超级结布局结构的制作方法_3

文档序号:10018223阅读:来源:国知局
01h中,选取和横向周边区域201a中的一个条状立柱211e位于同一横向线上的一行柱状立柱217,该行柱状立柱217中具有最邻近横向周边区域201a的柱状立柱206a,柱状立柱206a位于阵列251边缘处,柱状立柱206a和条状立柱21 Ie之间的距离为D2。选取和第二周边区域201d中一个条状立柱212e位于同一纵向线上的一列柱状立柱218,该列柱状立柱218中具有最邻近纵向周边区域201d的一个柱状立柱206b,柱状立柱206b位于阵列251边缘处,柱状立柱206b和条状立柱212e之间的距离为D3,其中D2和D3的值不超过有源区203中条状立柱213之间的单元间距D。例如D2和D3是Dl的二分之一并等于L/2。以图7A为例我们定义,阵列251边缘处靠近横向周边区域201a的任意一个柱状立柱(如206a)和横向周边区域201a中最接近该柱状立柱206a的条状立柱(如211e)之间的最短间距为D2,同样阵列251边缘处靠近纵向周边区域201d的任意一个柱状立柱(如206b)和纵向周边区域201d中最接近该柱状立柱206b的条状立柱(如212e)之间的最短间距为D3,其中D2和D3的这种定义满足图7A?图71的所有实施例。
[0051]参见图7B的实施例,与图7A中略有差异。在图7A中,阵列251中每行立柱206均与横向周边区域201a中的一条与其唯一对应的P型立柱211位于同一横向线上,阵列251中每列立柱206均与纵向周边区域201d中的一条与其唯一对应的P型立柱212位于同一纵向线上。但在图7B,显著提高了拐角区域201h中柱状立柱206的密度,同时也减小了每个柱状立柱206的横截面面积,如减小圆形立柱的半径,使得在同一个拐角区域201h中图7B的柱状立柱206的数量几乎是图7A的实施例的四倍。例如柱状立柱206之间的单元间距Dl不再是L而是L/2,但有源区203的单元间距D仍然是L,并且上文提及的一行柱状立柱217最邻近横向周边区域201a的一个柱状立柱206a和条状立柱21 Ie之间的距离D2为L/4,以及一列柱状立柱218最邻近纵向周边区域201d的一个柱状立柱206b和条状立柱212e之间的距离D3为L/4。
[0052]在图7B的实施例中,阵列251中某些行的立柱206与横向周边区域201a中的一条与其对应的P型立柱211位于同一横向线上,阵列251中某些列的立柱206与纵向周边区域201d中的一条与其对应的P型立柱212位于同一纵向线上,但另一些行的立柱206并没有与横向周边区域201a中的任何P型立柱211位于同一横向线上,而一些其他列的立柱206也并没有与纵向周边区域201d中的任何P型立柱212位于同一纵向线上。可以理解或阐释为,阵列251中与P型立柱211共线的一些行和阵列251中不与P型立柱211共线的另一些行交替间隔出现,阵列251中与P型立柱212共线的若干数量的列和阵列251中不与P型立柱212共线的另一些若干数量的列交替间隔出现。
[0053]参见图7C的实施例,与图7A?7B略有不同。在图7A?7B的实施例中,横向周边区域201a中多个条状立柱211沿着横向朝拐角区域201h延伸,直至该等条状立柱211各自邻近拐角区域201h的末端基本对齐,纵向周边区域201d中多个条状立柱212沿着纵向朝拐角区域201h延伸,直至该等条状立柱212邻近拐角区域201h的末端基本对齐,从而大体上使拐角区域201h呈现例如为一个正方形或长方形。图7C中三角形的拐角区域201h取代了方形的方案,但该区域仍然布置有标准整列251,并且整列251边缘处的柱状立柱206到与之最接近条状立柱211之间的最小距离仍然是D2。