一种低能耗金属基逻辑电路的制作方法

本发明总体涉及微电子，更具体地，涉及基于磁性非晶合金金属纳米线的与/或逻辑门的设计。磁性材料为软磁非晶合金如Fe80B20合金，以减少临界电流。
背景技术：
：逻辑门对一个或多个逻辑输入进行逻辑运算并产生单独逻辑输出。表1和表2分别示出了逻辑或和逻辑与门的真值表。一般地，“1”表示在装置的两端之间有电位差，而“0”则表示没有电位差。输入1输入2输出0(10)0(11)0(12)1(13)0(14)1(15)0(16)1(17)1(18)1(19)1(20)1(21)表1逻辑或门输入1输入2输出0(24)0(25)0(26)1(27)0(28)0(29)0(30)1(31)0(32)1(33)1(34)1(35)表2逻辑与门由于逻辑门对于所有的电子产品来说都是不可缺少的，因此尤为重要。然而，常规的逻辑门受温度的影响很大，且尺寸大是其另一缺点。相比常规的逻辑门，基于电流引起的畴壁移动的磁逻辑门在许多方面非常优异，最明显的是在尺寸方面。后者由畴壁宽度确定的尺寸可小至20纳米。这意味着整个系统相比由常规逻辑门构建的系统小很多。低能耗高效率是另一优点，其中电阻降低显著且具有瞬时性。通过引入此种逻辑门，还可以降低成本。此外，自旋方向的对准独立于温度的变化，从而使得所述磁逻辑门比常规基于半导体的装置更稳定。磁化被定义为磁性材料中单位体积的磁矩量。铁磁金属的磁矩和的净值为自旋向上和自旋向下电子数目的差值。由于相互交换作用，所述自旋在铁磁材料中平行排列。在畴内的自旋会完全平行排列。畴壁为使磁畴分开的区域。畴壁的厚度取决于材料的各向异性，但平均横跨约100-150个原子。用电流而不是用磁场直接控制磁化是自旋电子学领域最近的进展之一。这种电流控制的磁性转换已经被探索过，以研究畴壁移动和畴壁电阻，其中电阻的变化在弹道区可达到100％((Lepadatu,S.,Xu,Y.B,Phys.Rev.Lett.92,127201(2004)和Krivorotov,I.N.等,Science307,228-231(2005))。它们还被用于开发自旋扭矩纳米振荡器(Mancoff,F.B.,Rizzo,N.D.,Engel,B.N.,Tehrani,S,Nature437,393-395(2005)和磁二极管(Tulapurkar,A.A.etal.Spin-torquediodeeffectinmagnetictunneljunctionsNature438,339-342(2005))。在另一方面，在纳米制造方面的进展已经允许我们就各种应用(包括采用磁随机存取存储器进行数据存储和处理，以及采用自旋二极管和磁逻辑门的未来的电子装置)在纳米级别上设计磁体的尺寸和形状。磁逻辑运算通过铁磁纳米线中的畴壁传播进行，从而导致反磁化。至今，这种在磁逻辑内的畴壁传播都是由外部施加的磁场引起(Allwood,D.A.etal.Magneticdomain-walllogicScience309,1688-1692(2005))，这阻止采用电压和电流来控制逻辑运算。一个潜在的替代是畴壁的电流引起的拖拉，其不依赖于产生的磁场。技术实现要素：本发明目的是，提出一种低能耗金属基逻辑电路、运行及制备，基于磁性非晶合金金属纳米线的与/或(与或或)逻辑门的设计。磁性非晶合金金属纳米线具有不同宽度的互连纳米结构的磁与/或逻辑电路的设计，其允许采用电流和电压来控制逻辑与/或的运算。本发明技术方案：一种低能耗金属基逻辑电路，磁性材料构成“与”逻辑门或者“或”逻辑门，磁性材料具有三种不同宽度(A和B和C)的颈缩即磁颈缩，以采用电流提供逻辑运算的控制，形成“与”逻辑门或者“或”逻辑门；所述的逻辑门为三接线端装置，由两根带有磁颈缩(A和B)的输入纳米线组成，所述两根带有磁颈缩的输入纳米线在接头区会聚形成带有磁颈缩(C)的一根输出纳米线。