专利名称：可伸张的网状结构的制作方法
技术领域：
本发明涉及一种可伸张的网状结构，且特别涉及一种具有半导体装置的可伸张的 网状结构。
背景技术：
半导体装置的制造技术已发展数十年，且成功地制造电子产品的集成电路。这些 集成电路通过拣取-放置(pick-and-place)制程以及打线接合(wire-bonding)制程而固 设在一基材上，以发挥电子装置应有的功能。
另一种制造电子装置的方法是微机电系统(MEMS)，此种技术是结合传统的半导体 制程以及机械制造技术来达成装置的特定功能。在此技术中，微机电装置仍然是个别地装 设在一对象或基板上。
关于上述缺乏弹性或其它相当技术，有许多应用领域受限于他们的不可延伸性。 这造成某些电路相对困难地去实现各式各样的应用，例如经由大尺寸、复杂网络及高密度 网络等优势所衍生的那些应用。因此，目前亟需一种崭新的、且具经济效益的结构体，以提 供弹性且大面积的功能。发明内容
本发明提供一种可伸张的网状结构。根据本发明一实施方式，可伸张的网状结构 包含一第一装置部、一第二装置部以及至少三连接器。每一第一及第二装置部包含一半导 体组件。该些三连接器连接至该第一装置部。再者，该第二装置部经由该些三连接器的其 中一者电性连接该第一装置部。第一装置部以及第二装置部分别具有一第一中心以及一第 二中心。每一该些连接器可由一初始状态伸张至一扩张状态，使在该扩张状态下的该第一 与该第二中心间的一第一距离至少为在该初始状态下的该第一与该第二中心间的一第二 距离的1.1倍。
根据本发明一实施例，该第一及第二中心为几何中心、质量中心或对称中心。
根据本发明一实施例，每一该些装置部以及每一该些连接器是形成在一基材上的 一共同材料层的一部分。
根据本发明一实施例，该些三连接器实质上配置在同一平面上。在此实施例中，在 扩张状态时，任两相邻的连接器之间形成一夹角约120度。
根据本发明一实施例，该第一及第二装置部具有相同的形状。
根据本发明另一实施方式，可伸张的网状结构包含一中心部、至少三环绕部以及 至少三连接器。该中心部以及每一该些环绕部分别包含一半导体装置。该些三环绕部配置 在中心部的周围。每一该些环绕部经由该些连接器之其中一者连接至该中心部。该中心部 具有一第一中心，每一该些环绕部具有一第二中心。每一该些连接器可由一初始状态伸张 至一扩张状态，使在该扩张状态下的该第一中心与其中一该些第二中心之间的一第一距离 至少为在该初始状态下的该第一中心与该第二中心之间的一第二距离的1.1倍。
根据本发明一实施例，上述可伸张的网状结构还包含一第四环绕部以及一第四连 接器。第四连接器连接该第四环绕部及该中心部。在此实施例中，全部连接器实质上配置 在同一平面上，且在该扩张状态时，任两相邻的连接器之间形成一夹角为约90度。
根据本发明一实施例，当每一该些连接器处于该初始状态时，每一该些连接器缠 绕该中心部。
根据本发明一实施例，上述可伸张的网状结构还包含多个桥接部，且每一该些桥 接部桥接两连接器。在某些实施例中，该些桥接部桥接该中心部以及该些连接器的其中一者。
根据本发明一实施例，至少一该些三连接器的长度不同于另外两个连接器的长度。
根据本发明一实施例，全部该些三连接器具有一相同的长度。
根据本发明一实施例，每一该些连接器的一高度不同于该中心部的一高度。
根据本发明一实施例，每一该些连接器包含多个支臂以及多个90度限制旋转接 合器。任两相邻的支臂由该些90度限制旋转接合器之的其中一者连接，而使每一该些连接 器可由一折叠状态伸张为一直条状态。在此实施例中，每一该些连接器包含多条金属线，且 每一该些金属线连接该些支臂的其中一者以及与该支臂接合的一 90度限制旋转接合器。 再者，每一该些90度限制旋转接合器包含一本体以及一第一卡钩。本体具有一第一凹穴用 以接合至该些支臂的其中一者。第一卡钩自该本体延伸出，且用以连接另一支臂。此外，每 一该些支臂包含具有一第二凹穴的一端，用以容置该第一卡钩；以及具有一第二卡钩的另 一端，其延伸入该些第一凹穴的其中一者。
根据本发明再一实施方式，可伸张的网状结构包含一中心部、至少六连接器以及 至少六环绕部。该些六连接器连接于该中心部，且每一该些连接器可由一初始状态伸张至 一扩张状态。该些六环绕部与该中心部分离配置，且该些环绕部经由各自的连接器连接至 该中心部。当该些连接器在该扩张状态时，该中心部与该些环绕部之间存在的一最小距离 至少为在该初始状态时该中心部与该些环绕部间的一最小距离的1.1倍。
根据本发明一实施例，该些六个环绕部实质上配置在同一平面，且在该扩张状态 时，两相邻的连接器之间形成一夹角为约60度。
