一种平板针尖放电式等离子发生体的制作方法

文档序号:11932622阅读:来源:国知局

技术特征:

1.一种平板针尖放电式等离子发生体,包括壳体、气源进口、气源出口和电极板,其特征在于,

所述壳体的一侧设置有气源进口,其相对的另一侧设置有气源出口,所述壳体的内部空腔中设置有电极板;

所述电极板包括接地电极板和高压电极板,两个接地电极板相对设置,高压电极板位于接地电极板之间,中间间隔开的区域形成等离子体发生区域,与气源进、出口相对应;接地电极板上设置有阵列分布的针形电极,针形电极交错式分布于高压电极板的两侧,高压电极板上镀有绝缘层并设置有若干针孔,发生介质放电,交错分布的针形电极产生电晕放电,微观上强化电场,针孔与针形电极构成电晕-介质阻挡双极放电模式。

2.根据权利要求1所述一种平板针尖放电式等离子发生体,其特征在于,所述高压电极板呈环形,针孔均匀分布在电极板上。

3.根据权利要求2所述一种平板针尖放电式等离子发生体,其特征在于,所述高压电极板的两侧均设置有第二连接件,通过第二连接件与接地电极板相固定。

4.根据权利要求1所述一种平板针尖放电式等离子发生体,其特征在于,所述针孔的数量最优为8个,针孔的孔隙在1mm至5mm之间。

5.根据权利要求1所述一种平板针尖放电式等离子发生体,其特征在于,所述接地电极板之间的距离在8mm至20mm之间,最优距离为13mm。

6.根据权利要求5所述一种平板针尖放电式等离子发生体,其特征在于,所述接地电极板上设置有第一连接件,通过第一连接件与壳体相固定。

7.根据权利要求1所述一种平板针尖放电式等离子发生体,其特征在于,所述针形电极的间距在10mm至30mm之间,最优距离为16mm。

8.根据权利要求1所述一种平板针尖放电式等离子发生体,其特征在于,所述气源进口包括栅格和进气孔,进气孔位于气源进口的内部,栅格设置在进气孔的进口位置,进气孔的出口与等离子体发生区域连通。

9.根据权利要求1所述一种平板针尖放电式等离子发生体,其特征在于,所述气源出口的尾端中心部设置有凹槽,气源出口的内部设置有粗孔,粗孔的尾端连接有细孔和斜孔,斜孔围绕细孔均匀分布,细孔和斜孔的尾端与凹槽连通。

10.根据权利要求1所述一种平板针尖放电式等离子发生体,其特征在于,所述针形电极包括尖端部、连接部和电源插脚,尖端部固定在连接部上,连接部的底部设置有电源插脚,电源插脚与接地电极板连接。

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