用于太阳能电池的基板载具的制作方法
【技术领域】
[0001] 本实用新型是一种用于太阳能电池的基板载具，尤指一种在制作太阳能电池工艺 中，承载太阳能电池基板W进行湿式蚀刻的载具。
【背景技术】
[0002] 在制作太阳能电池的工艺中，会先经过湿式或干式蚀刻，而使太阳能电池的基板 表面形成金字塔结构，借W形成光电转换层。
[0003] 目前，在一般的太阳能电池工艺中，需利用一载具承载太阳能电池基板，再利用机 械手臂夹持该载具，W将该载具中承载的太阳能电池基板，进行酸碱蚀刻、清洗与干燥等步 骤，其中使用的酸碱液可包括氨氧化钟、氨氧化钢、硫酸、硝酸、氨氣酸、氨水等强碱、强酸等 蚀刻液，清洗液可包括高洁净度液体、去离子水W清洗残留在基板的蚀刻液体，最后再进行 烘干的工艺。
[0004] 然而，现有载具所用的材质与其结构，无法耐强碱、强酸于工艺所生的高溫，换言 之，现有载具耐溫仅达60°c~80°C，且不耐强碱、强酸的腐蚀性，仅可耐低浓度（<20% )的 酸碱蚀刻液，导致现有载具的使用寿命变短，通常使用100~500次之后即损坏需更换，且 现有载具的疏水性较差，蚀刻或清洗的液体易残留于太阳能电池基板上，于工艺中经不断 地交互进行酸碱蚀刻，造成太阳能电池基板四周的无效区域（pinmark)面积过大W致产品 不良率过高，譬如前一步骤实施强碱蚀刻的残留液，即使经过清洗步骤，然疏水性差的载具 仍可能将其所承载的含有强碱残留液的基板进入下一强酸蚀刻步骤，将导致蚀刻液酸碱中 和的不利效应，轻则影响基板的蚀刻效果，重者危害操作员的生命。 【实用新型内容】
[0005] 有鉴于此，本案发明人本于多年从事相关产品的制造开发与设计经验，针对上述 的目标，详加设计与审慎评估后，终得一确具实用性的本实用新型。
[0006] 本发明的目的，在于提供一种用于太阳能电池的基板载具，用于湿式蚀刻化学工 艺中，该载具包含有：两侧板、分别连接该两侧板外缘的至少一侧杆体、连接该两侧板下缘 的至少一底杆体、W及连接该两侧板上缘的至少一压杆体；
[0007] 其中该侧板、侧杆体与底杆体之间共同形成一空间，W容置至少一太阳能电池基 板；
[0008] 其中分别沿该侧杆体与该压杆体的轴向设有数个轴向排列且等距间隔的第一齿 肋，且该各齿肋与太阳能电池基板维持两者之间的一点对点的接触；
[0009] 其中该侧板设有一凹口W定位该压杆体具有一水滴状的凸部，且进一步自该凹口 向外延伸一斜向开口；W及
[0010] 其中该载具的材质为一四氣乙締一全氣烷氧基乙締基酸共聚物（Tetrafluoroeth yIene-PerfIuoroalkylVinylEtherCopolymer，简称PFA)。
[0011] 本发明的一个实施例中，该各第一齿肋由一较长的弧边、一较短的线边、对称的一 对斜侧边与一顶点所构成，该顶点定义为该第一齿肋的最高点，该各第一齿肋的四边分别 与该等侧杆体、压杆体连接于四处交点，借助该对斜侧边而使该各齿肋W点对点的接触方 式支撑该各太阳能电池基板。
[0012] 本发明的一个实施例中，该第一齿肋具有一侧视面而呈现一不对称罐形，该弧边 的曲率半径介于3毫米（mm)与500毫米（mm)之间，该弧边通过该顶点至与该交点的第一 直线与通过该顶点与该杆体的圆屯、的第二直线共同形成一夹角介于10°与85°之间，且 该线边与该第二直线共同形成一夹角介于-18°与45°之间；
[0013] 其中该第一齿肋具有一上视面，而呈现一第一径向长度、一第二径向长度与一轴 向长度，而该第一径向长度是定义自该顶点沿该弧边方向而至交点的径向长度，而该第二 径向长度是定义自该顶点沿该线边方向而至交点的径向长度，该第二径向长度为该第一径 向长度的0. 1~0. 9倍，且该轴向长度为该齿肋的一最大轴向长度且为该第一径向长度的 0. 2~0. 8倍；其中该第一齿肋具有一前视面而呈现该对斜侧边与该线边，该斜侧边与该线 边共同形成一夹角介于r与45°之间。
[0014] 本发明的一个实施例中，该载具进一步沿该底杆体的轴向设有数个轴向排列且等 距间隔的第一齿肋。
[0015] 本发明的一个实施例中，该载具进一步沿该侧杆体、该底杆体与该压杆体的其中 之一另设有数个轴向排列且等距间隔的第二齿肋，其中该些第二齿肋与该些第一齿肋之间 W彼此交错方式排列，且两者具有相同的构型；