根据本发明又一实施方式，可伸张的网状结构包含一网状装置结构、一支撑柱围 绕该网状装置结构、以及多个第三连接器。该网状装置结构包含多个装置部以及多个第一 连接器。每一该些装置部具有一半导体组件，且任两相邻的装置部之间以其中一该些第一 连接器连接，以形成该网状装置结构。该支撑柱包含复数第二连接器以及复数节点。任两 相邻的节点通过其中一该些第二连接器连接，而形成一封闭环围绕该网状装置结构。每一 该些第三连接器连接该支撑柱中的其中一节点以及位于该网状装置结构的一周边的该些 装置部的其中一者。再者，每一该些第一、第二及第三连接器可由一初始状态伸张至一扩张 状态，使得在该扩张状态时存在于任两相邻装置部间的一间距至少为在该初始状态时该两 相邻装置部间的一间距的1.1倍。
根据本发明一实施例，当每一该些第一、第二及第三连接器处于该扩张状态时，每 一该些第三连接器对该网状装置结构的该周边施予一张力。
根据本发明一实施例，至少一该些第二连接器具有一长度，其不同于另一第二连接器的一长度。
根据本发明一实施例，每一该些第二连接器之一宽度不同于每一该些第一连接器 的一宽度。
根据本发明一实施例，至少一该些第三连接器具有一长度，其不同于另一第三连 接器的一长度。
根据本发明一实施例，每一该些第三连接器的一宽度不同于每一该些第一连接 器的一宽度。
根据本发明再一实施方式，可伸张的网状结构包含一网状装置结构、多个拉伸垫 以及多条拉伸线。网状装置结构包含可伸张的多个连接器以及多个装置部。每一该些连接 器可被展开。每一该些装置部具有一半导体组件。任两相邻的装置部之间以其中一该些连 接器连接，以形成该网状装置结构，其中通过伸张每一该些连接器，该网状装置结构可由一 初始状态伸张至一扩张状态，使在该扩张状态时两相邻装置部之间的最小距离至少为在该 初始状态时该两相邻的装置部之间的最小距离的1.1倍。该些拉伸垫用以展开该网状装置 结构，且配置在该网状装置结构的外围。每一该些拉伸线连接该网状装置结构与该些拉伸 垫的其中一者。
根据本发明一实施例，每一该些拉伸垫只连接单一装置部。
根据本发明一实施例，每一该些拉伸垫具有一最大尺寸，其不同于每一该些装置 部的一最大尺寸。
为让本发明的上述和其它目的、特征、优点与实施例能更明显易懂，现附图式说明 如下
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图1A为根据本发明一实施方式的可伸张的网状结构在初始状态的上视示意图。 IB为图1A的中心部的放大图。IC为根据本发明一实施方式的可伸张的网状结构在扩张状态的上视示意图。 2A为根据本发明另一实施方式的可伸张的网状结构在初始状态的上视示意2B为图2A的中心部的放大图。3A为根据本发明另一实施方式的可伸张的网状结构在初始状态的上视示意3B为图3A的中心部的放大图。3C为可伸张的网状结构在扩张状态的上视示意图。4A为根据本发明另一实施方式的可伸张的网状结构在初始状态的上视示意4B为根据本发明一实施方式的连接器在初始状态的放大图。4C-4D为根据本发明一实施方式的连接器的剖面示意图。4E为根据本发明一实施方式的连接器的上视示意图。4F为根据本发明一实施方式的连接器的另一种配置的上视示意图。4G为根据本发明一实施方式的连接器的另一种配置的上视示意图。
图5A为根据本发明一实施方式的连接器在初始状态的上视示意图。
图5B为图5A的连接器在扩张状态的上视示意图。
图6为根据本发明一实施方式的形成在基材上的可伸张的网状结构的配置上视 示意图。
图7为根据本发明一实施方式的拉伸力作用于可伸张的网状结构周边上视示意 图。
图8A-8C分别为根据本发明实施方式的可伸张的网状结构在扩张状态的上视示意图。
图9为根据本发明一实施方式的装置部之间的电性连接方式。
图1OA为根据本发明一实施方式的可伸张的网状结构在初始状态的上视示意图。
图1OB为图1OA的可伸张的网状结构在扩张状态的上视示意图。
图1OC为根据本发明一实施方式的支撑柱在初始状态的上视示意图。
图1OD为根据本发明另一实施方式的支撑柱在初始状态的上视示意图。
图11为根据本发明再一实施方式的可伸张的网状结构在初始状态的上视示意 图。
具体实施方式
为了使本发明公开内容的叙述更加详尽与完备，下文针对了本发明的实施态样与 具体实施例提出了说明性的描述；但这并非实施或运用本发明具体实施例的唯一形式。以 下所提供的各实施例，在有益的情形下可相互组合或取代，也可在一实施例中附加其它的 实施例，而无须进一步的记载或说明。
在以下描述中，将详细叙述许多特定细节以使读者能够充分理解以下的实施例。 然而，可在无此等特定细节的情况下实践本发明的实施例。在其它情况下，为简化附图，熟 知的结构与装置仅示意性地绘示于图中。
