方式的不同点为中心进行说明。此外，对于相同的结构标注相同标号，对相同的事项省略其说明。
[0099]如图9所示，第2实施方式的上部电极20g除了在相邻的振动部24之间设置有凸部42以外，与第I实施方式大致相同。通过在相邻的振动部24之间设置凸部42，能够与在第I实施方式中说明的设置曲面40的情况同样地，隔开产生的热源的间隔，因此，能够降低热源之间的热传导导致的热释放(热弹性损耗)，能够得到具有高Q值、且具有稳定振动特性和期望振动特性的MEMS振子100。
[0100]以上，在图1的(a)的第I实施方式的振子、图7的(a)的变形例I的振子、图8的(a)?图8的(d)的变形例2的振子以及图9的第2实施方式的振子中，设置在基部22的中央部的支承部26的形状由矩形构成，但不限于该结构，也可以是多边形、圆形、十字形状等。此外，设置了 I个支承部26，但不限于此，也可以设置多个支承部26。
[0101][振荡器]
[0102]接下来，根据图10，对应用了作为本发明一个实施方式的振子的MEMS振子100的振荡器200进行说明。
[0103]图10是不出具有本发明一个实施方式的MEMS振子100的振荡器的结构的例子的概略图。振荡器200由MEMS振子100、偏置电路70、放大器71、72等构成。
[0104]偏置电路70与MEMS振子100的布线11a、12a连接，对MEMS振子100施加偏置了规定电位的交流电压。
[0105]放大器71是和偏置电路70并联地与MEMS振子100的布线lla、12a连接的反馈放大器。通过进行反馈放大，使MEMS振子100构成为振荡器200。
[0106]放大器72是输出振荡波形的缓冲放大器。
[0107]根据本实施方式，振荡器200通过具备具有高Q值的MEMS振子100，能够提供更高性能的振荡器200。
[0108][电子设备]
[0109]接下来，根据图11的(a)、图11的(b)、图12，对应用了作为本发明的一个实施方式的电子部件的MEMS振子100的电子设备进行说明。
[0110]图11的(a)是示出作为具有本发明一个实施方式的电子部件的电子设备的移动型(或笔记本型)个人计算机的概略结构的立体图。在该图中，个人计算机1100由具有键盘1102的主体部1104和具有显示部1000的显示单元1106构成，显示单元1106经由铰接结构部以可转动的方式支承于主体部1104。在这样的个人计算机1100中，内置有作为电子部件的MEMS振子100，该MEMS振子100作为滤波器、谐振器、基准时钟等发挥作用。
[0111]图11的(b)是示出作为具有本发明一个实施方式的电子部件的电子设备的移动电话(包含PHS)的概略结构的立体图。在该图中，移动电话1200具有多个操作按钮1202、受话口 1204以及送话口 1206，在操作按钮1202与受话口 1204之间，配置有显示部1000。在这样的移动电话1200中，内置有作为电子部件(时钟器件)的MEMS振子100，该MEMS振子100作为滤波器、谐振器、角速度传感器等发挥作用。
[0112]图12是示出作为具有本发明一个实施方式的电子部件的电子设备的数字照相机的概略结构的立体图。此外，在该图中，还简易地示出了与外部设备之间的连接。数字照相机1300利用CCD (Charge Coupled Device:电荷稱合器件)等摄像元件对被摄体的光像进行光电转换，生成摄像信号(图像信号)。
[0113]在数字照相机1300的壳体(主体)1302的背面设置有显示部1000，根据CXD的摄像信号进行显示，显示部1000作为将被摄体显示为电子图像的取景器发挥作用。此外，在壳体1302的正面侧(图中背面侧)设置有包含光学镜头(摄像光学系统)和CXD等的受光单元1304。
[0114]在摄影者确认显示部1000中表示的被摄体像并按下快门按钮1306时，该时刻的CXD的摄像信号被转送/保存到存储器1308中。此外，在该数字照相机1300中，在壳体1302的侧面设置有视频信号输出端子1312和数据通信用的输入/输出端子1314。而且，如图所示，根据需要，分别使视频信号输出端子1312与电视监视器1330连接，使数据通信用的输入/输出端子1314与个人计算机1340连接。此外，构成为，通过规定的操作，使存储器1308中保存的摄像信号输出到电视监视器1330或个人计算机1340。在这样的数字照相机1300中，内置有作为电子部件的MEMS振子100，该MEMS振子100作为滤波器、谐振器、角速度传感器等发挥作用。
