专利名称：玻璃基板的除电装置的制作方法
技术领域：
本发明涉及玻璃基板等透明绝缘基板的除电装置，是一种适合使用于在液晶显示装置等的显示面板的制造中使用的玻璃基板上形成各种膜及图形化工序中的除电装置。
背景技术：
在往液晶显示装置等的显示面板的透明绝缘基板(下面称之为玻璃基板)上形成各种膜以及图形肯定及传输工序之中，由于静电，该基板带电。此种带电会对玻璃基板上形成的薄膜晶体管等器件造成不良影响，使产品的可靠性下降及成品率下降。作为对策，可通过除电装置对玻璃基板进行除电。
此外，液晶显示面板中使用的玻璃基板有大型化的趋势。传送此种大型玻璃基板期间，及将其从工作台(也称之为载置台或平台)剥离或拿起时即会产生静电。由于此种静电产生的带电电压会引起薄膜晶体管等器件的故障，因而需要进行某种方式的除电。但由于将玻璃基板从工作台上拿起的高度取决于下一道工序的情况，此外，由于除电只能在便于进行除电的场所进行，因而目前的状况是并未实施真正意义上的除电所需的工序内的除电。
此外，此种除电方法已知的有软X射线除电和电离仪除电。图6示出软X射线除电和电离仪除电的性能的比较图。图6(a)示出软X射线除电、图6(b)示出电离仪除电的性能。正如图6(b)中所示，广泛使用的电离仪除电是通过给电极61施加高压后产生的离子62靠鼓风机63提供的气流运送到所需位置进行除电的。例如当想要进行宽2m的大型玻璃基板11的除电时，要想在尚未发生因离子的结合引起的除电效率下降的约0.1秒期间，将离子从一端运送到2m之外的另一端，需要有秒速为20m的气流。并且需要在狭窄的间隙内，例如3mm的间隙内保持气流速度。此外，由于要喷射气流，因而难以如图6(a)中所示的软X射线除电那样，从工作台12上的玻璃基板11的两侧使用除电装置14。
而在本专利申请人先前提出的申请——特许文献1中记述了下述方法在用传送辊传送的玻璃基板近旁垂直下方位置上配置了接地导体，通过增大该接地导体和玻璃基板的静电容量，将玻璃基板的带电电位减少到管理值以内。此外还有下述方法不在辊传送器内进行除电，而是在搬运机器人即将把玻璃基板搬运到收容室的收容架上之前，也就是说，在搬运机器人用搬运杆把玻璃基板从传送辊上抬升起时，通过设置在传送辊两侧的两台除电装置照射软X射线，进行玻璃基板的除电。
此外，特许文献2中记述了下述方法通过朝带电物体的周边的气氛照射软X射线，使之产生正离子或负离子，中和带电。
此外，特许文献3中记述了下述结构在单面带电的玻璃基板的除电之中，若从未带电一面照射软X射线，则本来未带电的一面最终以相反极性带电，在玻璃基板的正反两面产生强烈的电场，有可能产生绝缘破坏。为了解决该问题，特许文献3公示出只对带电端，即只对玻璃基板与支持装置接触的一侧照射软X射线，中和带电。
特愿2005-35535[特许文献2]特许第2749202号公报[特许文献3]特开2004-299814号公报特许文献1中所述的是在从工作台上抬升玻璃基板时，通过对接地导体和玻璃基板之间的间隙照射软X射线去除玻璃基板的静电的。但是关于如何给接地导体和玻璃基板之间的间隙照射软X射线，却并无任何具体的记述。此外，若将玻璃基板抬升得过高，由于静电容量急剧下降，带电电压上升，有可能引起器件故障。
特许文献3所述的是在将玻璃基板脱离其支持装置之后照射软X射线的，但由于脱离支持装置的距离不同，有可能超过允许面内电位差或允许电位。此外，并未明确公示出当该脱离距离小的情况下，通过使软X射线贯穿该狭小间隙，仅时带电面照射软X射线的具体装置。
发明内容
因此，本发明的目的在于提供一种除电装置，其通过刚把玻璃基板从支持装置上抬升后，对该支持装置和玻璃基板间形成的狭小间隙准确照射软X射线，去除玻璃基板上的静电。