在此提供一种可伸张的网状结构，其可由一初始状态伸张为一扩张状态。此种可 伸张的网状结构包含多个装置部以及多个连接器。任两相邻的装置部经由其中一个连接器 而被连接在一起，并因此形成“可伸张的网状结构”。当一外力或张力施加在这些连接器时， 这些连接器可被伸张而展开。因此，当这些连接器被伸张展开时，两个相邻的装置部之间的 距离将会增加。因此，网状结构由初始状态被伸张延展成为扩张状态。
以下，将配合附图详述诸多示范性的实施方式。
图1为根据本发明一实施方式的可伸张的网状结构100处于初始状态时的上视 示意图。可伸张的网状结构100包含中心部110、六个环绕部120a-120f以及六个连接器 130a-130f。图1B为中心部110的放大图。
六个环绕部120a_120f以围绕中心部110的方式配置，且与中心部110间隔一距 离。中心部110以及每一个环绕部120a-120f分别包括诸如晶体管、发光二极管、逻辑电路 或感测装置等的半导体组件。环绕部的形状可与中心部110相同或不同。在此实施方式中， 此些环绕部120a-120f的形状与中心部110相同。在一实施例中，环绕部120a_120f以及 中心部110位于同一平面上。
环绕部120a_120f分别经由六连接器130a_130f中的其中一个而连接或耦接中心部110。具体而言，连接器130a-130f各自分别连接至环绕部120a-120f。每一连接器 130a-130f包含一导电材料而让每一环绕部120a-120f电性连接中心部110。更明确地说， 每一连接器130a-130f中可形成一层或多层金属层，因此电信号或电功率可在中心部110 以及环绕部之间传递。在应用多层金属层的例子中，在这些金属层中可配置一或多个绝缘 层。在许多实施例中，连接器130a-130f的高度或宽度为奈米等级或微米等级。
如图1A所示，在初始状态时，连接器130a_130f在中心部110与环绕部120a-120f 之间的空间中缠绕和/或蜿蜒。当一外力施加在网状结构100时，网状结构100可被伸张或 展开，因此可将中心部与环绕部120a-120f之间的间距扩大。因此，将网状结构100转变成 为一扩张状态，如图1C所示。每一连接器130a-130f被伸展成为大致上直线的状态，所以 两装置部(即中心部与环绕部)之间的距离增加。处于扩张状态时，中心部的中心Cl与环 绕部的中心C2之间的距离d2增加，且至少为初始状态时中心Cl与中心C2之间距离dl的1.1倍。在诸多实施例中，距离d2至少为距离dl的2倍、5倍或10倍。上述之“中心”可例 如为几何中心、质量中心或对称中心。根据本发明的另一样态，扩张状态时中心部110与环 绕部120a-120f之间存在的最小距离d4至少为初始状态下中心部110与环绕部120a-120f 之间存在的最小距离d3的1.1倍。在诸多实施例中，距离d4为距离d3的2倍、5倍或10 倍。
在本实施方式中，中心部110以及每一环绕部120a_120f分别包括一本体112以 及由本体112延伸出的六个瓣形部114，如图1B所示。至少一个瓣形部114具有一直线边 缘114a以及一曲线边缘114b。具体而言，每一瓣形部114具有相似的外观轮廓，且由直线 边缘114a以及曲线边缘114b构成。连接器130a-130f连接至本体112的接合点P1-P6。 在本实施方式中，中心Cl与接合点P1-P6之间的距离为等距，且所有六连接器为相等长度。
在一实施例中，每一装置部以及每一连接器是形成在一基材(例如晶圆)上的一 共同材料层的一部分。具体而言，装置部以及连接器可包含至少一导电层、氧化硅层及氮化 娃层。
图2A为根据本发明另一实施方式的可伸张的网状结构100在初始状态的上视示 意图。可伸张的网状结构100包括一中心部110、六个环绕部120a-120f以及六个连接器 130a-130f。图2B为中心部110的放大图。图2A示出的网状结构100是以类似于图1A的 方式配置构成。
在本实施方式中，每一环绕部120a_120f的形状与中心部110相同。再者，每一装 置部包括一本体112以及六个瓣形部114。本体112大致为圆形，且每一瓣形部114具有一 直线边缘114a以及一弧线边缘114c。每一瓣形部114的面积大于本体112的面积。然而， 在其它实施例中，瓣形部114的面积可小于本体112的面积。一或多个半导体组件可配置在 瓣形部114和/或本体112上。连接器130a-130f分别由本体112延伸出，然后沿着弧线 边缘114c并穿过中心部114与环绕部120a-120f之间的空间而连接至环绕部120a_120f。 每一连接器130a-130f的结构可与上述的实施方式相类似。
图3A为根据本发明另一实施方式的可伸张的网状结构100在初始状态的上视示 意图。可伸张的网状结构100包括一中心部110、六个环绕部120a-120f以及六个连接器 130a-130f。图3B为中心部110的放大图。图3C示出扩张状态下的网状结构100。
