶膜的同一时间内做胶膜的回收，减少施作后环境整理的时间，并且对于施作的空间上也较无限制。
【附图说明】
[0024]图1A为本实用新型实施例1所述夹取部初步夹取胶膜的示意图；
[0025]图1B为本实用新型实施例1所述出风装置吹送热风的示意图；
[0026]图1C为本实用新型实施例1所述夹取装置剥离胶膜的示意图；
[0027]图2A为本实用新型实施例2所述出风装置吹送热风的示意图；
[0028]图2B为本实用新型实施例2所述夹取部夹取胶膜的示意图；
[0029]图3A为本实用新型实施例3所述卷收装置沾粘的示意图；
[0030]图3B为本实用新型实施例3所述卷收装置剥离胶膜的示意图。
[0031]【主要元件符号说明】
[0032]100-夹取装置；101-震动部；102-夹取部；
[0033]200-出风装置；201-出风口 ；
[0034]300-板状构件；301_表面；302_胶膜；303_贴带；304_贴缝；305_胶膜边缘部分；
[0035]400-卷收装置。
【具体实施方式】
[0036]有关本实用新型的详细说明和技术内容，配合【附图说明】如下，然而附图仅提供参考与说明之用，并非用以限制本实用新型。
[0037]实施例1:
[0038]首先，请同时参阅图1A、图1B及图1C ;本实用新型所揭示的胶膜剥离装置，其包含有一夹取装置100及一出风装置200，主要用以将贴附于一板状构件300 (本实用新型以晶圆为举例说明)的表面301上的胶膜302予以剥离，其中:
[0039]所述夹取装置100包含有一震动部101及一端连接震动部101的夹取部102，所述夹取装置100可往任意方向移动；
[0040]所述出风装置200设置于所述夹取装置100的一侧，且具有一出风口 201，所述出风口 201朝向所述胶膜302。所述出风装置200所设置的最佳位置是邻近位于所述板状构件300和所述胶膜302的贴缝304处。
[0041]由上述可知，本实用新型所揭示的胶膜剥离装置是用以剥离胶膜，由图1A可知，其剥离所述胶膜302的方式主要是先利用所述夹取装置100的夹取部102夹取和所述胶膜302粘贴的贴带303 (图中所述夹取部102夹取所述贴带303的位置是位于所述板状构件300和所述胶膜302的贴缝304处的胶膜边缘部分305，以方便初步夹取所述贴带303，当然所述夹取部102初步夹取所述贴带303的位置不受此限)，使位于所述板状构件300和所述胶膜302的贴缝304处的胶膜边缘部分305和所述板状构件300微剥离。
[0042]接续由图1B可知，再利用所述出风装置200产生风(可为热风或冷风)并通过出风口 201向所述贴缝304及微剥离的胶膜边缘部分305吹送，其中，由于一般常见的胶膜皆具有热溶性的胶体(图中未示)，因此在本实用新型中所述出风装置200是以产生热风为较佳实施例，使得所述胶膜边缘部分305相对所述板状构件300的表面301的微剥离现象更为明显，更有利于所述夹取装置100夹取所述贴带303将所述胶膜302剥离所述板状构件300的表面301。
[0043]续再由图1C可知，所述夹取装置100是以相对所述胶膜边缘部分305的方向横向剥离所述胶膜302为举例说明，其剥离方向不受此限。而在剥离所述胶膜302的同时，所述夹取装置100的震动部101是产生微震动，提升所述胶膜302剥离所述表面301的完整性，以渐进式方式横向剥离所述胶膜302，依此剥离方式，可轻易省力地将胶膜302从板状构件300的表面301上剥离，且完全不留下任何胶膜残渣，同时也不损伤所述板状构件300的表面 301。
[0044]此外，为加快胶膜302的剥离速度，所述出风装置200可持续性地吹送热风，以提高剥离效率。