[0016] 其中该第一与第二齿肋共同形成一侧视面而呈现一对称罐形；
[0017] 其中该第一与第二齿肋共同形成一上视面而呈现其相邻齿肋具有一上一下的组 态；
[0018] 其中该第一与第二齿肋共同形成一前视面，而呈现该任一齿肋的该斜侧边的径向 距离为其轴向长度的0. 8~5倍之间；
[0019] 其中该斜侧边与该弧边共同形成一夹角介于r与45°之间。
[0020] 本发明的一个实施例中，该第一齿肋具有一侧视面而呈现一大致等腰梯形，该梯 形由一顶面、一对倒角面、一对斜面与一底部所构成者，该倒角面具有一曲率半径介于1毫 米（mm)与30毫米（mm)之间，该斜面与一通过该顶面的中屯、与该杆体圆屯、的直线共同形成 一夹角介于r与60°之间；
[0021] 其中该第一齿肋具有一前视面而呈现该顶面、该倒角面、该斜面与两斜侧面，通过 该顶面的中屯、与该杆体圆屯、的直线与该斜侧面共同形成一夹角介于r与45°之间，该顶 面具有一最大轴向长度且该斜侧面具有一最大径向长度，该最大径向长度约为该最大轴向 长度的0. 5~10倍。
[0022] 本发明的一个实施例中，该第一齿肋具有一侧视面而呈现一具有一顶点的等腰= 角形，该等腰=角形具有两等腰斜边且其与通过该顶点及该杆体圆屯、的直线共同形成一夹 角介于3°与60°之间；
[0023] 其中该第一齿肋具有一上视面而呈现一菱形，该菱形具有一最大的对角径向边与 一最小的对角轴向边，而该最小的轴向边约为该最大的径向边的0. 2~5倍；
[0024] 其中该第一齿肋具有一前视面而呈现该顶点、该等腰斜边与两侧斜边，该等腰斜 边与该侧斜边共同形成一夹角介于r与45°之间。
[00巧]本发明的一个实施例中，该第一齿肋为一渐变楠圆柱体，具有一侧视面而呈现在 其顶端具有一最小楠圆的长轴，且在其底端具有一最大楠圆的长轴，W及在该两长轴之间 具有一长轴斜边，该长轴斜边与通过该楠圆柱体圆屯、及该杆体圆屯、的直线共同形成一夹角 介于r与45。之间。
[002引本发明的一个实施例中，该侧板的凹口进一步设有一L型缺口，该L型缺口的入口 二侧设有供该压杆体置入的一导正斜面，该L型缺口的下方一侧延伸有一内开口与自该内 开口进一步延伸有一侧圆弧W配合该水滴状凸部的顶端，其中该侧圆弧的直径大于该内开 口的长度。
[0027] 本发明的一个实施例中，该压杆体进一步在其水滴状凸部往外延伸一凸起部，其 中该水滴状凸部进一步设有一长轴与一短轴，而该长轴的长度约为短轴的1. 1~1. 5倍，且 该侧板的凹口进一步设有对应该长、短轴的U型缺口，该U型缺口的入口二侧设有使该压杆 体置入的一导正斜面，其中该U型缺口在其底端两侧分别具有第一直径弧部与第二直径弧 部W干设该水滴状凸部的该长、短轴，其中该第一直径弧部与该第二直径弧部具有不同的 直径。
[0028] 为便贵审查委员能对本实用新型的目的、形状、构造装置特征及其功效，做更进一 步的认识与了解，兹举实施例配合图式，详细说明如下：
【附图说明】
[0029] 图1为本实用新型的载具的立体外观图。
[0030] 图2A、2B、2C分别为本实用新型第一齿肋的第一实施例的侧视图、上视图及前视 图的不意。
[0031] 图3A、3B、3C、3D分别为本实用新型第一齿肋、第二齿肋的立体图、前视图、上视图 与侧视图的示意。
[0032] 图4A、4B分别为本实用新型第一齿肋的第二实施例的侧视图、前视图的示意。
[003引图5A、5B、5C分别为本实用新型第一齿肋的第立实施例的侧视图、上视图、前视图 的示意。
[0034] 图6A、6B分别为本实用新型第一齿肋的第四实施例的侧视图、前视图的示意。
[0035] 图7为本实用新型的压杆体放大示意图。
[003引图8A、8B分别为本实用新型的水滴状凸部、U型缺口的示意图。
[0037] 图9为本实用新型的L型缺口的示意图。
[003引图10A、IOB为本实用新型侧板及该侧板上挂勾的示意图。
【具体实施方式】
[0039] 本实用新型是一种「用于太阳能电池的基板载具」，请参阅图1所示，本文中所使 用的名称「径向」与「轴向」分别是指沿杆体的半径方向（radiusdirection)所延伸者及 穿过杆体中屯、的纵轴方向（lengthwisedir