所述的磁性材料为软磁非晶合金Fe80B20。所述的逻辑门中的“或”逻辑门的“或”功能，输入线的磁颈缩宽度大于输出线的磁颈缩宽度。所述的逻辑门中所述的“和”逻辑门的“和”功能，输入颈缩的宽度、临界电流分别小于输出颈缩的宽度、临界电压。所述的逻辑门，所述每根输入输出纳米线线与其他线平行，在输出和输入的过渡部分包括两根弯曲形状线(3)，每根弯曲形状线包括1/2的向下抛物线状的线和1/2的向上抛物线状的线。两个具有相同尺寸的方形垫(1)连接至输入臂的左端，且输出臂的右端加工成尖锐状。所述的逻辑门输入和输出间采用电流引导的畴壁移动，畴壁捕获以及畴壁电阻改变的组合；畴壁被所述颈缩捕获，并且其电阻相比其中没有畴壁捕获时大很多；所述的逻辑门，随后通过较所述磁颈缩的临界电流大的电流，畴壁将沿所述电流方向传播，从而发生电阻降低。“1”表示在磁颈缩的两端之间的较低电压，而“0”则表示在磁颈缩的两端之间的较高电压。本发明器件的制备：两个输入线和一输出线A、B、C部分采用电子束刻蚀；触点层采用光刻法；软磁非晶合金用真空溅射的方法制备。所述逻辑门，其中所述磁性材料输入输出线为软磁非晶合金Fe80B20合金(第一级)，20nm厚，以及Au封盖层，2nm厚。触点采用第二级制成，所采用的材料和方法与第一级相同。第三级光刻用于限定出位于触点中心上的电测量垫(方格阴影)。随后为A1的热蒸发，150nm厚，Au封盖层，20nm厚。有益效果，本发明基于磁性非晶合金金属纳米线的与/或(与或或)逻辑门的设计。磁性非晶合金金属纳米线具有不同宽度的互连纳米结构的磁与/或逻辑电路的设计，其允许采用电流和电压来控制逻辑与/或的运算。附图说明图1为基于电流引导畴壁移动的和/或逻辑门设计的示意图。图2为其上标识有两个输入和一个输出参数的图。图3示出一种“或”逻辑门的对应三颈缩A、B、C之间的比较。其中A、B是输入线颈缩、C是输出线颈缩。他们的颈缩宽度不一样。图4示出采用电流的“或”逻辑门的运算。图5示出一种“或””逻辑门的对应三颈缩A、B、C之间的比较。其中A、B是输入线颈缩、C是输出线颈缩。他们的颈缩宽度不一样。图6示出采用电流的“和”逻辑门的运算，V1、V2、V3为输入线颈缩及输出线颈缩的电压。25-35为“和”逻辑门逻辑函数的波形图表示；I1、I2、I3均为电流。具体实施方式如图3所示，如果所述输入线的每一颈缩捕获了一畴壁，两输入门的逻辑功能可通过畴壁的移动来实现。“1”表示在颈缩的两端之间的较低电压，而“0”则表示较高电压。为实现“或”功能，所述输入颈缩的临界电流必须大于所述输出颈缩的临界电流，这意味着输入线(6和7)的颈缩宽度必须大于输出线(8和9)的颈缩宽度。为实现“和”功能，所述两个输入颈缩(6和7)的宽度必须小于所述输出线颈缩(22和23)的宽度。此外，输入线颈缩宽度(6和7)的总和必须大于输出颈缩宽度(22和23)。参照图3、5，两个输入线和一输出线A、B、C部分采用电子束刻蚀(第一级)，电极层采用光刻法。两个输入线及输出线都限定有长2μm的颈缩。所述测量垫限定为具有4μm的宽度和4μm的长度。所述磁性材料输入输出线及输出线为软磁非晶合金Fe80B20合金，用真空溅射的方法制备，20nm厚，以及Au封盖层，2nm厚。Fe80B20合金的矫顽力很低，远小于FeNi合金,这样可以减少临界电流。触点采用第二级制成，所采用的材料和方法与第一级相同。第三级光刻用于限定出位于触点中心上的电测量垫(方格阴影)。随后为A1的热蒸发，150nm厚，Au封盖层，20nm厚。当前第1页1 2 3