在本实施方式中，每一个环绕部120a_120f的形状与中心部110相同。每一个装置部包括一本体和三对的瓣形部1141、1142、1143，如图3B所示。每一对瓣形部是相对于几何中心C而对称。在一实施例中，至少一对的瓣形部，例如瓣形部1141，具有一直线边缘 1141a以及一曲线边缘1141b。然而，在其它实施例中，所有的瓣形部对1141、1142、1143都是由曲线边缘所组成。请注意，虽然图3B示出的装置部(亦即、中心部或环绕部)的形状是对称的，但是装置部也可以是非对称的形状。
中心部110具有六个接合点P1-P6，用以分别连接至连接器130a_130f，如图3B所示。中心C与第一接合点Pl之间的距离dl大于中心C与第二接合点P2之间的距离d2。 再者，距离d2大于中心C与第三接合点P3之间的距离d3。第一、第二及第三接合点P1、 P2、P3分别连接连接器130e、130f、130a。为了使扩张状态下任两相邻装置部的中心之间的的距离相等，连接器130a的长度大于连接器130f的长度，且连接器130f的长度大于连接器130e的长度。因此，即使其中一连接器130a-130f的长度不同于另一连接器的长度，扩张状态下的网状结构100仍然具有规则性的排列构形。在一实施例中，任意两相邻装置部中心之间的距离可保持为定值，即使其中一个连接器130a-130f的长度不同于另一个连接器的长度。
图4A为根据本发明另一实施方式的可伸张的网状结构100在初始状态的上视示意图。图4B为连接器130a-130f的放大图。图4A示出的网状结构100是以类似于上述实施方式的型态构成。中心部110大致为圆形，且其中配置有半导体组件。由中心部110延伸出的六个连接器130a-130f缠绕中心部110，然后再分别连接至环绕部120a_120f。连接器缠绕中心部110的圈数或长度可被调整，以符合扩张状态下所欲达成的结构状态。在一实施例中，可伸张的网状结构100更包含多个桥接部140，用以在初始状态时将连接器 130a-130f连结在一起。每一桥接部桥接两个连接器。当连接器因网状结构100伸张而受到拉伸时，桥接部140将会断裂。桥接部140的机械强度低于连接器的机械强度，因此桥接部 140是比较容易断开的。在一实施例中，每一桥接部140的宽度小于每一连接器130a-130f 的宽度。在另一实施例中，是将每一桥接部140构形为曲线轮廓，其具有较小的曲率半径或者具有尖锐的转折角作为应力集中点。桥接部140也可配置来桥接中心部110与其中一个连接器130a-130f。本发明上述的任何实施方式都可包含所述的桥接部140。
图4C为根据本发明一实施方式的连接器130a_130f的剖面示意图。连接器包含一基材131、多个介电层133以及多个金属层132。基材131可例如为娃晶圆的一部分。介电层133可包含例如氧化硅、氮化硅或其类似物等材料。金属层132可包含铜、铝、银或金等材料。在一实施例中，两相邻的金属层132之间配置有介电层133。在另一实施例中，一金属层可经由图4D示出的连通孔134而电性连接另一金属层。在某些实施例中，如图4E 连接器的上视示意图所示，连接器中可形成有多个导电线路135、136、137。每一导电线路 135、136、137可具有不同的形状、尺寸或材料。在其它实施例中，如图4D所示的每一连接器 130的高度H可不同于中心部的高度。在诸多实施例中，如图4E所示连接器的宽度W约为 IOnm至约50 μ m,且连接器的高度H为约I μ m至约500 μ m。
连接器可具有与上述实施方式不同的型态。在一实施方式中，连接器可在任何两个装置部之间的位置上卷曲缠绕，如图4F所示。具体而言，连接器130a可具有一卷曲部 138，其自身相互缠绕数次而没有缠绕任何的装置部。请注意，每一连接器可由一或多个次连接器 所构成。在一实施例中，连接器130a是由两个次连接器130al、130a2所构成。这两个次连接器130al、130a2大致彼此平行。连接器并非一定要以完整的圆形型态卷曲缠绕。 举例而言，连接器可在两装置部之间蜿蜒。
