一种湿法刻蚀装置制造方法
【专利摘要】本实用新型提供一种湿法刻蚀装置，所述装置至少包括：腐蚀槽以及至少两个过滤器；所述腐蚀槽与每个过滤器通过第一、第二管道连接；所述第一、第二管道上分别对应设有第一、第二阀门；所述第一阀门与所述过滤器之间设有与所述第一管道相通的进液管；所述第二阀门与所述过滤器之间设有与所述第二管道相通的出液管。本实用新型的湿法刻蚀装置通过增加连接在腐蚀槽上的过滤器使得湿法清洗过程与清洗过滤器的过程互不影响，清洗过滤器时不会对腐蚀槽造成侵蚀，延长腐蚀槽的使用寿命；同时不用拆卸清洗装置即可将过滤器中的杂质清除，提高过滤器清洗效率,从而降低腐蚀槽内杂质含量。
【专利说明】一种湿法刻蚀装置
【技术领域】
[0001]本实用新型涉及一种半导体制程设备，特别是涉及一种湿法刻蚀装置。
【背景技术】
[0002]在半导体制程中，湿法刻蚀通常是将带有二氧化硅以及氮化硅的晶圆置于腐蚀槽中对晶圆进行腐蚀；如图1所示，图1表示的是现有技术中的湿法刻蚀装置；其中腐蚀槽10中常常承载有磷酸溶液，为了提高氮化硅薄膜对二氧化硅的刻蚀选择比，磷酸被广泛地应用于氮化硅薄膜的刻蚀。由于腐蚀过程中，二氧化硅与磷酸溶液中的水反应生成的硅化物会形成不溶于磷酸的沉淀颗粒，而这些颗粒一方面可以导致浸泡在磷酸溶液中的晶圆16由于粘附硅化物颗粒而产生缺陷；为了使得磷酸溶液中的硅化物颗粒尽量少并且尽可能减小对晶圆造成的缺陷；与所述腐蚀槽10相通并相互连接的过滤器11用于在湿法清洗过程中过滤磷酸溶液中的硅化物沉淀。
[0003]在湿法刻蚀装置中，磷酸溶液通过位于所述腐蚀槽底面的若干进液口 101进入腐蚀槽中，磷酸溶液充分与晶圆表面接触腐蚀后，通过与腐蚀槽10连接的第一管道12进去过滤器11中，然后磷酸溶液中的硅化物被过滤器过滤后又经过第二管道13进入腐蚀槽中，如此循环若干次待腐蚀完成后，腐蚀槽中的废液通过位于腐蚀槽10底部的若干排液口 102排出。
[0004]而在现有的湿法刻蚀装置中，由于过滤器中长期积累杂质可能将过滤器堵塞；在过滤进行若干次后，技术人员需要对过滤器进行清洗或者更换新的过滤器，其中一种清洗方法是清将过滤器拆卸下来对过滤器进行清洗，而该过程复杂繁琐，延长待机时间，使得生产不得不停止且费时费力；另一种清洗方式是将湿法刻蚀过程中的磷酸替换为氢氟酸溶液对来溶液过滤器中的杂质，现有的腐蚀槽材料一般是石英，而氢氟酸对石英会造成腐蚀，使得腐蚀槽的使用寿命大大减小。
[0005]因此，有必要提出一种新的湿法刻蚀装置来解决上述问题。
实用新型内容
[0006]鉴于以上所述现有技术的缺点，本实用新型的目的在于提供一种湿法刻蚀装置，用于解决现有技术中清洗过滤器过程中需要拆卸机台延长停机时间以及直接清洗时对腐蚀槽造成腐蚀而减小腐蚀槽使用寿命的问题。
[0007]为实现上述目的及其他相关目的，本实用新型提供一种湿法刻蚀装置，所述装置至少包括:腐蚀槽以及至少两个过滤器；所述腐蚀槽与每个过滤器通过第一、第二管道连接；所述第一、第二管道上分别对应设有第一、第二阀门；所述第一阀门与所述过滤器之间设有与所述第一管道相通的进液管；所述第二阀门与所述过滤器之间设有与所述第二管道相通的出液管。
[0008]作为本实用新型的湿法刻蚀装置的一种优选方案，所述腐蚀槽为长方体槽；该腐蚀槽的底部还设置有分别紧密排列的若干进液口和若干排液口。
[0009]作为本实用新型的湿法刻蚀装置的一种优选方案，所述清洗装置包括两个所述过滤器:第一、第二过滤器；所述第一、第二过滤器分别位于所述腐蚀槽的两侧。
[0010]作为本实用新型的湿法刻蚀装置的一种优选方案，与所述第一过滤器连接的第一、第二管道连接于所述腐蚀槽的一侧；与所述第二过滤器连接的第一、第二管道连接于所述腐蚀槽的另一侧。
[0011]作为本实用新型的湿法刻蚀装置的一种优选方案，所述腐蚀槽为长方体槽；所述清洗装置中包括四个过滤器:第一至第四过滤器；所述第一、第二过滤器位于所述腐蚀槽的一侧；所述第三、第四过滤器位于所述腐蚀槽的另一侧。
[0012]作为本实用新型的湿法刻蚀装置的一种优选方案，分别与所述第一、第二过滤器连接的第一、第二管道连接于所述腐蚀槽的一侧；分别与所述第三、第四过滤器连接的第一、第二管道连接于所述腐蚀槽的另一侧。
[0013]作为本实用新型的湿法刻蚀装置的一种优选方案，所述进液管连接有进水泵；所述出液管连接有抽水泵。
[0014]作为本实用新型的湿法刻蚀装置的一种优选方案，所述腐蚀槽中承载有若干晶圆和磷酸溶液。