[0045]实施例2:
[0046]请同时参阅图2A及图2B ;由图2A可知，剥离所述胶膜302的首要步骤也可先利用所述出风装置200的出风口 201向所述板状构件300和所述胶膜302的贴缝304处先行吹送热风(或冷风)，使所述胶膜边缘部分305相对所述板状构件300的表面301产生微剥离，接着再由图2B可知，再利用夹取部102夹取所述贴带303，以进行后续的胶膜剥离作业。由于前述已提及后续剥离所述胶膜302的方式，在此不另行赘述。
[0047]实施例3:
[0048]请同时参阅图3A及图3B，并同时参阅图1A ;本实用新型所述的胶膜剥离及回收装置，其结构和上述相同，其差异在于，所述夹取设备100替换成一卷收装置400，所述卷收装置400是沾粘和所述胶膜302粘贴的贴带303，以将所述胶膜302剥离所述板状构件300。
[0049]续，由图3A可知，剥离所述胶膜302的首要步骤是为利用所述出风装置200的出风口 201向所述板状构件300和所述胶膜302的贴缝304处先行吹送热风(或冷风)，使所述胶膜边缘部分305相对所述板状构件300的表面301产生微剥离，接着再由图3B可知，利用卷收装置400沾粘所述贴带303，以进行后续的胶膜剥离作业。
[0050]末，在剥离所述胶膜302的同时，提升所述胶膜302剥离所述表面301的完整性，以渐进式方式横向剥离所述胶膜302，依此剥离方式，并配合所述卷收装置400持续转动(其转动方向不受限制)，即可轻易地将胶膜302从板状构件300的表面301上剥离，且完全不留下任何胶膜残渣，同时也不损伤所述板状构件300的表面301，且所述卷收装置400在卷收时也可在剥离胶膜302时边做回收的动作。
[0051]以上所述，仅为本实用新型的较佳实施例，并非用以限定本实用新型的专利保护范围，举凡运用本实用新型专利精神所作的等效结构变化等，均同理包含于本实用新型的专利保护范围内。
【主权项】
1.一种胶膜剥离及回收装置，所述胶膜贴附于一板状构件的表面上，其特征在于，所述胶膜剥离及回收装置包括有: 一夹取装置，其包含有一震动部及一端连接所述震动部的夹取部，所述夹取部夹设所述胶膜粘贴的贴带；以及 一出风装置，其设置于所述夹取装置的一侧，所述出风装置具有一出风口，所述出风口朝向所述胶膜。2.如权利要求1所述的胶膜剥离及回收装置，其特征在于，所述出风口所吹送出的风朝向所述板状构件和所述胶膜的贴缝处。3.一种胶膜剥离及回收装置，所述胶膜贴附于一板状构件的表面上，其特征在于，所述胶膜剥离及回收装置包括有: 一卷收装置，其沾粘所述胶膜粘贴的贴带；以及 一出风装置，其设置于所述卷收装置的一侧，所述出风装置具有一出风口，所述出风口朝向所述胶膜。4.如权利要求3所述的胶膜剥离及回收装置，其特征在于，所述出风口所吹送出的风朝向所述板状构件和所述胶膜的贴缝处。
【专利摘要】本实用新型关于一种胶膜剥离及回收装置，所述胶膜贴附于一板状构件的表面上，所述胶膜剥离及回收装置包括有：一夹取装置；一卷收装置；一出风装置，其设置于所述夹取装置或卷收装置的一侧，并具有一出风口，所述出风口朝向所述胶膜。本实用新型所提供的胶膜剥离及回收装置，其夹取装置的震动部产生的微振动，使得所述夹取装置或卷收装置在进行胶膜的剥离作业时，可轻易省力地将胶膜从板状构件的表面上剥离，不留下任何胶膜残渣，同时也不损伤所述板状构件的表面。
【IPC分类】H01L21/02
【公开号】CN204668278
【申请号】CN201520322805
【发明人】刘文隆
【申请人】建佳科技有限公司
【公开日】2015年9月23日
【申请日】2015年5月19日