本发明将软X射线的光轴准确设定到刚从承载玻璃基板的工作台上抬起玻璃基板后的玻璃基板和载置台之间的间隙内。为此使用调整软X射线除电装置的安装位置的调整装置和用来对准光轴的软X射线监视器。此外，根据除电状态，在不超出玻璃基板的面内电位差允许值，或与接地之间产生的允许(容限)电位的状态下，边扩大间隙边分离玻璃基板后传送到下一道工序。
采用本发明，可在刚将玻璃基板从工作台上抬起后，剥离带电电压不超过面内电位差允许(容限)值或允许电位值的状态下，可用软X射线有效去除直至透明绝缘基板中央部位的静电，可防止引起部件故障的静电障碍。
图1是本发明涉及的玻璃基板的除电装置的构成图。
图2是不超过允许带电电位的抬升高度和除电时间的关系图。
图3是面内电位差和除电时间的关系图。
图4是软X射线除电装置不一致性的说明图。
图5是调整软X射线的光轴的简图。
图6是软X射线除电和电离仪除电的性能比较图。
(图中标号说明)11、玻璃基板(透明绝缘基板)，12、工作台(载置台、平台)，13、间隔调整装置，14、软X射线除电装置，15、安装位置调整装置，16、软X射线光轴监视器，17、控制装置，18、电位计，19、数据库，20、标记，21、缝隙，22a、上侧遮光板，22b、下侧遮光板，23、监视器，24a、b、导光板，51、光传感器，52，遮光铝箔，53、放大器，54、测量仪，61、电极，62、离子，63、鼓风机，具体实施方式
下面参照
本发明的实施例。
(实施例1)图1是本发明涉及的玻璃基板的除电装置的构成图。该除电装置由下述各部分构成工作台12，基承载玻璃基板11，间隔调整装置13，其为了传送给下一工序，使玻璃基板11脱离工作台12；软X射线除电装置14，其用软X射线去除玻璃基板11背面一侧的静电；位置调整装置15，其使软X射线除电装置14的光轴对准间隔d的中心位置；软X射线光轴监视器16，其配置了光轴调整的检测传感器；控制装置17，其控制间隔调整装置13；电位计18，其测定玻璃基板11的带电电位；数据库19，其存储与从工作台12上抬升玻璃基板11的高度对应的面内电位差值或允许电位值。
图1之中，通过软X射线离子化的软X射线除电装置14如果即使在狭小间隙内仍能通过对准光轴导入软X射线，就可在软X射线照射到的位置上产生离子化，起到除电作用。因此，通过将软X射线除电装置14的软X射线导入间隔d，用软X射线光轴监视器16检测，用该检测输出调整安装位置调整装置15，就可对准光轴。
然而，离子化效率随距离而衰减。即，正如图1上部所示，由于在设置软X射线除电装置14的玻璃基板11的一端和最远端(从一侧照射的情况下是相反一侧的端部，从两侧照射的情况下是玻璃基板的中心部位)除电效率不同，无法进行均匀的除电，因而产生面内电位差。此外，在最远端，玻璃基板和接地之间产生最大电位。该面内电位差或与接地间的电位是造成质量问题的原因这一。
此处用图3来说明面内电位差。图3表示将玻璃基板11从工作台12上的抬升距离设定为10cm的情况下，软X射线除电装置14的照射距离分别为25cm、50cm、100cm时的电位的经时变化和面内电位差，由此可知面内电位差依赖于距软X射线除电装置14的距离和时间。在该例中，0.5秒后面内电位差虽为零，但在经过0.01秒时，却产生了高达2800V的面内电位差。
此外，在与接地之间，通过抬高10cm，产生了最大为3000V的电位。通常情况下，由于与接地间构成的带电电位(3000V)大于面内电位差(2800V)，因而在以下的说明中用与接地间构成的带电电位加以说明。
首先，决定质量允许的与接地间构成的带电电位。接着，控制装置通过用电位计18测定玻璃基板的必要区域内不进行除电时的间隔d和带电电位之间的关系以及进行除电时的除电时间和带电电位之间的关系，预先对数据库19进行数据库化。
接着在将玻璃基板从工作台上抬升时，首先如图1左下所示，将间隔扩大到允许值以下。若将允许值设定为100V，则可抬升3mm。通过将软X射线导入设好的间隔内，来减少玻璃基板带有的电荷。结果是产生的带电电压下降。
