一种针测机光学影像系统降温装置的制造方法
【技术领域】
[0001]本实用新型涉及半导体制造设备技术领域，尤其涉及一种针测机光学影像系统降温装置。
【背景技术】
[0002]晶圆是指硅半导体集成电路制作所用的硅芯片，由于其形状为圆形，故称为晶圆。半导体的生产和制造在不断的发展中形成了完善的生产流程。一般是芯片电路设计-晶圆的制造-晶圆的测试-晶圆的切割研磨-芯片的封装-成品芯片的测试。通常晶圆测试会需要承载托盘提供一个高温环境，承载托盘可能将晶圆加热到135摄氏度。当承载托盘将晶圆移动到光学影像系统下接受定位监测时，晶圆与光学影像系统之间只有不到500um的间距，光学影像系统受到承载托盘的高温烘烤，会导致光学影像误差。光学影像系统在光信号转成数字信号时，转换信号受到温度影响会存在一定的误差，这些误差会使得测试过程中晶圆本身、探针卡本身及测试结果的准确性受到相当大的影响，会出现晶圆刮伤、探针卡针撞伤及测试结果不准确等问题。
【实用新型内容】
[0003]本实用新型的目的针对上述现有技术的问题，提供一种针测机光学影像系统降温装置，在针测机的光学影像系统内部加装了一个主动散热的降温装置，使得光学影像系统内部一旦工作起来就会有急速的常温空气流过，带走光学影像系统内部的热量，不会因为承载托盘的烘烤而在光学影像系统内部囤积热量，发生测量误差。
[0004]为实现上述目的，本实用新型采用的技术方案是:
[0005]一种针测机光学影像系统降温装置，包括直流电源、光信号传感器、光敏电阻R2、三极管Tl、继电器、电磁气压阀，所述直流电源通过电阻Rl与光信号传感器相连，所述继电器的线圈与直流电源相连，所述光信号传感器与光敏电阻R2相连，所述光敏电阻R2的两端分别与晶体管Tl的基极b和发射极e相连，所述晶体管Tl的集电极c与继电器的线圈相连，所述继电器的开关与电磁气压阀相连。
[0006]进一步地，所述电磁气压阀上设有进气口和出气口。
[0007]进一步地，所述进气口通过气管与风机相连，所述出气口通过气管与光学影像系统相连。
[0008]进一步地，所述风机为变频风机。
[0009]进一步地，所述直流电源为12V电源。
[0010]进一步地，有电阻R3与二极管Dl串联后并联在所述继电器的线圈上。
[0011]进一步地，所述三极管Tl为NPN三极管。
[0012]本实用新型的有益效果:一种针测机光学影像系统降温装置，在针测机的光学影像系统内部加装了一个主动散热的降温装置，使得光学影像系统内部一旦工作起来就会有急速的常温空气流过，带走光学影像系统内部的热量，不会因为承载托盘的烘烤而在光学影像系统内部囤积热量，发生测量误差；确保光学影像系统在高温环境下的精确度和稳定性，改善晶圆测试质量；避免光学影像系统因承载托盘烘烤造成的量测误差导致的晶圆刮伤、探针卡撞伤及测试结果不准确等问题。
【附图说明】
[0013]图1为本实用新型降温装置原理图。
【具体实施方式】
[0014]为了使本实用新型实现的技术手段、创作特征、达成目的与功效易于明白了解，下面结合具体图示，进一步阐述本实用新型。
[0015]具体实施时，结合图1，一种针测机光学影像系统降温装置，包括直流电源、光信号传感器、光敏电阻R2、三极管Tl、继电器、电磁气压阀。直流电源通过电阻Rl与光信号传感器相连，继电器的线圈与直流电源相连。光信号传感器与光敏电阻R2相连，光敏电阻R2的两端分别与晶体管Tl的基极b和发射极e相连，晶体管Tl的集电极c与继电器的线圈相连，继电器的开关与电磁气压阀相连。电磁气压阀上设有进气口和出气口。电磁气压阀的进气口通过气管与风机相连，电磁气压阀的出气口通过气管与光学影像系统相连。直流电源为12V电源。三极管Tl为NPN三极管。