在另一实施方式中，连接器可缠绕某些装置部，但其它的装置部则未被任何连接器缠绕，如图4G所示。具体而言，连接器130a、130d实质上缠绕中心部110，但并未缠绕环绕部120a、120d。在本实施方式中，每一连接器130a、130d可由一或多个次连接器所构成。在诸多实施例中，连接器130a，130d可分别包含次连接器130al、130a2以及次连接器130dl、 130d2。在其它实施例中，一连接器中约三分之一的长度缠绕一个装置部，而此连接器另外三分之二的长度缠绕另一个相邻的装置部(未在图4G中示出)。另外，连接器还可具有与上述实施方式完全不同的型态。图5A系绘示根据本发明一实施方式的连接器130在初始状态的上视示意图。图5B为连接器130在扩张状态的上视示意图。连接器130包含多个支臂140以及多个90度限制旋转接合器150。任意两相邻支臂140是以其中一个90度限制旋转接合器150来连结，并使连接器130具有可伸展性。每一个90度限制旋转接合器 150包含一本体152以及一第一^^钩156。接合器150的本体152具有一第一凹穴154用以连接支臂140。再者，第一卡钩156由本体152延伸出，且用以连接到另一支臂。每一支臂140包含端部147，且端部147具有延伸进入第一凹穴154的第二卡钩148。支臂140还包含一相对端部144，其具有一第二凹穴146用以容纳另一个90度限制旋转接合器的第一卡钩。
当施加一拉力将连接器130伸张或解开时，连接器130由图5A示出的折叠状态展开成为图5B示出的直条状态。具体而言，第一及第二卡钩156、148可分别在第二及第一凹穴146、154中旋转。因此，每一支臂140以及接合器150可以相对旋转，而让连接器130 具有可伸张的功能。
在一实施例中，连接器130还包含多条金属线160，且每一金属线160连接一支臂 140以及与该支臂相邻的一个90度限制旋转接合器150。连接器130可通过这些金属线 160而提供两装置部之间的电性连接。具体而言，每一支臂140以及每一个90度限制旋转接合器150包含一导电材料或层。请参见图5A，A点可经由金属线160电性连接B点，然后 B点经由形成在支臂140中的导电材料电性连接C点。再者，C点经由另一金属线电性连接D点。以上述方式，虽然连接器130包括数个旋转结构，两装置部之间仍然可经由连接器 130而彼此电性连接。
图6为根据本发明一实施方式的形成在基材200上的可伸张的网状结构210的上视示意图。基材200可例如为硅晶圆，在初始状态下的可伸张的网状结构210形成在硅晶圆上。网状结构210的区域可如图6示出的六边形或四边形，或者为其它形状。
可应用制造微机电系统(MENS)的诸多制程方法在基材200上形成网状结构 210。举例而言，可采用深式反应离子蚀刻(DRIE)来定义(形成)装置部以及连接器， 然后再将网状结构210从基材中撷取出。在另一实施例中，基材200可为绝缘层上覆硅 (silicon-on-1nsulator, SOI)的晶圆，因此可在SOI晶圆上形成网状结构210。
可伸张的网状结构210区域以外的面积可被移除，如图7所示。可对网状结构210 的一部分或全部周边施加一拉力，而将形成在网状结构210中的连接器伸张或解开。因此， 可伸张的网状结构可由初始状态伸张为扩张状态。
图8A为根据本发明一实施例的可伸张的网状结构在扩张状态的上视示意图。在本实施例中，中心部110经由六个连接器130而连接于六个环绕部120。在扩张状态时，两相邻连接器130之间形成的夹角为约60度。虽然上述实施方式中，环绕部的数量示范性地以六个表示，但是，环绕部的数量并不限于六个。图8B为根据本发明一实施方式的可伸张的网状结构的上视示意图，其中是以三个环绕部围绕一中心部的方式配置。在本实施方式中，可伸张的网状结构包含一中心部110、三个环绕部120以及三个连接器130。中心部110以及每一个环绕部120分别包含一半导体装置。再者，每一个环绕部120经由其中一个连接器130而连接至中心部110。中心部110具有一第一中心，而每一环绕部120具有一第二中心。连接器130可由初始状态伸张为扩张状态，使得扩张状态下第一中心与其中一第二中心之间的距离至少为初始状态下第一中心与第二中心之间距离的1.1倍。在一实施例中，至少一连接器130的长度不同于另一连接器的长度。在其它实施例中，当处于扩张状态时，形成在两相邻连接器130之间的夹角为约120度。在某些实施例中，一或多个装置部120可被“节点”取代，所谓“节点”是指其中并不包含任何的半导体组件。因此，一个中心部110仅连接一个或两个环绕部130仍是有可能的。在另一实施方式中，一个中心部可连接四个环绕部，如图8C所示。在本实施方式中，在扩张状态下，相邻两连接器之间形成的夹角为约90度。值得注意的是，图8A至图SC所示出的实施方式可同时实现在单一个可伸张的网状结构中。举例而言，可伸张的网状结构包含一第一区域以及一第二区域。在第一区域中，每一中心部可连接六连接器。在第二区域中，每一中心部可连接三或四个连接器。因此，在一区域中的每一个装置部持有的连 接器数量不同于另一个区域。图9为根据本发明一实施方式的装置部之间的电性连接方式。在本实施方式，每一装置部连接六连接器，例如连接器130a-130f。