1.一种用于半导体电热膜的制备方法,包括以下步骤:
1)、原料调制将金属化合物,如金、银、锡-----或其他有机化合物在制程时添加入1%-10%重量比的化合物,如锑、铁、氟作为掺杂剂;
2)、材料调和将上述原料与20%-60%的介质材料,如水、甲醇、盐酸、乙醇、乙胺、三乙胺,均匀混合;
3)、基材清理将可供发热的预先成型元件基材、如石英、玻璃、陶瓷、云母的类耐高温低膨胀数材料所制成,以净化的软水清洗其表面并加以烘干;
4)、高温雾化成长将上述基材置入高温炉室加热使其表面活化,再将上述已调制的流体材料以雾化喷入高温炉室中,成为带电位离子均匀披覆于基材表面,形成半导体发热薄膜。