此处，若将抬升高度do时的带电电压设定为Vo，由于用来将电位差抑制在Va的抬升高度da为da＝do×Va/Vo，若设do＝100mm、Va＝100V、Vo＝3000V，则 da＝100×100/30003(mm)。
而da＝Va/Vo可用下述方法求出。若设玻璃基板上带电电荷为Q，抬升高度为do时的静电容量为Co，由于Q＝Co×Vo，Co＝εS/do(S为玻璃基板的表面积、ε为空气介电常数)，因而成为Q＝εS/do×Vo。将抬升高度设为da时，由于只要不除电Q仍保持原状，因而电荷成为Q＝εS/da×Va。因此，由于εS/da×Va＝εS/do×Vo，因而成为da＝do×Va/Vo。
进而在允许值以下的范围内扩大间隔，通过照射软X射线使电荷减少。反复重复这一动作，在使带电电位保持在允许值以下的状态下边用软X射线使玻璃基板带有的电荷减少，边把玻璃基板从工作台上朝目标间隔抬升，用机械手抓起后送往下一道工序。
扩大玻璃基板与工作台的间隔的方法(扩大的距离和抬升速度)、最佳除电时间的选定可根据数据库中的信息进行，在不超过允许带电电位的范围内以最短时间抬升到规定的间隔。
图2是不超过允许带电电位的抬升高度和除电时间的关系图，纵轴左侧是抬升高度，图中用左侧箭头标示，纵轴右侧是带电电位，图中用右侧箭头标示，横轴表示时间。
在图2之中，示出通过调整抬升高度使之处于允许带电电位以下，然后除电的方法，在案例1、2之中，通过在允许带电电位以内抬升(1)，在一定时间内除电(2)。重复该(1)、(2)的过程。此外，在案例3、4之中，在不超出允许带电电位的状态下边抬升边除电。而此处的允许带电电位设定为300V。
(实施例2)虽然也可如上述，根据数据库19的信息，控制装置17控制间隔调整装置13，但在本实施例之中，也可用控制装置17边判断电位计18测出的带电电位是否在允许值以内的除电状况，边用间隔调整装置13控制间隔d。此时，通过将电位计18配置在带电电位变大的末端或中央，通过控制使其中之一不超过允许值。
上面说明了本发明，但是如果除电装置射出的软X射线的光轴未贯穿规定的间隙，即无法照射玻璃基板的背面，从而无法有效去除背面的静电。此外，由于除电装置照射出的软X射线不在可视区域，无法看到，因而无法用肉眼调整光轴。
因此，本发明通过预先测定图1所示的软X射线除电装置14的光轴，在软X射线除电装置14的射出口附近设置标记20，即可粗略对准光轴。
下面用图4说明该标记。图4是说明软X射线除电装置14的不一致性的说明图，该图(a)中所示的是出射角度有不一致性，但因出射角度引起的影响很小；该图(b)是在出射位置上有不一致性，由于出射位置的不一致性，而未照射基板背面；该图(c)是正常位置，例如抬升10cm时将3kV带电的玻璃基板的峰值电压设定在100V以下的除电开始位置为3mm；该图(d)从左到右分别表示正常的软X射线除电装置、有位置不一致性的软X射线除电装置、有角度不一致性的软X射线除电装置。如上所述，由于在制造时的软X射线除电装置存在软X射线的出射方向上的不一致性，因而需要测定光轴。
此外，在图1所示的除电装置之中，感知软X射线强度的软X射线监视器16中配置的检测传感器上设有其宽度最适合检测间隙中心的缝隙21。为了防止扰乱光侵入缝隙，在缝隙21的上下设有导光板24a、b。
该检测传感器使用的光传感器51示于图5。图5是调整软X射线光轴的简图，穿过缝隙21以及遮光铝箔52的软X射线被软X射线除电装置的光传感器51检测，在放大器53中放大，即可用监视器23观察软X射线除电装置的光轴位置。边用监视器观察光轴，边用测量仪54观察传感器的输出变化，边用安装位置调整装置15调整软X射线除电装置的安装位置。
