一种晶片清洗治具的制作方法

文档序号:10056787阅读:537来源:国知局
一种晶片清洗治具的制作方法
【技术领域】
[0001]本实用新型涉及一种晶片清洗治具。
【背景技术】
[0002]随着晶片行业竞争的日趋激烈,如何提高工作效率、降低成本、提高产品品质,以提高在同行业中的竞争力,已经成了每个晶片企业都将面临的难题。传统清洗方式是晶片放置在专用的铁氟龙杯内清洗,在清洗作业中常会出现晶片漂浮在水面上的现象,导致漂浮在水面上的晶片不能够充分清洗,这样会导致晶片的电性参数不佳,清洗效率较低。
【实用新型内容】
[0003]为了克服上述现有技术中的不足,本实用新型提供一种晶片清洗治具,包括:支架组件一以及与所述支架组件一并排设置的支架组件二;
[0004]所述支架组件一包括:分别竖直设置的支柱一、支柱二以及水平设置的桁架一;所述桁架一分别与所述支柱一和所述支柱二滑动连接;
[0005]所述支架组件二包括:分别竖直设置的支柱三、支柱四以及水平设置的桁架二 ;所述桁架二分别与所述支柱三和所述支柱四滑动连接;
[0006]所述桁架一与所述桁架二相互平行设置;
[0007]支架组件一与支架组件二之间设有至少一根水管,所述水管分别与所述桁架一和所述桁架二垂直连接;
[0008]所述水管上设有安置喷头的喷孔。
[0009]优选地,所述桁架一包括:第一穿管边以及与第一穿管边垂直连接的第一滑道边;
[0010]所述第一穿管边上设有穿置所述水管的第一穿管条孔,所述第一滑道边上设有第一导向条孔;
[0011]所述支架组件一还包括:与所述水管数量相对应的支撑架一;
[0012]所述支撑架一包括:第一支管边以及与第一穿管边垂直连接的第一导向边;
[0013]所述第一支管边设有穿置所述水管的第一支撑孔,第一导向边设有至少两个与所述第一导向条孔相适配的第一导向孔。
[0014]优选地,所述支架组件一还包括:与所述支撑架一数量相对应的第一导向螺栓;
[0015]所述第一导向螺栓分别与所述第一导向孔和所述第一导向条孔相配合,使所述支撑架一固定在所述桁架一上。
[0016]优选地,所述桁架二包括:第二穿管边以及与第二穿管边垂直连接的第二滑道边;
[0017]所述第二穿管边上设有穿置所述水管的第二穿管条孔,所述第二滑道边上设有第二导向条孔;
[0018]所述支架组件二还包括:与所述水管数量相对应的支撑架二 ;
[0019]所述支撑架二包括:第二支管边以及与第二穿管边垂直连接的第二导向边;
[0020]所述第二支管边设有穿置所述水管的第二支撑孔,第二导向边设有至少两个与所述第二导向条孔相适配的第二导向孔。
[0021]优选地,所述支架组件二还包括:与所述支撑架二数量相对应的第二导向螺栓;
[0022]所述第二导向螺栓分别与所述第二导向孔和所述第二导向条孔相配合,使所述支撑架二固定在所述桁架二上。
[0023]优选地,所述水管一端设有丝堵,另一端与高压水栗连通;
[0024]所述喷孔设有连接螺纹。
[0025]优选地,所述支柱一、所述支柱二分别包括:第一柱体和第一柱座,第一柱体上设有第一外螺纹以及与第一外螺纹相适配的第一螺母,所述第一螺母至少设置两个;
[0026]所述桁架一的两端分别设有与所述第一柱体相适配的第一锁紧孔;
[0027]所述第一柱座上设有第一固定孔。
[0028]优选地,所述支柱三、所述支柱四分别包括:第二柱体和第二柱座,第二柱体上设有第二外螺纹以及与第二外螺纹相适配的第二螺母,所述第二螺母至少设置两个;
[0029]所述桁架二的两端分别设有与所述第二柱体相适配的第二锁紧孔;
[0030]所述第二柱座上设有第二固定孔。
[0031]优选地,所述第一支管边上设有第一锁管孔以及与所述第一锁管孔相适配的第一锁管螺钉。