为了便于叙述和理解,针对横向周边区域201a的一系列条状立柱211-1、211-2、……211_n而言,在位置关系上定义它们中具有一个背离有源区203而处于最外侧的条状立柱211-1,和定义它们中具有一个最靠近有源区203而处于最内侧的条状立柱211-n,并且它们由外至内使条状立柱逐步越来越靠近有源区203,同时位置越靠内越接近有源区203而且长度也越长。同样,针对纵向周边区域201d的一系列条状立柱212-1、212-2、……212_n而言,在位置关系上定义它们中具有一个背离有源区203而处于最外侧的条状立柱212-1,和定义它们中具有一个最靠近有源区203而处于最内侧的条状立柱212-n,并且它们按照由外至内的规律使条状立柱逐步越来越靠近有源区203,位置越靠内则越接近有源区203而且长度也越长。如此一来,在横向周边区域201a中,按照从横向周边区域201a中背离有源区203的最外侧的条状立柱211-1至横向周边区域201a中最靠近有源区203的最内侧的条状立柱211_n的规则或次序,也即按照由外至内使横向周边区域201a中的多个条状立柱211的长度依次逐步递增,如图7C所示,
条状立柱211-1最短,条状立柱211-2倒数第二短,......条状立柱211_n则最长。另外在纵向周边区域201d中,还按照从纵向周边区域201d中背离有源区203的最外侧的条状立柱212-1至纵向周边区域201d中最靠近有源区203的最内侧的条状立柱212_n的规则或次序,也即由外至内使纵向周边区域201d中的多个条状立柱211的长度依次逐步递增,如图7C所示,条状立柱212-1最短,条状立柱212-2倒数第二短,……条状立柱212_n则最长。按照这种规律,最终可以将一系列条状立柱211-1、211-2、……211-n各自的一个尾端部和将一系列条状立柱212-1、212-2、……212-n各自的一个尾端部设置成大体上位于同一条斜线上,从而使拐角区域为201h呈现为一个直角三角形。
[0054]参见图7C,在一些较佳的实施例中,如果将横向周边区域201a中条状立柱211各自邻近拐角区域201h的末端均设置在同一条直线225上,该直线225与横向方向的夹角成一个锐角(或认为直线225与横向间夹角的该锐角的互补角为钝角),和同时将纵向周边区域201d中条状立柱212各自邻近拐角区域201h的末端也均设置在该同一直线225上,则拐角区域201h大体上是一个标准的直角三角形。在柱状立柱阵列251中,从起始于该直角三角形中一个直角边226A位置处的首行柱状立柱206-1,到终止于直角三角形中斜边(该斜边与直线225重合)与另一直角边226B夹角位置处的末行柱状立柱206_k的次序或规律,使后/下一行柱状立柱206的数量较之相邻的前/上一行柱状立柱206的数量依次递减。在阵列251中,首行为位于直角边226A位置处的第一行柱状立柱206-1,其次为第二行柱状立柱206-2,……阵列中结尾的末行是柱状立柱206-k,显然柱状立柱206-1、206-2、……206-k的行方向平行于直角边226A但垂直于直角边226B。这里递减数值可以是固定的自然数Ks也可以是变动的数目,如每个下一行比上一行柱状立柱206要少一个立柱(递减数值&为1)。在图7C中体现了。其中该直角三角形的斜边和直线225重合。除了拐角区域201h的形貌之外,图7A?7B中拐角区域201h及其柱状立柱阵列251的其他布局特征完全适用于图7C的实施例,这里不再赘述。
[0055]参见图7D的实施例,与图7A?7B略有不同。在图7A?7B的实施例中,我们检视拐角区域201h,会发现定义的立柱206^206^4^ 206 P206j+1组中,两组立柱中同行的柱状立柱同时位于一条横向线上,两组立柱中同一列的柱状立柱同时位于一条纵向线上,这是一个标准阵列。虽然图7A?7B的其他大部分特征仍然适用于图7D的实施例,但图7D的实施例基于在图7A?7B的方案上进行了局部改善,体现在拐角区域201h的柱状立柱阵列251不再是标准阵列。