技术总结
一种微机电系统(MEMS)导波装置包括单晶压电层、以及被配置成将横向激发波限制在所述单晶压电层中的至少一个导波限制结构。粘结界面设置在所述单晶压电层与至少一个下层之间。多频率装置包括布置在单晶压电层的不同厚度区上或其中的第一组电极和第二组电极、以及至少一个导波限制结构。分段压电层和分段电极层的段基本上在包括至少一个导波限制结构的装置中对准。
技术研发人员：K.巴塔查吉
受保护的技术使用者：QORVO美国公司
文档号码：201580076411
技术研发日：2015.12.17
技术公布日：2018.01.09