[0032]优选地,所述第二支管边上设有第二锁管孔以及与所述第二锁管孔相适配的第二锁管螺钉。
[0033]从以上技术方案可以看出,本实用新型具有以下优点:
[0034]桁架一可以相对于支柱一和支柱二上下滑动,桁架二可以相对于支柱三、支柱四上下滑动。支架组件一与支架组件二之间设有至少一根水管,水管分别与所述桁架一和所述桁架二垂直连接,桁架一、桁架二和水管始终保持在同一水平面上,水管可以根据桁架一和桁架二的在支柱一和支柱二,支柱三、支柱四上下滑动调整高度,这样在清洗晶片时,可以形成雾状滴水,使漂浮在水面上的晶片浸入水中,实现彻底清洗,并保证清洗效率,该晶片清洗治具结构布局合理,易于安装。
【附图说明】
[0035]图1为晶片清洗治具的俯视结构图;
[0036]图2为图1的A部放大图;
[0037]图3为晶片清洗治具的主视结构图;
[0038]图4为图3的B部放大图;
[0039]图5为桁架一的主视结构图;
[0040]图6为桁架一的俯视结构图;
[0041]图7为桁架一的侧视结构图;
[0042]图8为支撑架一的主视结构图;
[0043]图9为支撑架一的俯视结构图;
[0044]图10为支撑架一的侧视结构图;
[0045]图11为第一柱体的结构图;
[0046]图12为第一柱座的结构图;
[0047]图13为水管的结构图。
【具体实施方式】
[0048]为能清楚说明本方案的技术特点,下面通过【具体实施方式】,并结合其附图,对本实用新型进行详细阐述。
[0049]本实用新型提供了一种晶片清洗治具,请参阅图1、图2、图3、图4所示,包括??支架组件一1以及与支架组件一1并排设置的支架组件二 2 ;
[0050]支架组件一 1包括:分别竖直设置的支柱一 11、支柱二 12以及水平设置的桁架一13 ;桁架一 13分别与支柱一 11和支柱二 12滑动连接;
[0051]支架组件二包括:分别竖直设置的支柱三、支柱四以及水平设置的桁架二 ;桁架二分别与支柱三和支柱四滑动连接;
[0052]桁架一 13与桁架二相互平行设置;支架组件一 1与支架组件二 2之间设有至少一根水管3,水管3分别与桁架一 13和桁架二垂直连接;水管3上设有安置喷头的喷孔31。
[0053]桁架一 13可以相对于支柱一 11和支柱二 12上下滑动,桁架二可以相对于支柱三、支柱四上下滑动。支架组件一 1与支架组件二 2之间设有至少一根水管3,水管3分别与桁架一 13和桁架二垂直连接,桁架一 13、桁架二和水管3始终保持在同一水平面上,水管3可以根据桁架一 13和桁架二的在支柱一 11和支柱二 12,支柱三、支柱四上下滑动调整高度,这样在清洗晶片时,可以形成雾状滴水,使漂浮在水面上的晶片浸入水中,实现彻底清洗,并保证清洗效率,该晶片清洗治具结构布局合理,易于安装。
[0054]在本实施例中,请参阅图5、图6、图7所示,桁架一 13包括:第一穿管边41以及与第一穿管边41垂直连接的第一滑道边42 ;
[0055]第一穿管边41上设有穿置水管3的第一穿管条孔43,第一滑道边42上设有第一导向条孔44 ;
[0056]支架组件一 1还包括:请参阅图8、图9、图10所示,与水管3数量相对应的支撑架一 5 ;支撑架一 5包括:第一支管边51以及与第一穿管边51垂直连接的第一导向边53 ;第一支管边51设有穿置水管3的第一支撑孔52,第一导向边53设有至少两个与第一导向条孔44相适配的第一导向孔54。
[0057]支架组件一 1还包括:与支撑架一 5数量相对应的第一导向螺栓54a ;第一导
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