[0115]如上所述，电子设备通过灵活运用具有高Q值的振子(MEMS振子100)，能够提供更高性能的电子设备。
[0116]此外，作为本发明一个实施方式的电子部件的MEMS振子100除了可以应用于图11的(a)的个人计算机(移动型个人计算机)、图11的(b)的移动电话、图12的数字照相机以外，例如还可以应用于喷射式排出装置(例如喷墨打印机)、笔记本型个人计算机、电视机、摄像机、汽车导航装置、寻呼器、电子记事本(包含带通信功能的)、电子词典、计算器、电子游戏设备、工作站、电视电话、防盗用电视监视器、电子望远镜、POS终端、医疗设备(例如，电子体温计、血压计、血糖计、心电图测量装置、超声波诊断装置、电子内窥镜)、鱼群探测器、各种测定设备、计量仪器类(例如，车辆、飞机、船舶的计量仪器类)、飞行模拟器等电子设备。
[0117][移动体]
[0118]接下来，根据图13，对应用了作为本发明一个实施方式的振子的MEMS振子100的移动体进行说明。
[0119]图13是概略地示出作为具有MEMS振子100的移动体的汽车1400的立体图。在汽车1400中，安装有构成为包含本发明的MEMS振子100的陀螺仪传感器。例如，如该图所示，在作为移动体的汽车1400中，安装了控制轮胎1401的、内置有该陀螺仪传感器的电子控制单元1402。此外，作为另一例，MEMS振子100可以广泛应用于无钥匙进入系统、发动机防盗锁止系统、汽车导航系统、汽车空调、防抱死制动系统(ABS)、安全气囊、轮胎压力监视系统(TPMS:Tire Pressure Monitoring System)、发动机控制器、混合动力汽车和电动汽车的电池监视器、车体姿态控制系统等的电子控制单元(E⑶:electronic control unit)。
[0120]如上所述，移动体通过灵活运用具有高Q值的振子(MEMS振子100)，能够提供更高性能的移动体。
[0121]以上，根据图示的实施方式，对本发明的振子(MEMS振子100)、振荡器200、电子设备以及移动体进行了说明，但本发明不限于此，各部分的结构可以置换为具有相同功能的任意结构。此外，在本发明中，可以附加其它任意结构物。此外，可以适当组合上述各实施方式。
【主权项】
1.一种振子,其特征在于,该振子具有: 基板； 基部，其配置在所述基板上；以及 多个振动部，它们从所述基部朝彼此不同的方向延伸， 在相邻的所述振动部之间具有曲面。
2.—种振子,其特征在于,该振子具有: 基板； 基部，其配置在所述基板上；以及 多个振动部，它们从所述基部朝彼此不同的方向延伸， 在相邻的所述振动部之间具有凸部。
3.根据权利要求1或2所述的振子，其特征在于， 所述振动部的所述基部侧的端部的宽度小于所述振动部的末端部的宽度。
4.根据权利要求1所述的振子，其特征在于， 所述振动部具有: 根部，其具有曲率部；以及 渐减部，其宽度随着朝向末端部而减小。
5.根据权利要求1或2所述的振子，其特征在于， 在所述基部的与所述基板相对的一侧的面上连接有支承部，该支承部连接所述基板和所述基部。
6.根据权利要求1或2所述的振子，其特征在于， 所述支承部连接在相邻的所述振动部之间。
7.根据权利要求5所述的振子，其特征在于，所述支承部存在多个。
8.一种振荡器，其特征在于，该振荡器具有权利要求1或2所述的振子。
9.一种电子设备，其特征在于，该电子设备具有权利要求1或2所述的振子。
10.一种移动体，其特征在于，该移动体具有权利要求1或2所述的振子。
【专利摘要】振子、振荡器、电子设备以及移动体。提供可靠性品质高、振动特性稳定且具有高Q值的振子。MEMS振子(100)具有基板(1)、配置在基板(1)上的基部(22)以及从基部(22)朝彼此不同的方向延伸的多个振动部(24)，在相邻的振动部(24)之间具有曲面(40)。
【IPC分类】H03H9-02, H03H9-24
【公开号】CN104579222
【申请号】CN201410524754
【发明人】木原龙儿
【申请人】精工爱普生株式会社
【公开日】2015年4月29日
【申请日】2014年10月8日
【公告号】US20150102866