超级结布局结构的制作方法_4

文档序号:10018223阅读:来源:国知局
01a,条状立柱213-2次之,......条状立柱213_m则最远离横向周边区域201a。但在长度关系上条状立柱213-最短,条状立柱213-2倒数第二短,......而条状立柱213-m最长。即第一套条状立柱213A按照越远离横向周边区域201a而长度越长的规律使第一套条状立柱213A中的一系列条状立柱213-1、213-2、-213-m的长度依次逐步递增,但是该等条状立柱它们各自邻近拐角区域201h的末端都一并向有源区203的弯曲角部附近延伸。第一套条状立柱213A具有最靠近横向周边区域201a且是其起始的首个条状立柱213-1,第一套条状立柱213A也具有最远离横向周边区域201a且是其末尾的条状立柱213_m,有源区203中具有与条状立柱213-m相邻且是条状立柱213_m的后/下一个条状立柱213_n,条状立柱213-n相对条状立柱213-m更靠近有源区203的中心区域,且条状立柱213_n是有源区203的弯曲角部附近首个延长线开始与纵向周边区域201d的条状立柱212产生交叠的立柱。
[0060]第一套条状立柱213A中各条状立柱的长度比有源区203中心区域的条状立柱213要短,则在由横向周边区域201a中最靠近有源区203的最内侧的一个条状立柱211的横向延长线、纵向周边区域201d最靠近有源区203的最内侧的一个条状立柱212的纵向延长线和有源区203的角部弯曲边缘线这三者所限定的区域(近似于三角地带)中将没有任何条状立柱213,但由于电荷平衡的需求,我们在该限定的区域中分布柱状立柱,例如布置第一类柱状立柱252a或者第二类柱状立柱252b。较佳的,使有源区203角部处的每一行条状立柱(例如第一套条状立柱213A)的延长线上对应设置有一行的第一类柱状立柱252a或设置有一行第二类柱状立柱252b,如图7E所示。
[0061]注意在拐角区域201h中,柱状立柱阵列251边缘处的靠近有源区203中第一套条状立柱213A的任意一个柱状立柱(例如252c)和有源区203中最接近于该任意一个柱状立(例如252c)的条状立柱(例如条状立柱213-1)之间的最短距离为D4,其中柱状立柱252c所属的行252b位于条状立柱213-1的横向延长线上,使柱状立柱252c、条状立柱213-1共线。我们设定D4不超过有源区203中条状立柱213之间的单元间距D,例如D4等于L/2,注意图7E关于D4的方案同样也适用于图7M的实施例。除此之外,图7D的其他特征技术完全适用于图7E的实施例。
[0062]图7F的实施例与图7A的区别是,图7A中柱状立柱206的横截面为圆形或者椭圆形,而图7F中柱状立柱206的横截面为正方形或长方形。图7G?7H与图7D的差异在于,图7D中柱状立柱206的横截面为圆形或者椭圆形而图7G?7H中柱状立柱206的横截面为正方形或长方形或六边形或任意多边形。图71与图7C的差异仅仅在于,柱状立柱206的横截面可由圆形或者椭圆形改变成正方形或长方形或六边形或任意多边。
[0063]参见图7J,该实施例与图7A中纵向周边区域201d包括多个独立存在的、并排设置并沿着纵向延伸的条状立柱212特征相比,图7J中纵向周边区域201d并没有独立存在的条状立柱,反而是有源区203的条状立柱213朝终端区的纵向周边区域201d横向延伸,直至多个条状立柱213它们各自的一个末端停留在纵向周边区域201d中,这很容易从图8的平面图获悉。换言之,图7J中条状立柱213的一部分位于纵向周边区域201d中作为电荷平衡立柱,但显然图7A中的条状立柱212并非条状立柱213的一部分,除此以外图7A的其他方案则与图7A并无差异。