在图7D中,在柱状立柱阵列251中设置有第一类柱状立柱252a和第二类柱状立柱252b,由多个第一类柱状立柱252a构成的子阵列具有的多个行252-1和由多个第二类柱状立柱252b构成的子阵列具有的多个行252-2交替间隔配置,第一类柱状立柱252a的任意一行252-1和相邻的另一行252-1之间设置有第二类柱状立柱252b的一行252-2,反之亦然,相邻的两行252-2之间插入有一行252-1。且第一类柱状立柱252a的行252-1与第二类柱状立柱252b的行252-2在第二方向上彼此错开,使第一类柱状立柱252a子阵列中任意一列柱状立柱252a均与第二类柱状立柱252b子阵列中任意一列柱状立柱252b在第二方向上不重合。
[0056]在图7D中为了与非标准阵列251相适配,在横向周边区域201a中设置长度不同的第一类条状立柱211a、第二类条状立柱211b,它们也随之交替间隔配置。此外还将第二类条状立柱211b靠近拐角区域201h的末端设置为相对于第一类条状立柱211a靠近拐角区域201h的末端以背离拐角区域201h的方向向内回缩,第二类条状立柱211b变短回缩就会产生空置区,但我们仍然使纵向周边区域201b中多个条状立柱212沿纵向朝拐角区域201h延伸至条状立柱212邻近拐角区域201h的末端对齐。因为第一类柱状立柱252a的行252-1与第二类柱状立柱252b的行252-2在第二方向上彼此错开而不重合,则所有第二类柱状立柱252b的行252-2相对于第一类柱状立柱252a的行252-1可以整体朝横向周边区域201a移动。具体而言,一个或多个第二类柱状立柱252b填充/嵌入在第二类条状立柱211b因其末端向内回缩所预留的空置区,其中横向周边区域201a中每一个第一类条状立柱211a的横向延长线上对应设置有一行的第一类柱状立柱252a,以及每一个第二类条状立柱211b的横向延长线上对应设置有一行第二类柱状立柱252b,和在纵向周边区域201d中使每一个条状立柱212的纵向延长线上对应设置有一列第一类柱状立柱252a,但条状立柱212的纵向延长线上没有设置与条状立柱212完全重合的任何一列第二类柱状立柱252b。注意这里条状立柱211、212的延长线上如果有任何柱状立柱与该条状立柱211、212完全重合,则须满足:与条状立柱211、212完全重合的柱状立柱的物理中心应当基本位于该条状立柱211、212的延长线上。
[0057]参见图7E的实施例,与图7D略有不同。在图7D中,横向周边区域201a最内侧靠近有源区203为第一类条状立柱211a,但在图7E中横向周边区域201a最内侧靠近有源区203为第二类条状立柱211b,当然也可以在图7D、7E的其他实施例中将横向周边区域201a最内侧任意设为第一类条状立柱211a或第二类条状立柱211b。
[0058]仍然察看图7E,一个或多个第一类柱状立柱252a填充在第二类条状立柱211b因其末端向内回缩所预留的空置区,其中横向周边区域201a中每一个第一类条状立柱211a的延长线上对应设置有一行第二类柱状立柱252b,以及每一个第二类条状立柱211b的延长线上对应设置有一行的第一类柱状立柱252a,而且还在纵向周边区域201b中使每一个条状立柱212的延长线上对应设置有一列第一类柱状立柱252a。这是图7E的布局方式与图7D的方案的区别之一。
[0059]进一步而言,为了电荷平衡的需求,还可以将有源区203的邻近于拐角区域201h的角部设置成带有平缓弧度的弯曲形状,不再是图7A?7D或图7F中的直角形式的角部,这在图7E有明确显示。有源区203角部处的一系列条状立柱(第一套条状立柱213A)的长度依次逐步递增以适应有源区203角部的该弯曲形状。第一套条状立柱213A包括一系列条状立柱213-1、213-2、一213-111,在位置关系上它们之中条状立柱213-1最靠近横向周边区域2
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