技术总结
本发明的目的在于提供一种能够在基板的包括端面的周向边缘部薄且以均匀膜厚涂敷膜形成液，能够稳定地形成膜厚变动少的涂膜的涂敷装置，涂敷装置1具有：支承基板2的支承台10，具有一对涂敷头21的涂敷单元20，使涂敷单元20移动的移动单元40和为涂敷头21提供膜形成液51的液体供给单元50以及控制部70，该控制部用来将基板2的端部插入涂敷头21的空隙的状态下，控制移动单元20使涂敷头21沿着基板2的周向边缘部移动；涂敷头21装备着用来积存膜形成液51的液体积存部22a、23a以及将通过液体积存部22a、23a的基板2的端部上所附着的膜形成液51涂敷加工成薄膜状的涂工部22c、22d、23c、23d。
技术研发人员：松山隆勇;吉塚秀人
受保护的技术使用者：株式会社埃纳科技
文档号码：201580024186
技术研发日：2015.10.20
技术公布日：2017.05.10