1.一种为基板的包括端面的周向边缘部涂敷液体的涂敷装置,其特征在于,包括:
支承所述基板的支承手段,和
涂敷手段,所述涂敷手段具备相向配置的一对涂敷头,所述一对涂敷头具有能够插入所述基板端部的空隙,和
移动所述涂敷手段的移动手段,和
为所述一对涂敷头提供膜形成液的液体供给手段,和
在所述一对涂敷头的所述空隙内插入由所述支承手段支承的所述基板端部的状态下,控制所述移动手段使所述一对涂敷头沿着所述基板的周向边缘部移动的控制手段;
所述一对涂敷头具备:
在所述一对涂敷头的相对面上的用来积存所述膜成液的液体积存部,以及将通过了所述液体积存部的所述基板端面上附着的所述膜形成液涂敷加工成薄膜状的涂工部。
2.根据权利要求1所述的涂敷装置,其特征在于,所述涂工部具备抹子部以及刮取部,所述抹子部用来抹平附着在所述基板的端部的所述膜形成液、所述刮取部用来刮掉通过了所述抹子部的所述基板端部上附着的多余的所述膜形成液。
3.根据权利要求1或者2所述的涂敷装置,其特征在于,所述涂敷手段具备用来使所述一对涂敷头环转的环转机构部。
4.根据权利要求3所述的涂敷装置,其特征在于,在所述环转机构部上装备使所述一对涂敷头沿水平方向滑动的滑动机构部。
5.根据权利要求1或者2所述的涂敷装置,其特征在于,在所述支承手段周围配设复数个所述涂敷手段,
所述移动手段是用来使所述复数个涂敷手段沿着被所述支承手段支承的基板的边移动的机构;
所述控制手段是用来控制所述移动手段以使所述复数个涂敷手段沿着所述基板的边移动的机构。
6.根据权利要求5所述的涂敷装置,其特征在于,所述移动手段具备复数个可以在所述基板的边方向和与该边方向交叉的方向的2个方向上移动的2轴直线移动机构。
7.根据权利要求1至6中任一项所述的涂敷装置,其特征在于,所述涂敷装置具有容纳所述膜形成液的液体容纳部和配设于所述一对涂敷头下方的液体接受部,以及将所述液体接受部接受的所述膜形成液移送至所述液体容纳部的移送手段。
8.根据权利要求1至7中任一项所述的涂敷装置,其特征在于,所述涂敷装置还具有涂敷头用保护具,所述涂敷头用保护具具备与所述一对涂敷头的所述空隙相碰接的垫部、配设在所述垫部下方的液体接受部以及支承所述垫部与所述液体接受部的支承部;
所述涂敷头用保护具设置在所述一对涂敷头的退避位置。
9.根据权利要求1至8中任一项所述的涂敷装置,其特征在于,所述涂敷装置具备用来干燥涂敷在所述基板的周向边缘部的所述膜形成液的干燥手段。
10.根据权利要求1至9中任一项所述的涂敷装置,其特征在于,所述涂敷装置具备:
位置确定手段,其用来将被所述支承手段支承前的所述基板进行位置确定配置到指定位置;
基板移载手段,其用来将被所述位置确定手段确定了位置的基板移载到所述支承手段,以及将涂敷了所述膜形成液的基板从所述支承手段移送。
11.根据权利要求10所述的涂敷装置,其特征在于,所述基板移载手段具备第1的基板保持部和第2的基板保持部;
通过所述第1的基板保持部和所述第2的基板保持部,形成能够并列进行将所述基板向所述支承手段移载的动作和将所述基板从所述支承手段移送的动作的构成。
12.一种涂敷头,是用来为基板的包括端面的周向边缘部涂敷液体的涂敷头,其特征在于,具备相向配置的上侧头和下侧头,所述上侧头与所述下侧头具有能够插入所述基板端部的空隙;
所述上侧头具备:
在与所述下侧头的相对面上形成的上侧液体积存部、和
用来为所述上侧液体积存部提供膜形成液的液体供给路、和
与所述上侧液体积存部并列设置的上侧抹子部,和
与所述上侧抹子部并列设置的上侧刮取部;
所述下侧头具备:
在与所述上侧液体积存部相向的地方所形成的下侧液体积存部、和
与所述下侧液体积存部并列设置的下侧抹子部,和
与所述下侧抹子部并列设置的下侧刮取部。
13.根据权利要求12所述的涂敷头,其特征在于,在所述上侧抹子部以及/或者所述下侧抹子部的抹子面上形成有复数个的微小沟。
14.根据权利要求12或者13所述的涂敷头,其特征在于,所述上侧抹子部以可以装卸于所述上侧头的方式构成,所述下侧抹子部以可以装卸于所述下侧头的方式构成。
15.根据权利要求12至14中的任一项所述的涂敷头,其特征在于,所述上侧头具备:
固定在所述下侧头的固定部件,和
相对于所述固定部件以能够在上下方向进行位置调整的方式安装的移动部件;
所述上侧液体积存部形成在所述移动部件上;
所述上侧抹子部与所述上侧刮取部设置在所述移动部件上。
16.根据权利要求12至14中的任一项所述的涂敷头,其特征在于,所述上侧头具备:
固定在所述下侧头的固定部件,和
2个相对于所述固定部件以能够在上下方向进行位置调整的方式安装的移动部件;
所述上侧液体积存部形成于所述固定部件上;
在与所述上侧液体积存部并列设置的一个移动部件上设有所述上侧抹子部,在与所述一个移动部件并列设置的另一个移动部件上设有所述上侧刮取部。
17.根据权利要求12至14中任一项所述的涂敷头,其特征在于,所述上侧头具备:
固定于所述下侧头上的固定部件,和
相于所述固定部件以在上下方向上能够进行位置调整的方式安装的移动部件;
所述移动部件,在被施加势力手段施以向下方的势力的状态下,安装于所述固定部件上;
所述上侧液体积存部和所述上侧抹子部以及所述上侧刮取部设置于所述移动部件上。
18.根据权利要求17所述的涂敷头,其特征在于,所述移动部件具备:
第1的部件和第2的部件;
所述第1的部件以相对于所述固定部件能够在上下方向进行位置调整的方式安装;
所述第2的部件是在被所述施加势力手段施以向下方的势力的状态下,安装在所述第1的部件上;
所述上侧液体积存部、所述上侧抹子部以及所述上侧刮取部设置于所述第2的部件上。
19.根据权利要求12至18中任一项所述的涂敷头,其特征在于,所述上侧头具备排出所述膜形成液的液体排出路。
20.一种涂敷方法,是在基板的包括端面的周向边缘部涂敷膜形成液的涂敷方法,其特征在于,包括:
在具有能够插入所述基板端部的空隙的相向配置的一对涂敷头的所述空隙内,插入所述基板端部的工序;
在为所述一对涂敷头的相对面上形成的液体积存部提供所述膜形成液的同时,使所述一对涂敷头沿着所述基板的周向边缘部移动,在所述基板的周向边缘部形成涂膜的涂敷工序;
所述涂敷工序包括在与所述液体积存部并列设置的涂工部,将通过所述液体积存部的所述基板上附着的所述膜形成液涂敷加工成薄膜状的工序。
21.根据权利要求20所述的涂敷方法,其特征在于,使用复数个所述涂敷头同时并行涂敷所述基板的各边。