[0016]为了节约能源，风机可以采用变频风机。
[0017]为了便于继电器的线圈放电，有电阻R3与二极管Dl串联后并联在所述继电器的线圈上。
[0018]具体工作时，光信号传感器安装在光学影像系统内，摄像头启动光源发光位置，以接受系统开始工作的光信号。光信号由信号放大器将光源开启和关闭的信息转换成O和I的数字信号接入继电器。继电器接电磁气压阀电源，用于控制开启和闭合电磁气压阀。电磁气压阀进气口接针测机本身的压缩空气风机，出气口接入光学影像系统内部，实现了光学影像系统一启动就会有干燥常温的急速气流开启穿过整个系统内部，系统定位结束后，自动关闭气流，节省资源，能有效的控制系统内的温度随承载托盘的烘烤而上升。
[0019]针测机光学影像系统降温装置，在针测机的光学影像系统内部加装了一个主动散热的降温装置，使得光学影像系统内部一旦工作起来就会有急速的常温空气流过，带走光学影像系统内部的热量，不会因为承载托盘的烘烤而在光学影像系统内部囤积热量，发生测量误差；确保光学影像系统在高温环境下的精确度和稳定性，改善晶圆测试质量；避免光学影像系统因承载托盘烘烤造成的量测误差导致的晶圆刮伤、探针卡撞伤及测试结果不准确等问题。
[0020]上面所述的实施例仅仅是对本实用新型的优选实施方式进行描述，并非对本实用新型的构思和范围进行限定。在不脱离本实用新型设计构思的前提下，本领域普通人员对本实用新型的技术方案做出的各种变型和改进，均应落入到本实用新型的保护范围。
【主权项】
1.一种针测机光学影像系统降温装置，其特征在于:包括直流电源、光信号传感器、光敏电阻R2、三极管Tl、继电器、电磁气压阀，所述直流电源通过电阻Rl与光信号传感器相连，所述继电器的线圈与直流电源相连，所述光信号传感器与光敏电阻R2相连，所述光敏电阻R2的两端分别与晶体管Tl的基极b和发射极e相连，所述晶体管Tl的集电极c与继电器的线圈相连，所述继电器的开关与电磁气压阀相连。2.按照权利要求1所述的一种针测机光学影像系统降温装置，其特征在于:所述电磁气压阀上设有进气口和出气口。3.按照权利要求2所述的一种针测机光学影像系统降温装置，其特征在于:所述进气口通过气管与风机相连，所述出气口通过气管与光学影像系统相连。4.按照权利要求3所述的一种针测机光学影像系统降温装置，其特征在于:所述风机为变频风机。5.按照权利要求1所述的一种针测机光学影像系统降温装置，其特征在于:所述直流电源为12V电源。6.按照权利要求1所述的一种针测机光学影像系统降温装置，其特征在于:有电阻R3与二极管Dl串联后并联在所述继电器的线圈上。7.按照权利要求1所述的一种针测机光学影像系统降温装置，其特征在于:所述三极管Tl为NPN三极管。
【专利摘要】本实用新型公开了一种针测机光学影像系统降温装置，包括直流电源、光信号传感器、光敏电阻R2、三极管T1、继电器、电磁气压阀，所述直流电源通过电阻R1与光信号传感器相连，所述继电器的线圈与直流电源相连，所述光信号传感器与光敏电阻R2相连，所述光敏电阻R2的两端分别与晶体管T1的基极b和发射极e相连，所述晶体管T1的集电极c与继电器的线圈相连，所述继电器的开关与电磁气压阀相连。本实用新型降温装置，在光学影像系统内部加装了一个主动散热的降温装置，使得光学影像系统内部一旦工作起来就会有急速的常温空气流过，带走光学影像系统内部的热量，不会因为承载托盘的烘烤而在光学影像系统内部囤积热量、发生测量误差。
【IPC分类】H01L21/66
【公开号】CN205177789
【申请号】CN201520828731
【发明人】沈顺金
【申请人】安徽超元半导体有限公司
【公开日】2016年4月20日
【申请日】2015年10月22日