一种单晶硅生长炉用真空泵自动注油装置的制作方法

文档序号:8165979阅读:437来源:国知局
专利名称:一种单晶硅生长炉用真空泵自动注油装置的制作方法
技术领域
本实用新型涉及单晶硅生长炉用真空泵领域,尤其是一种单晶硅生长炉用真空泵自动注油装置。
背景技术
以往,拉晶车间在更换泵油时,都是将油从油桶内手动抽到塑料桶内,再将塑料桶内的油加至真空泵内,这样就有了两次倒换的过程,在过程内,极易碰洒和倾斜,对泵体,地面和周边环境形成不易清扫的污染状态,进而造成环境污染,同时,多次的倒换,也加大员工的劳动强度,增加了工作的疲劳点和时间用量。

实用新型内容本实用新型的目的是提供一种操作简便、省时省力且克服了因为漏油而造成环境污染问题的单晶硅生长炉用真空泵自动注油装置。为了完成上述目的,本实用新型采用的技术方案是一种单晶硅生长炉用真空泵自动注油装置,包括储油桶,储油桶的顶部开有加油口,还包括将储油桶架高的基座,在储油桶的底部开有出油口与加油管路相连,加油管路的末端设置加油嘴。所述的加油管路在靠近出油口的一端设置总阀门。所述的加油嘴至少为一个。在加油嘴处设置分阀门。所述的储油桶的上设置有液位计。所述的基座位于储油桶的底部。本实用新型的有益效果是由于将泵油储存在架高的储油罐内,利用落差开有方便的将泵油加入处于低处的真空泵内,大大提高了工作效率,并且不会产生漏油等环境污染问题。

图I是本实用新型的结构示意图。图中,I、储油桶,2、基座,3、出油口,4、总阀门,5、分支阀门,6、加油嘴,7、液位计,
8、加油口。
具体实施方式
本实用新型为一种单晶硅生长炉用真空泵自动注油装置,由于将泵油储存在架高的储油罐内,利用落差开有方便的将泵油加入处于低处的真空泵内,大大提高了工作效率,并且不会产生漏油等环境污染问题。
以下结合附图对本实用新型做进一步说明。[0016]具体实施例,如图I所示,一种单晶硅生长炉用真空泵自动注油装置,包括铁制的储油桶I,在储油桶I的顶部开有加油口 8,还包括将储油桶I架高的基座2,基座2放置于储油桶I的底部,在储油桶I的底部开有出油口 3与加油管路相连,加油管路的末端设置6个加油嘴6,在加油管路靠近出油口 3的一端设置总阀门4,在加油嘴6处设置分阀门5,为了方便查看储油桶I中泵油的多少,在储油桶I上设置有液位计7。当需要对真空泵加注泵油时,可以先将泵油从储油桶I的顶加油口 8倒入储油桶I内,将总阀门4打开,泵油从加油管路流入加油嘴6,打开分阀门5,泵油从加油嘴6处注入真空泵内,完成真空泵泵油的加注,由于将泵油储存在架高的储油罐内,利用落差开有方便的将泵油加入处于低处的真空泵内,大大提高了工作效率,并且不会产生漏油等环境污染 问题。
权利要求1.一种单晶硅生长炉用真空泵自动注油装置,包括储油桶(I),储油桶(I)的顶部开有加油口(8),其特征在于还包括将储油桶(I)架高的基座(2),在储油桶(I)的底部开有出油口(3)与加油管路相连,加油管路的末端设置加油嘴(6)。
2.根据权利要求I所述的一种单晶硅生长炉用真空泵自动注油装置,其特征在于所述的加油管路在靠近出油口(3)的一端设置总阀门(4)。
3.根据权利要求I所述的一种单晶硅生长炉用真空泵自动注油装置,其特征在于所述的加油嘴(6)至少为一个。
4.根据权利要求I所述的一种单晶硅生长炉用真空泵自动注油装置,其特征在于在加油嘴(6)处设置分阀门(5)。
5.根据权利要求I所述的一种单晶硅生长炉用真空泵自动注油装置,其特征在于所述的储油桶(I)的上设置有液位计(7)。
6.根据权利要求I所述的一种单晶硅生长炉用真空泵自动注油装置,其特征在于所述的基座(2)位于储油桶(I)的底部。
专利摘要本实用新型涉及一种单晶硅生长炉用真空泵自动注油装置,包括储油桶(1),储油桶(1)的顶部开有加油口(8),其特征在于还包括将储油桶(1)架高的基座(2),在储油桶(1)的底部开有出油口(3)与加油管路相连,加油管路的末端设置加油嘴(6)。本实用新型的有益效果是由于将泵油储存在架高的储油罐内,利用落差开有方便的将泵油加入处于低处的真空泵内,大大提高了工作效率,并且不会产生漏油等环境污染问题。
文档编号C30B29/06GK202688505SQ20122027210
公开日2013年1月23日 申请日期2012年6月11日 优先权日2012年6月11日
发明者赵会刚, 李德建 申请人:河北宁通电子材料有限公司
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