压电振动器件的制作方法

文档序号:11142796阅读:来源:国知局
技术总结
本发明提供一种没有气体的产生、而且能够低矮化、小型化的夹层构造的压电振动器件。晶体振子(101)设有晶体振动板(2)、第1密封构件(3)以及第2密封构件(4)。在第1密封构件(3)上形成有用于与晶体振动板(2)接合的密封侧第1接合图案(321),在第2密封构件(4)上形成有用于与晶体振动板(2)接合的密封侧第2接合图案(421),在晶体振动板(2)的一主面(211)上形成有用于与第1密封构件(3)接合的振动侧第1接合图案(251),在晶体振动板(2)的另一主面(212)上形成有用于与第2密封构件(4)接合的振动侧第2接合图案(252)。密封侧第1接合图案(321)和振动侧第1接合图案(251)被扩散接合,密封侧第2接合图案(421)和振动侧第2接合图案(252)被扩散接合。

技术研发人员:饭塚实;古城琢也
受保护的技术使用者:株式会社大真空
文档号码:201480073902
技术研发日:2014.12.04
技术公布日:2017.02.15

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