具体而言，提供两连接器130b、130c予装置部110用以接收电信号，并另外提供两连接器130e、130f予装置部110来输出电信号。装置部120b可经由连接器130b、130f，或者经由连接器130g、130h而电性连接装置部120f。因此，当一个连接器断裂时，网状结构是可能自动地重整的(automaticallyreconfigured),而能保有预设的功能。再者,其它两个连接器130a、130d可用以传递其它特定应用的信号。或者，连接器130a、130d可用以形成并联的电路连接。图1OA示出根据本发明再一实施方式的可伸张的网状结构300在初始状态的上视示意图。图1OB为扩张状态下的可伸张的网状结构300示意图。请同时参见图1OA以及图10B，可伸张的网状结构300中包括一网状装置结构310。网状装置结构310包括多个装置部312以及多个第一连接器314。任两相邻装置部312之间通过其中一个第一连接器而电性连接，并因此形成网状装置结构310。可伸张的网状结构300还包括一支撑柱320，其环绕网状装置结构310。支撑柱320包含多个第二连接器322以及多个节点324。以一第二连接器322实体连接任意两相邻节点324。支撑柱320形成一个围绕网状装置结构310的封闭环。在一实施例中，至少一第二连接器322的长度L不同于另一个第二连接器322的长度。具体地，当可伸张的网状结构300处在扩张状态时，两个相邻的第二连接器322之间形成一个介于O度至90度之间的角度Θ。因此，两个相邻的第二连接器322可设计为彼此不同的长度。在另一实施例中，为了增加支撑柱320的机械强度，每一个第二连接器322可由相互平行的二或多个次连接器所构成。在又一实施例中，每一个第二连接器322的宽度W不同于每一个第一连接器314的宽度。再者，可伸张的网状结构300包括多个第三连接器330，配置在支撑柱320与网状装置结构310之间。每一个第三连接器330连接支撑柱320的节点324以及位于网状装置结构310周边的装置部312。在本实施方式中，每一个周边的装置部312( “周边的装置部”是指位在网状装置结构310的最外侧边缘的装置部)总共连接五个连接器(亦即一个连接器330以及四个连接器314)。其它位于网状装置结构310内部的装置部各自连接有六个连接器314。换言之，每一个周边的装置部所持有的连接器数量是不同于其它位在网状装置结构310内部的装置部所持有的连接器数量。在另一实施例中，周边的装置部312的外观形状与位在网状装置结构310内部的其余装置部的外观形状不同。第一、第二以及第三连接器314、322、330可为前文中所述的任何连接器。每一个第一、第二及第三连接器314、322、330可由初始状态伸张为扩张状态，使得扩张状态下两相邻装置部312之间存在的间距至少为初始状态时此两装置部之间存在的间距的1.1倍。当可伸张的网状结构300在扩张状态时，第三连接器330对网状装置结构310的周边施加一张力，因此让网状装置结构310中的装置部312位在所设定的位置上。为了此目的，至少一第三连接器330的长度不同于另一个第三连接器330的长度。举例而言，两相邻的第三连接器330可设计为彼此不同的两长度，如图1OB所示。在一实施例中，每一个第三连接器330的宽度不同于每一个第一连接器314的宽度。图1OC为根据本发明一实施方式的支撑柱在初始状态的上视示意图。类似地，支撑柱320包含复数第二连接器322以及复数节点324。每一个第二连接器322在两相邻的节点324之间蜿蜒，因此第二连接器322的长度是比两相邻的节点324之间的直线距离更长。每一个第二连接器322可包含二或多个次连接器，如图1OD所示。具体地说，每一个第二连接器322是由两个次连接器322a、322b所构成。图11为根据本发明再一实施方式的可伸张的网状结构300在初始状态的上视示意图。可伸张的网状结构300包含一网状装置结构310、多个拉伸垫350以及多条拉伸线360。网状装置结构310的结构可与上述图10A-10D中所述的结构相似。拉伸垫350配置在网状装置结构310的周边外围，且拉伸垫350是设计以展开网状装置结构310。每一拉伸线360连接其中一个拉伸垫350与网状装置结构310。在一实施方式中，每一拉伸垫350仅经由单一拉伸线360连接于单一个周边的装置部312。拉伸线360可具有与第一连接器314相同或不同的结构。在一实施例中，拉伸线360的机械强度不同于第一连接器314的机械强度。在另一实施方式中，拉伸垫350的数量少于周边的装置部312的数量。在此情况下，一部分的周边的装置部312并不经由拉伸线360连接至拉伸垫350。在又一实施方式中，每一拉伸垫350的最大尺寸不同于每一装置部312的最大尺寸。具体而言，每一拉伸垫350包括一第一部351、一第二部352以及桥接第一部及第二部之一颈部353。颈部353可具有如图11所示的直条状形状。然而，在某些实施例中，颈部353可类似于前文所述的连接器一般卷曲缠绕或蜿蜒。第一部及第二部351、352可用以粘贴至一对象或机具上，而将可伸张的网状结构300展开。请注意，虽然图11所示的拉伸垫350的形状与装置部的形状不同，但是每一拉伸垫350的形状可与装置部312的形状大致上相同。虽然本发明已以实施方式揭露如上，然其并非用以限定本发明，任何本领域普通技术人员，在不脱离本发明之精神和范围内，当可作各种更动与润饰，因此本发明的保护范围当视本申 请的权利要求所界定者为准。
