专利名称：铸锭炉炉体的制作方法
技术领域：
本实用新型属于多晶硅生产设备领域，尤其是一种用于生产多晶硅的铸锭炉炉体。
背景技术：
目前多晶硅铸锭炉，主要用于以铸锭方式生产硅半导体材料，传统的多晶硅铸锭炉由炉体和炉盖所组成，通常炉盖位于炉体上端，电加热器分布在炉膛的坩埚周边，存在装卸料不方便，电控加热和控制系统的带电元件下置，安全操作性能筹，炉体内隔热体设置分布不合理，隔热体设置过于复杂，使熔炼铸锭多晶硅速度慢，设备使用寿命短等缺点。
发明内容本实用新型的目的是针对上述技术中铸锭炉炉体存在的隔热体设置过于复杂的缺点，提出一种隔热体简单、熔炼铸锭多晶硅速度快的铸锭炉炉体。实现本实用新型目的的技术方案如下铸锭炉炉体，它包括炉身、炉盖与炉底，炉盖、炉身与炉底壁上分别设有冷却夹层， 每个冷却夹层上均有冷却通道，炉盖上为炉盖冷却通道，炉身上为炉身冷却通道，炉底上为炉底冷却通道，炉盖冷却通道与炉身冷却通道由在冷却夹层里的隔水板设置而成，炉底冷却通道包括上炉底冷却通道与下炉底冷却通道。所述的上炉底冷却通道与下炉底冷却通道为冷却夹套。本实用新型的优点是隔热的冷却夹层结构简单、实用，提高了熔炼铸锭多晶硅的速度，延长了设备使用寿命。
图1为本实用新型的结构示意图。
具体实施方式
如图1所示，铸锭炉炉体，它包括炉身2、炉盖1与炉底3，炉盖、炉身与炉底壁上分别设有冷却夹层，每个冷却夹层上均有冷却通道，炉盖上为炉盖冷却通道11，炉身上为炉身冷却通道22，炉底上为炉底冷却通道，炉盖冷却通道与炉身冷却通道由在冷却夹层里的隔水板4设置而成，炉底冷却通道包括上炉底冷却通道31与下炉底冷却通道32。所述的上炉底冷却通道与下炉底冷却通道为冷却夹套。
权利要求1.铸锭炉炉体，其特征在于它包括炉身、炉盖与炉底，炉盖、炉身与炉底壁上分别设有冷却夹层，每个冷却夹层上均有冷却通道，炉盖上为炉盖冷却通道，炉身上为炉身冷却通道，炉底上为炉底冷却通道，炉盖冷却通道与炉身冷却通道由在冷却夹层里的隔水板设置而成，炉底冷却通道包括上炉底冷却通道与下炉底冷却通道。
2.根据权利要求1所述的铸锭炉炉体，其特征在于所述的上炉底冷却通道与下炉底冷却通道为冷却夹套。
专利摘要本实用新型属于多晶硅生产设备领域，尤其是一种用于生产多晶硅的铸锭炉炉体。它包括炉身、炉盖与炉底，炉盖、炉身与炉底壁上分别设有冷却夹层，每个冷却夹层上均有冷却通道，炉盖上为炉盖冷却通道，炉身上为炉身冷却通道，炉底上为炉底冷却通道，炉盖冷却通道与炉身冷却通道由在冷却夹层里的隔水板设置而成，炉底冷却通道包括上炉底冷却通道与下炉底冷却通道。本实用新型的优点是隔热的冷却夹层结构简单、实用，提高了熔炼铸锭多晶硅的速度，延长了设备使用寿命。
文档编号C30B35/00GK202064034SQ201120106220
公开日2011年12月7日 申请日期2011年4月13日 优先权日2011年4月13日
发明者潘燕萍 申请人:常州市天龙光电设备有限公司