[0064]注意拐角区域201h中最靠近纵向周边区域201d的柱状立柱(例如柱状立柱206c)位于拐角区域201h的边缘处,纵向周边区域201d中最靠近横向周边区域201a或拐角区域201h的一个条状立柱213到柱状立柱206c之间的距离为D5,其中D5的这种定义满足图7J?图7K及图7M的所有实施例。该D5最好不超过有源区203中条状立柱213之间的单元间距D,例如D5和Dl都等于L,因为横向周边区域201a中最靠近有源区203的一个最内侧的条状立柱211和有源区203中最靠近横向周边区域201a的一个条状立柱213之间的距离较佳的等于一个晶胞间距D,而柱状立柱206c位于横向周边区域201a中最靠近有源区203的一个最内侧的条状立柱211的横向延长线上,相当于D5大体等于晶胞间距D。
[0065]图7K与图7J相似,较之图7D的差异也仅仅是纵向周边区域201d并没有独立存在的条状立柱,取而代之的是有源区203的条状立柱213沿着横向延伸到纵向周边区域201d中。值得注意的是,图7A?7B、图7J中拐角区域201h是基本上比较规则的方形,但图7D、图7G?7H、图7K中,因为在横向周边区域201a中设置长度不同的且交替设置的第一类条状立柱21 la、第二类条状立柱211b,而且还将第二类条状立柱211b靠近拐角区域201h的末端设置为相对第一类条状立柱211a靠近拐角区域201h的末端以背离拐角区域201h的方向向内回缩,导致第一类柱状立柱252a的行与第二类柱状立柱252b的行在第二方向上彼此错开而不重合,也使一个或多个第二类柱状立柱252b填充/嵌入在第二类条状立柱211b因其末端向内回缩所预留的空置区。第一类条状立柱211a的延长线上对应设置有一行的第一类柱状立柱252a,第二类条状立柱211b的延长线上对应设置有一行第二类柱状立柱252b。所以拐角区域201h的形貌相对于标准的方形而言略有形变,其近似于方形的形状不再那么十分的规则。
[0066]参见图7L,拐角区域201h被配置成三角形的形状。针对横向周边区域201a的一系列条状立柱211-1、211-2、……211-n而言,为了便于描述,在位置关系上定义它们中具有一个背离有源区203而处于最外侧的条状立柱211-1,和定义它们中具有一个最靠近有源区203而处于最内侧的条状立柱211-n,其中条状立柱211-1最短,条状立柱211-2倒数第二短,……条状立柱211-n则最长,可阐释为,它们由外至内使条状立柱逐步越来越靠近有源区203,同时条状立柱位置越靠内越接近有源区203则长度也越长。按照从横向周边区域201a背离有源区203的最外侧的条状立柱211-1至横向周边区域201a中最靠近有源区203的最内侧的条状立柱211-n的次序或规律,由外之内使横向周边区域201a中的多个条状立柱211的长度依次逐步递增。以及参见图7L,有源区203位于拐角区域201h附近的角部处还包括由邻近拐角区域201h的数个条状立柱(213-1、213-2、一213-8)所构成的第二套条状立柱213B,则第二套条状立柱213B也邻近于横向周边区域201a,第二套条状立柱213B中各立柱按照越远离横向周边区域201a而长度越长的规则,使条状立柱(213-1、213-2、…213-s)的长度依次逐步递增,例如最靠近横向周边区域201a的条状立柱213-1
最短,条状立柱213-1倒数第二短......,而最远离横向周边区域201a的条状立柱213_s最长。除此之外,还进一步使第二套条状立柱213B中一系列条状立柱213-1、213-2、…213-s各自延伸进纵向周边区域201d的末端大致分布在同一条斜线245附近,和使横向周边区域201a中一系列条状立柱211_1、211_2、…211_n各自的末端大体也分布在同一条斜线245附近,最终使拐角区域201h为一个直角三角形。
