加热箱内1100内的液体排出时，因温度控制装置中没有设置方便于加热箱1100内的液体排出的结构，因此在本实施例中还设置有输出管14，输出管14与加热箱1100连接，用于将加热箱1100内的液体排出，实现了快速、便利的将加热箱1100内的液体排出的效果，优选将输出管14设置在加热箱1100的侧面下部或底部，以使得加热箱1100内的液体可以完全排出，避免加热箱1100中残余液体，影响液体排出的效果。
[0054]设置输出管14后，当需要将加热箱1100中的液体部分排出时，现有的结构操作起来存在一定的困难，因此可以在输出管14上设置第二阀门15，以使得用户可以方便的对加热箱1100内液体的排出进行控制，实现了提高本实施例中温度控制装置的便利性及可控制性的效果。
[0055]当首次使用温度控制设备需要向加热箱1100中注入待加热的液体时，或者当需要再次向加热箱1100中注入待加热的液体时，可以通过输入管19向加热箱1100中输入液体，使得在向加热箱1100中输入液体时，可以方便用户操作，实现了提高本实施例中温度控制装置便利性的效果。
[0056]为了实现随时停止向加热箱1100中输入加热所需的液体，可以在输入管19上设置第四阀门20，其操作过程为打开第四阀门20，加热所需的液体可以流入加热箱1100中，当需要停止向加热箱1100中输入加热所需的液体时，关闭第四阀门20即可，方便用户控制向加热箱1100中注入液体，实现了提高本实施例中温度控制装置的便利性及可控制性的效果。
[0057]本实施例的温度控制装置，解决了现有技术中的贮液箱10，由于加热器111安装在贮液箱10的内部，导致加热器111容易被腐蚀，造成刻蚀液的泄露，存在危险性的问题，实现了降低生产过程的危险性，提高了安全性和可控制性的效果的同时增强了操作的便利性。
[0058]实施例三
[0059]图3为本实用新型温度控制装置实施例三的结构示意图，如图2所示，在上述实施例二的基础上，进一步地，本实施例的温度控制装置还包括:产生冷却介质的冷却单元16、输送管17、第三阀门18和温度计21。
[0060]其中，在对加热箱1100内的液体不断加热的过程中，液体也通过导热管1101不断的对贮液箱10内的刻蚀液进行加热，通过设置在贮液箱10内的温度计21，测量贮液箱10内刻蚀液的温度，可以将温度计21的显示温度的部分设置在贮液箱10的外部，更有利于随时观察贮液箱10内刻蚀液的温度，实现了用户在生产过程中可以很直观的了解工艺进程，有利于用户操控该温度控制装置，提高生产效率。
[0061]当贮液箱10内的刻蚀液的温度高于工业生产所需要的温度时，就需要对贮液箱10内的刻蚀液进行降温，因此，为了实现迅速对贮液箱10内温度过高的刻蚀液进行降温，可以设置冷却单元16。冷却单元16与输送管17连接，用于向导热管1101中输送冷却液体，为了使得冷却单元16生成的冷却液体可以顺利的流入导热管1101的同时加热箱1100内的液体不会流入导热管1101，循环栗12设置在导热管1101上，并且输送管17需要连接在导热管1101位于第一阀门13与循环栗12之间的部分，这样设置的目的在于，需要对贮液箱10内的刻蚀液降温时，关闭第一阀门13，停止将加热箱1100内的液体继续流入导热管1101，在循环栗12的作用下，冷却单元16中生产的冷却液体可以经由输送管17进入导热管1101中，经过热量转换，对贮液箱10内的刻蚀液进行降温。实现了可以迅速对贮液箱10内的刻蚀液降温的效果O
[0062]当冷却单元16产生的冷却液体持续输入导热管1101中，导热管1101以及加热箱1100将会变为充满状态，因此，可以将输出管14上设置的第二阀门15打开，以利于当加热箱1100内的液体充满后，刻蚀液的温度还没有降低到工业生产所需的温度时，继续由输送管17向导热管1101中进入冷却液体，原加热箱1100内充满的液体可以经由输出管14输出，其实现了可以迅速对贮液箱10内的刻蚀液降温的效果。
[0063]当需要停止对贮液箱10内的刻蚀液降温时，就需要停止向导热管1101中流入冷却液体，因此，为了便于操作，可以在输送管17上设置第三阀门18。关闭第三阀门18后，即停止向导热管1101中流入冷却液体，进而停止对贮液箱10内的刻蚀液进行降温的操作，实现了用户可以根据需要进行控制的效果，提高了可操作性的同时便于控制。
[0064]本实施例的温度控制装置，在上述实施例的基础上，解决了现有技术中贮液箱10，由于加热器安装在贮液箱10的内部，导致加热器111容易被腐蚀，造成刻蚀液的泄露，存在危险性的问题，实现了降低生产过程的危险性，显著提高了安全性、可操作性和可控制性的效果，并且能够提高生产效率。
