弹性波装置及其制造方法与流程

文档序号:11531986阅读:来源:国知局

技术特征:

技术总结
本发明提供一种能够减小布线间的电容且难以产生寄生电容等所引起的特性的劣化的弹性波装置。弹性波装置(1)在支承基板(24)上层叠压电基板(5),在压电基板(5)上设置有IDT电极(21)。在压电基板(5)上设置有多个布线部(16b,13)。在至少一个布线部(16b,13)的下方以及布线部间的区域的下方当中的至少一方,在支承基板(24)设置有第1空腔部(31)。

技术研发人员:大村正志
受保护的技术使用者:株式会社村田制作所
技术研发日:2015.09.10
技术公布日:2017.08.18
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