此外，在图1所示的除电装置之中，在软X射线除电装置14中的上下设置了防止软X射线照射到无需照射部位的遮光板22a、22b。而该遮光板中的上侧遮光板22a可通过间隔调整装置13抬升到与玻璃基板11相同的水平位置上。这样一来，就不对例如玻璃基板11上表面等无需照射的部位照射软X射线，在通过抬升扩大的整个空间内照射软X射线，使之产生大量的离子，即可有效去除带电的玻璃基板11背面的静电。
权利要求
1.一种除电装置，包括载置台，用于承载玻璃基板；间隔调整装置，用于从载置台上抬升玻璃基板；软X射线除电装置，用于使软X射线贯穿抬升后的玻璃基板与载置台之间的间隔，其特征在于，配置有软X射线光轴监视器，用于检测前述软X射线；安装位置调整装置，用于根据该软X射线光轴监视器的检测输出，调整前述软X射线除电装置的安装位置。
2.根据权利要求1所述的除电装置，其特征在于通过使前述X射线贯穿，去除玻璃基板背面的静电。
3.根据权利要求1所述的除电装置，其特征在于前述间隔不超过玻璃基板的允许面内电压差。
4.根据权利要求1所述的除电装置，其特征在于前述间隔不超过与接地间产生的允许电位。
5.根据权利要求1所述的除电装置，其特征在于在玻璃基板的允许面内电压差以内扩大前述间隔进行去静电，进而再通过在允许面内电压差以内扩大进行去静电。
6.根据权利要求1所述的除电装置，其特征在于在与接地间产生的允许电位内扩大前述间隔进行除电，进而再通过在允许电压以内扩大进行除电。
7.根据权利要求1所述的除电装置，其特征在于在玻璃基板的允许面内电压差以内，边扩大前述间隔边进行除电。
8.根据权利要求1所述的除电装置，其特征在于在与接地间产生的允许电位内，边扩大前述间隔边进行除电。
9.根据权利要求1所述的除电装置，其特征在于在前述软X射线除电装置的软X射线射出位置上预先设置标记。
10.根据权利要求1所述的除电装置，其特征在于在前述软X射线光轴监视器的检测传感器上设有对准光轴的缝隙。
11.根据权利要求1所述的除电装置，其特征在于在前述软X射线除电装置上设有防止软X射线照射不需要的部位的遮光板。
12.根据权利要求11所述的除电装置，其特征在于前述遮光板中的上侧遮光板，可被抬升到与前述玻璃基板相同的水平位置上。
13.根据权利要求1所述的除电装置，其特征在于前述软X射线光轴监视器上设有防止外部扰乱光侵入的导光板。
14.一种除电装置，包括载置台，用于承载玻璃基板；间隔调整装置，用于从载置台上抬升玻璃基板；软X射线除电装置，用于使软X射线贯穿抬升后的玻璃基板和载置台之间的间隔；软X射线光轴监视器，用于检测前述软X射线；安装位置调整装置，用于根据该软X射线光轴监视器的检测输出，调整前述软X射线除电装置的安装位置，其特征在于设置有根据数据库中的信息，控制前述间隔调整装置的控制装置。
15.一种除电装置，包括载置台，用于承载玻璃基板；间隔调整装置，用于从载置台上抬升玻璃基板；软X射线除电装置，用于使软X射线贯穿抬升后的玻璃基板和载置台之间的间隔；软X射线光轴监视器，用于检测前述软X射线；安装位置调整装置，用于根据该软X射线光轴监视器的检测输出，调整前述软X射线除电装置的安装位置，其特征在于设置有根据电位计的检测输出，控制前述间隔调整装置的控制装置。
全文摘要
一种玻璃基板的除电装置，给刚抬升玻璃基板后的狭小间隙内照射软X射线。将软X射线除电装置14产生的软X射线导入间隔d，用软X射线光轴监视器16检测，通过用该检测输出调整安装位置调整装置15，对准光轴。接着，根据数据库19的信息，控制装置17边控制间隔调整装置13边除电。此外，也可边用控制装置17判断电位计18测出的带电电位是否在允许值以内，边用间隔调整装置13控制间隔d边除电。
文档编号H05F3/00GK101021626SQ20061007321
公开日2007年8月22日 申请日期2006年4月5日 优先权日2006年2月16日
发明者稻叶仁, 藤野正春, 福地泰彦, 中岛一义, 古知正人 申请人:株式会社未来视野