[0067]在图7L中,非标准阵列251与图7D?7E类似,在柱状立柱阵列251中设置有第一类柱状立柱252a和第二类柱状立柱252b,由第一类柱状立柱252a构成的子阵列具有的多行252-1和由第二类柱状立柱252b构成的子阵列具有的多行252-2交替间隔出现,任意一行252-1和相邻的另一行252-1之间设置有一行252-2,反之亦然,相邻的两行252-2之间插入有一行252-1。且第一类柱状立柱252a的行252-1与第二类柱状立柱252b的行252-2在第二方向上彼此错开,使第一类柱状立柱252a子阵列中任意一列柱状立柱252a均与第二类柱状立柱252b子阵列中任意一列柱状立柱252b在纵向方向上不重合。而横向周边区域201a中条状立柱211-1的延长线上对应设置有一行第一类柱状立柱252a或者第二类柱状立柱252b,而与条状立柱211-1相邻的一个条状立柱211-2的延长线上则对应设置有一行第二类柱状立柱252b或者一行第一类柱状立柱252a。
[0068]在图7L中,第二套条状立柱213B的一系列条状立柱213_1、213_2、-213-s具有末尾的一个条状立柱213-s,条状立柱213-s的下/后一个条状立柱213-t尾随着条状立柱213-s,条状立柱213-t相对条状立柱213-s更接近有源区203的中心区域。条状立柱213-t的一个末端直接抵达纵向周边区域201d的边缘线,所以条状立柱213-t的延长线上并没有设置任何柱状立柱206,但第二套条状立柱213B末尾的一个条状立柱213-s的延长线上仍然设置有柱状立柱206。虽然在图7L的实施例中,横向周边区域201a中多个条状立柱211各自的邻近拐角区域201h的端部和第二套条状立柱213B中多个条状立柱213各自的邻近拐角区域201h的端部并没有完全共线(但仍然分布在斜线245附近),导致拐角区域201h的三角形形貌的一个斜边略微呈现类似锯齿状,使拐角区域201h并不是十分规则的三角形,但是在后续图7N的替代实施例中,利用类似于图7A中标准的阵列251取代图7L中非标准的阵列251,从而可以将横向周边区域201a中多个条状立柱211_1、211_2、…211-n各自的邻近拐角区域201h的端部均设置在同一直线227上,和同时将延伸到纵向周边区域201d中的第二套条状立柱213B的条状立柱213-1、213-2、”.213_8各自邻近拐角区域201h的末端也均设置在该同一直线227上,如图7N所示。注意直线227与横向方向的夹角成锐角,或说直线227与横向方向之间的夹角的互补角为钝角。此时拐角区域201h是一个形状基本规则的直角三角形。
[0069]参见图7N,在柱状立柱阵列251中,直角三角形中一个直角边228A的位置处具有阵列251中起始的首行柱状立柱206-1,紧接着该首行柱状立柱206-1的下一行为第二行的柱状立柱206-2,……依次类推,直至在直角三角形中斜边(斜边与直线227重合)与直角三角形的另一直角边228B之间的夹角处具有阵列251中的最后一个末行柱状立柱206-k,为了讨论的方便,定义该整列251起始于首行柱状立柱206-1并终止于末行柱状立柱206-k。其中末行柱状立柱206-k可以包含单个立柱也可以包含多个立柱,这里强调一下本申请上下文中出现的k与m、η及s、t或X、y等都为大于I的自然数。在图7N中,按照从柱状立柱206-1到终止于直角三角形中斜边与另一直角边228B夹角位置处的末行柱状立柱206-k的次序,即从首行到末行的规律使后/下一行柱状立柱206的数量较之相邻的前一行柱状立柱206的数量依次递减,递减数值既可以是变动的也可以是固定的自然数Cs,例如每下一行比相邻的上一行柱状立柱206要少一个立柱(递减数值Cs= I)。注意在第二套条状立柱213B中,在其一系列的条状立柱(213-1、213-2、…213_s)之中任意选取一个条状立柱(如213-1),条状立柱213-1的延伸线上设置有包含有柱状立柱252d的一行柱状立柱252,柱状立柱252d是阵列251边缘处并最接近条状立柱213-1
当前第4页1 2 3 4 5 
网友询问留言 已有0条留言
  • 还没有人留言评论。精彩留言会获得点赞!
1