技术特征：
技术总结
本申请涉及MEMS换能器，具有膜层(101)和至少一个可变通气部结构(301)。可变通气部结构具有：通气孔，以使流体通气，从而减小隔膜层两侧的压力差；及，可移动通气盖(302a，302b)，在平衡位置处至少部分地阻塞通气孔。通气盖响应于通气盖两侧的压力差而从其平衡位置能移动，从而使穿过通气孔的流动路径的尺寸变化。在多个实施方案中，通气盖包括至少第一折翼区段(302a)和第二折翼区段(302b)，第一折翼区段以铰链方式联接到通气孔的侧边，第二折翼区段以铰链方式联接到第一折翼区段，从而相对于第一折翼区段能移动。在一些实施方案中，第二折翼区段(302b)可被配置为使得其偏转远离第一区段(302a)比第一区段偏转远离其平衡位置更容易。
技术研发人员：S·卡吉尔;M·S·皮耶豪钦斯基
受保护的技术使用者：思睿逻辑国际半导体有限公司
技术研发日：2015.12.15
技术公布日：2017.09.29