权利要求
1.一种可伸张的网状结构，包含一第一装置部以及一第二装置部，分别具有一第一中心以及一第二中心，且每一该第一及第二装置部包含一半导体组件；以及至少三连接器，连接至该第一装置部，其中该第二装置部经由该些三连接器的其中之一电性连接该第一装置部；其中，每一该些连接器可由一初始状态伸张至一扩张状态，使在该扩张状态下的该第一与该第二中心间的一第一距离至少为在该初始状态下的该第一与该第二中心间的一第二距离的1.1倍。
2.根据权利要求1所述的可伸张的网状结构，其中该第一及该第二中心为几何中心、质量中心或对称中心。
3.根据权利要求1所述的可伸张的网状结构，其中每一该些装置部以及每一该些连接器是形成在一基材上的一共同材料层的一部分。
4.根据权利要求1所述的可伸张的网状结构，其中该些三连接器实质上配置在同一平面上。
5.根据权利要求4所述的可伸张的网状结构，其中在扩张状态时，任两相邻的连接器之间形成一夹角约120度。
6.根据权利要求1所述的可伸张的网状结构，其中该第一及第二装置部具有相同的形状。
7.—种可伸张的网状结构,包含一中心部，具有一第一中心；至少三环绕部，配置在中心部的周围，每一该些环绕部具有一第二中心，其中该中心部以及每一该些环绕部分别包含一半导体装置；以及至少三连接器，其中每一该些环绕部经由该些连接器的其中之一连接至该中心部；其中每一该些连接器可由一初始状态伸张至一扩张状态，使在该扩张状态下的该第一中心与其中一该些第二中心之间之一第一距离至少为在该初始状态下的该第一中心与该第二中心之间的一第二距离的1.1倍。
8.根据权利要求7所述的可伸张的网状结构，还包含一第四环绕部；以及一第四连接器，连接该第四环绕部及该中心部。
9.根据权利要求8所述的可伸张的网状结构，其中全部连接器实质上配置在同一平面上，且在该扩张状态时，任两相邻的连接器之间形成一夹角为约90度。
10.根据权利要求7所述的可伸张的网状结构，其中当每一该些连接器处于该初始状态时，每一该些连接器缠绕该中心部。
11.根据权利要求10所述的可伸张的网状结构，还包含多个桥接部，其中每一该些桥接部桥接该中心部以及该些连接器的其中之一。
12.根据权利要求7所述的可伸张的网状结构，还包含多个桥接部，其中每一该些桥接部桥接该些连接器的其中之二。
13.根据权利要求7所述的可伸张的网状结构，其中每一该些环绕部具有相同于该中心部的一形状。
14.根据权利要求13所述的可伸张的网状结构，该中心部以及每一该些环绕部各别具有一圆形形状。
15.根据权利要求13所述的可伸张的网状结构，其中该中心部以及每一该些环绕部分别包含一本体；以及多个瓣形部，由该本体延伸出。
16.根据权利要求15所述的可伸张之的网状结构，其中至少一该些瓣形部包含一直线的边缘以及一曲线的边缘。
17.根据权利要求7所述的可伸张的网状结构，其中每一该些连接器的一高度不同于该中心部的一高度。
18.根据权利要求7所述的可伸张的网状结构，其中至少一该些三连接器的一长度不同于该些三连接器中的另一连接器。
19.根据权利要求7所述的可伸张的网状结构，其中全部该些三连接器具有一相同的长度。
20.根据权利要求7所述的可伸张的网状结构，其中每一该些连接器包含多个支臂以及多个90度限制旋转接合器，且其中任两相邻的支臂由该些90度限制旋转接合器的其中之一连接，而使每一该些连接器为可伸张。
21.根据权利要求20所述的可伸张的网状结构，还包含多条金属线，其中每一该些金属线连接该些支臂的其中之一以及与该支臂接合的一 90度限制旋转接合器。
22.根据权利要求21所述的可伸张的网状结构，其中每一该些90度限制旋转接合器包含一本体，具有一第一凹穴用以接合至该些支臂的其中之一；以及一第一^^钩，自该本体延伸出，且用以连接该些支臂中的另一支臂。
23.根据权利要求22所述的可伸张的网状结构，其中每一该些支臂包含具有一第二凹穴的一端，该第二凹穴用以容置该第一卡钩；以及具有一第二卡钩的另一端，该第二卡钩延伸入该些第一凹穴的其中之一。