[0065]在实际工业生产过程中的装置较为庞大，为了达到更好的加热与循环的效果，优选可以将导热管1101的一端位于加热箱1100的上部，使得导热管1101内的液体可以从加热箱1100的上部流入加热箱1100中，导热管1101的另一端位于加热箱1100的下部，使得导热管1101内的液体从加热箱1100的下部流出，流向循环栗12，使得加热回路110中的加热箱1100中的液体在重力的作用下有更好的循环效果，例如图1 -3中所示的导热管1101的位置。
[0066]在实施例二和实施例三的温度控制装置中，第一阀门13、第二阀门15、第三阀门18和第四阀门20均可以设置为手动阀门或自动阀门。使用自动阀门既可以实现现场控制，也可以实现远距离控制，可以对单一阀门进行控制，也可以对多阀门进行集中控制，使用方便、精确度高。当自动阀门控制失灵或出现故障，会给工业生产造成一定的危险性，因此，也可以使用手动阀门来代替，提高安全系数。进一步地，也可以采用在同一位置设置自动阀门与手动阀门，在有利于操控的同时，提高安全系数。
[0067]本实用新型的温度控制装置使用方法流程之一:当需要对加热箱1100内的液体进行更换时，关闭第一阀门13和第三阀门18，打开第二阀门15，使得加热箱1100中的液体从输出管14中流出加热箱1100，当加热箱1100中的液体流尽后，打开第四阀门20，从输入管19中注入待加热的液体。
[0068]最后应说明的是:以上各实施例仅用以说明本实用新型的技术方案，而非对其限制;尽管参照前述各实施例对本实用新型进行了详细的说明，本领域的普通技术人员应当理解:其依然可以对前述各实施例所记载的技术方案进行修改，或者对其中部分或者全部技术特征进行等同替换；而这些修改或者替换，并不使相应技术方案的本质脱离本实用新型各实施例技术方案的范围。
【主权项】
1.一种温度控制装置，其特征在于，包括:用于盛放刻蚀液的贮液箱、加热装置和循环栗; 所述加热装置包含加热回路以及加热器，所述加热回路包括加热箱和导热管； 所述导热管的两端均与所述加热箱连接，且所述导热管至少一部分位于所述贮液箱夕卜，且能够对处于所述贮液箱内部的刻蚀液进行加热，所述加热器固定于所述加热箱内部，能够对所述加热箱的内部的液体进行加热，所述循环栗设置在所述加热回路上，且用于为所述加热回路内的液体流动提供动力。2.根据权利要求1所述的温度控制装置，其特征在于，所述装置还包括:第一阀门；所述第一阀门设置于所述加热箱与所述贮液箱之间，且所述导热管内的液体由所述加热箱经所述第一阀门流向所述贮液箱。3.根据权利要求2所述的温度控制装置，其特征在于，所述装置还包括:输出管和第二阀门；所述输出管与所述加热箱连接，用于将所述加热箱内的液体排出，所述第二阀门设置在所述输出管上。4.根据权利要求3所述的温度控制装置，其特征在于，所述装置还包括:用于产生冷却介质的冷却单元和输送管； 所述循环栗设置在所述导热管上，所述输送管与所述导热管的连接部位位于所述第一阀门与所述循环栗之间;所述冷却单元与所述输送管连接。5.根据权利要求4所述的温度控制装置，其特征在于，所述装置还包括:第三阀门；所述第三阀门设置在所述输送管上。6.根据权利要求1所述的温度控制装置，其特征在于，所述装置还包括:输入管； 所述输入管与所述加热箱连接。7.根据权利要求6所述的温度控制装置，其特征在于，所述装置还包括:第四阀门，所述第四阀门设置在所述输入管上。8.根据权利要求7所述的温度控制装置，其特在于，所述第一阀门、第二阀门、第三阀门以及第四阀门各自为手动阀门或自动阀门。9.根据权利要求1-8任一项所述的温度控制装置，其特征在于，所述装置还包括:温度计； 所述温度计设置在所述贮液箱内。10.根据权利要求1-8任一项所述的温度控制装置，其特征在于，按照所述加热管内的液体流向，所述导热管的液体流出端位于所述加热箱的上部，所述导热管的液体流入端位于所述加热箱的下部。
【专利摘要】本实用新型提供一种温度控制装置。本实用新型温度控制装置，包括：用于盛放刻蚀液的贮液箱、加热装置和循环泵；所述加热装置包含加热回路以及加热器，所述加热回路包括加热箱和导热管；所述导热管的两端均与所述加热箱连接，且所述导热管至少一部分位于所述贮液箱外，且能够对处于所述贮液箱内部的刻蚀液进行加热，所述加热器固定于所述加热箱内部，能够对所述加热箱的内部的液体进行加热，所述循环泵设置在所述加热回路上，且用于为所述加热回路内的液体流动提供动力。本实用新型实现了降低生产过程的危险性，显著提高了安全性的效果。
【IPC分类】H01L21/67, H01L21/306
【公开号】CN205211708
【申请号】CN201521061529
【发明人】郭荣波
【申请人】昆山国显光电有限公司
【公开日】2016年5月4日
【申请日】2015年12月17日