压电元件及其制造方法与流程

文档序号:11935759阅读:来源:国知局

技术特征:

1.一种压电元件,其特征在于,包括:压电基板;梳齿电极,形成于所述压电基板的主表面;引出配线,连接于所述梳齿电极而沿所述压电基板的外缘延伸设置;外围壁层,环绕包含所述引出配线的所述压电基板的外周而设置,形成作为所述梳齿电极的动作空间的中空部;以及顶板,桥接于所述外围壁层而将所述中空部密封,所述顶板包含混入无机材料的填料而提高了机械强度的耐热性树脂,所述引出配线分别形成于所述外围壁层的相向的一对侧面侧,跨及所述外围壁层的相向的一对侧面、所述顶板的与所述外围壁层的相向的一对侧面连接的上表面、及所述压电基板的与所述外围壁层的相向的一对侧面连接的所述压电基板的所述外缘,而在多个区块形成着绝缘的金属镀敷层,所述金属镀敷层在所述压电基板的所述外缘与所述引出配线电气连接,将所述金属镀敷层的所述顶板的上表面作为安装端子,将所述金属镀敷层的所述外围壁层的侧面作为连接所述引出配线与所述安装端子的侧面配线。

2.根据权利要求1所述的压电元件,其特征在于:

在所述外围壁层的相向的一对侧面及所述顶板的与所述外围壁层的相向的一对侧面连接的侧面,具有从所述顶板到所述外围壁层逐渐平缓地弯曲的倾斜面。

3.根据权利要求1所述的压电元件,其特征在于:

在所述外围壁层的相向的一对侧面、及所述顶板的与所述外围壁层的相向的一对侧面连接的侧面,具有从所述顶板穿过所述外围壁层到所述压电基板的所述外缘呈阶梯状弯曲的阶差面。

4.根据权利要求1所述的压电元件,其特征在于:

在所述外围壁层的相向的一对侧面、及所述顶板的与所述外围壁层的相向的一对侧面连接的侧面,具有从所述顶板穿过所述外围壁层到所述压电基板的所述外缘呈同一平面的垂直面。

5.根据权利要求1所述的压电元件,其特征在于:

使用聚酰亚胺作为所述耐热性树脂,使用白云母作为所述无机填料。

6.根据权利要求1所述的压电元件,其特征在于:

在包含设置于所述顶板的安装端子的周围、且直至所述压电基板的所述外缘所具有的所述金属镀敷层的所述侧面,具有焊料流动防止层。

7.根据权利要求6所述的压电元件,其特征在于:

将所述焊料流动防止层设置于除所述安装端子的周围之外的所述顶板及所述侧面的整个面。

8.根据权利要求6所述的压电元件,其特征在于:

将所述焊料流动防止层相对于所述各个安装端子而独立地设置。

9.根据权利要求6所述的压电元件,其特征在于:

是在所述安装端子之上形成势垒金属层而成。

10.根据权利要求1或6所述的压电元件,其特征在于:

在所述顶板的上表面中避开所述安装端子的区域具有用以防止所述中空部的溃缩的溃缩防止层。

11.根据权利要求10所述的压电元件,其特征在于:

所述溃缩防止层为金属层。

12.根据权利要求10所述的压电元件,其特征在于:

所述溃缩防止层为热固性树脂层。

13.一种压电元件的制造方法,其特征在于包括:电极形成工序,在构成压电基板的压电晶片的主表面形成梳齿电极,及将连接于所述梳齿电极且沿所述压电基板的外缘延伸设置的引出配线分别形成于所述压电基板的相向的一对侧面侧;动作空间形成工序,设置外围壁层,所述外围壁层环绕包含所述引出配线的所述压电基板的外周而用以形成作为所述梳齿电极的动作空间的中空部;顶板设置工序,将包含混入了无机填料的耐热树脂板的顶板的周缘桥接于所述外围壁层而将所述中空部密封;顶板图案化工序,将所述顶板分离为单片的每个声表面波元件的图案;金属镀敷层形成工序,跨及所述外围壁层的相向的一对侧面、所述顶板的与所述外围壁层的相向的一对侧面连接的上表面、及所述压电基板的与所述外围壁层的相向的一对侧面连接的所述压电基板的所述外缘,而在多个区块形成金属镀敷层;以及单片化工序,在经过所述各工序后,将所贴合的所述压电晶片与所述顶板分割为各个声表面波元件,利用所述金属镀敷层在所述压电基板的所述外缘与所述引出配线电气连接,将所述金属镀敷层的所述顶板的上表面作为安装端子,将所述金属镀敷层的所述外围壁层的侧面作为连接所述引出配线与所述安装端子的侧面配线。

14.根据权利要求13所述的压电元件的制造方法,其特征在于:

使用利用了附锥角的切割刀片的切割法来作为所述顶板图案化工序。

15.根据权利要求13所述的压电元件的制造方法,其特征在于:

利用使用了曝光遮罩的光刻工序来作为所述顶板图案化工序。

16.根据权利要求13所述的压电元件的制造方法,其特征在于:

使用聚酰亚胺作为所述耐热树脂板,使用白云母作为所述无机填料。

17.根据权利要求13所述的压电元件的制造方法,其特征在于:

包括焊料流动防止层形成工序,所述焊料流动防止层形成工序在形成所述金属镀敷层的金属镀敷层形成工序之后,在避开了所述安装端子的所述顶板的上表面及直至所述压电基板的所述外缘所具有的所述金属镀敷层的所述侧面形成焊料流动防止层。

18.根据权利要求17所述的压电元件的制造方法,其特征在于:

将所述焊料流动防止层设置于除所述安装端子的周围之外的所述顶板及所述侧面的整个面。

19.根据权利要求17所述的压电元件的制造方法,其特征在于:

将所述焊料流动防止层相对于所述各个安装端子而独立地设置。

20.根据权利要求17所述的压电元件的制造方法,其特征在于:

包括势垒金属层形成工序,所述势垒金属层形成工序在所述安装端子之上形成势垒金属层。

21.根据权利要求13所述的压电元件的制造方法,其特征在于:

包括溃缩防止层形成工序,所述溃缩防止层形成工序在所述顶板的上表面中避开所述安装端子的区域,形成用以防止所述中空部的溃缩的溃缩防止层。

22.根据权利要求21所述的压电元件的制造方法,其特征在于:

使用金属层来作为所述溃缩防止层。

23.根据权利要求21所述的压电元件的制造方法,其特征在于:

使用热固性树脂层来作为所述溃缩防止层。

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