24.—种可伸张的网状结构，包含一中心部；至少六连接器，连接于该中心部，其中每一该些连接器可由一初始状态伸张至一扩张状态；以及至少六环绕部，与该中心部分离配置，其中该些环绕部经由各自的连接器连接至该中心部，且其中该中心部以及每一该些环绕部分别包含一半导体装置；其中，在该扩张状态时，存在于该中心部与该些环绕部间的一最小距离至少为在该初始状态时该中心部与该些环绕部间的一最小距离的1.1倍。
25.根据权利要求24所述的可伸张的网状结构，其中该些六个环绕部实质上配置在同一平面，且在该扩张状态时，两相邻的连接器之间形成一夹角为约60度。
26.根据权利要求24所述的可伸张的网状结构，其中每一该些连接器包含一金属层。
27.根据权利要求24所述的可伸张的网状结构，其中每一该些环绕部具有与该中心部相同的形状。
28.根据权利要求27所述的可伸张的网状结构，其中每一该些环绕部以及该中心部分别包含一本体；以及六瓣形部，由该本体延伸出。
29.根据权利要求28所述的可伸张的网状结构，其中至少一该些瓣形部包含一直线边缘以及一曲线边缘。
30.根据权利要求28所述的可伸张的网状结构，其中每一该些瓣形部包含一曲线的边缘。
31.根据权利要求24所述的可伸张的网状结构，其中至少一该些连接器的一高度不同于该些连接器中的另一连接器的一高度。
32.根据权利要求24所述之的可伸张的网状结构，其中全部该些六连接器具有一相同的长度。
33.一种可伸张的网状结构，包含一网状装置结构，包含多个装置部以及多个第一连接器，每一该些装置部具有一半导体组件，且任两相邻的装置部之间以其中一该些第一连接器连接，以形成该网状装置结构；一支撑柱，包含多个第二连接器以及多个节点，其中任两相邻的节点通过其中一该些第二连接器连接，且形成一封闭环围绕该网状装置结构；以及多个第三连接器，每一该些第三连接器连接该些节点的其中之一以及位于该网状装置结构的一周边的该些装置部的其中之一；其中每一该些第一、第二及第三连接器可由一初始状态伸张至一扩张状态，使得在该扩张状态时存在于任两相邻装置部间的一间距至少为在该初始状态时该两相邻装置部间的一间距的1.1倍。
34.根据权利要求33所述的可伸张的网状结构，其中当每一该些第一、第二及第三连接器处于该扩张状态时，每一该些第三连接器对该网状装置结构的该周边施予一张力。
35.根据权利要求33所述的可伸张的网状结构，其中至少一该些第二连接器具有一长度，其不同于另一第二连接器的一长度。
36.根据权利要求33所述的可伸张的网状结构，其中每一该些第二连接器的一宽度不同于每一该些第一连接器的一宽度。
37.根据权利要求33所述的可伸张的网状结构，其中至少一该些第三连接器具有一长度，其不同于另一第三连接器的一长度。
38.根据权利要求33所述的可伸张的网状结构，其中每一该些第三连接器的一宽度不同于每一该些第一连接器的一宽度。
39.根据权利要求33所述的可伸张的网状结构，其中位于该周边上的每一该些装置部连接第一数量的第一及第三连接器，且不位于该网状装置结构的该周边上的每一该些装置部连接第二数量的第一连接器，其中该第一数量不同于该第二数量。
40.一种可伸张的网状结构，包含一网状装置结构，包含可伸张的多个连接器；以及多个装置部，每一该些装置部具有一半导体组件，且任两相邻的装置部之间以其中一该些连接器连接，以形成该网状装置结构，其中通过伸张每一该些连接器，该网状装置结构可由一初始状态伸张至一扩张状态，使在该扩张状态时存在于两相邻装置部之间的最小距离至少为在该初始状态时该两相邻的装置部之间的最小距离的1.1倍；多个拉伸垫，用以伸张该网状装置结构，其中该些拉伸垫配置在该网状装置结构的外围；以及多个拉伸线，每一该些拉伸线连接该网状装置结构与该些拉伸垫的其中之一。
41.根据权利要求40所述的可伸张的网状结构，其中每一该些拉伸垫只连接单一装置部。
42.根据权利要求40所述的可伸张的网状结构，其中每一该些拉伸垫具有一最大尺寸，其不同于每一该些装置部的一最大尺寸。
43.根据权利要求40所述的可伸张的网状结构，其中每一该些拉伸垫具有一形状，其实质上相同于该网状装置结构的每一该些装置部。
全文摘要
本发明公开一种可伸张的网状结构，其包括第一装置部、第二装置部以及至少三个连接器。这三个连接器连接第一装置部。第二装置部经由其中一个连接器电性连接第一装置部。第一及第二装置部分别具有第一及第二中心。每一连接器可由初始状态伸张为扩张状态，使得在扩张状态下的第一与第二中心之间的距离至少为在初始状态下第一与第二中心之间距离的1.1倍。
文档编号H05K1/00GK103039128SQ201180023683
公开日2013年4月10日 申请日期2011年5月11日 优先权日2010年5月12日
发明者黄凯文·T·Y 申请人:玛纳利斯半导体公司