[0015]如上所述，本实用新型的湿法刻蚀装置，具有以下有益效果:本实用新型的湿法刻蚀装置通过增加连接在腐蚀槽上的过滤器使得湿法清洗过程与清洗过滤器的过程互不影响，清洗过滤器时不会对腐蚀槽造成侵蚀，延长腐蚀槽的使用寿命；同时不用拆卸清洗装置即可将过滤器中的杂质清除，提高湿法清洗效率。
【专利附图】
【附图说明】
[0016]图1为现有技术中的湿法刻蚀装置示意图。
[0017]图2为本实用新型中的一种湿法刻蚀装置示意图。
[0018]图3为本实用新型中的另一中湿法刻蚀装置示意图。
[0019]元件标号说明
[0020]10腐蚀槽
[0021]111第一过滤器
[0022]112第二过滤器
[0023]113第三过滤器
[0024]114第四过滤器
[0025]12第一管道
[0026]13第二管道
[0027]121第一阀门
[0028]131第二阀门
[0029]14进液管
[0030]15出液管
[0031]101进液口
[0032]102排液口
[0033]141进水泵
[0034]151抽水泵
[0035]16晶圆
【具体实施方式】
[0036]以下通过特定的具体实例说明本发明的实施方式，本领域技术人员可由本说明书所揭露的内容轻易地了解本发明的其他优点与功效。本发明还可以通过另外不同的【具体实施方式】加以实施或应用，本说明书中的各项细节也可以基于不同观点与应用，在没有背离本发明的精神下进行各种修饰或改变。
[0037]请参阅图2至图3。需要说明的是，本实施例中所提供的图示仅以示意方式说明本发明的基本构想，遂图式中仅显示与本发明中有关的组件而非按照实际实施时的组件数目、形状及尺寸绘制，其实际实施时各组件的型态、数量及比例可为一种随意的改变，且其组件布局型态也可能更为复杂。
[0038]实施例一
[0039]如图2所示，本实用新型提供一种湿法刻蚀装置，所述湿法刻蚀装置包括:腐蚀槽10以及分别与所述腐蚀槽10连接的第一过滤器111和第二过滤器112 ;所述腐蚀槽在本实施例中为长方体槽；所述第一过滤器和第二过滤器与所述腐蚀槽的连接方式可以是同时位于所述腐蚀槽的一侧，也可是分别位于所述腐蚀槽的两侧；本实施中所述第一过滤器111位于所述腐蚀槽10的一侧；所述第二过滤器112位于所述腐蚀槽10的另一侧；亦即所述两个过滤器分别位于所述腐蚀槽的两侧。
[0040]本实施例中，如图2所示，所述腐蚀槽10的底部还设置有分别紧密排列的若干进液口 101和若干排液口 102。也就是说所述若干进液口 101紧密排列于所述腐蚀槽底部的某个区域；所述若干排液口 102紧密排列于所述腐蚀槽底部的另一处区域，该排布方式有助于所述腐蚀槽中溶液的进出。
[0041]本实用新型中所述腐蚀槽与每个过滤器相互连接，因此，如图2所示，所述腐蚀槽10与所述第一过滤器111通过第一管道12和第二管道13相互连接；同时该腐蚀槽10与所述第二过滤器112也通过第一管道12和第二管道13相互连接。本实施例中由于所述第一过滤器和第二过滤器分别位于所述长方体的腐蚀槽10的两侧，为了使得所述第一、第二过滤器分别与所述腐蚀槽的连接简单化，因此，优选地，如图2所示，与所述第一过滤器111连接的第一管道12和第二管道13连接于所述腐蚀槽的一侧；与所述第二过滤器112连接的第一管道12和第二管道13连接于所述腐蚀槽的另一侧。
[0042]本实用新型的所述湿法刻蚀装置中还包括:设置于所述第一管道12上的第一阀门121 ;设置于所述第二管道13上的第二阀门131 ;同时，如图2所示，在所述第一阀门121与所述第一过滤器111之间的所述第一管道12上设有进液管14，所述进液管14与所述第一管道12相通；所述第一管道12和与其连接的过滤器以及所述腐蚀槽10相通；对于所述第一过滤器111来说，所述第一过滤器111通过所述第一管道12与所述腐蚀槽10相通；而所述第一阀门121设置于所述第一管道上，开启所述第一阀门时，所述第一过滤器与所述腐蚀槽相通,所述腐蚀槽中的液体与所述第一过滤器中的液体可以自由进出。
[0043]同时，由于所述第二过滤器112位于所述腐蚀槽10的另一侧，对于所述第二过滤器来说，与所述第一过滤器相同的是，所述第二过滤器112通过所述第一管道12与所述腐蚀槽10相通；而所述第一阀门121设置于所述第一管道12上，开启所述第一阀门121时，所述第二过滤器112与所述腐蚀槽10相通，所述腐蚀槽中的液体与所述第二过滤器112中的液体可以自由进出。
[0044]如图2所示，本实施例中，所述第一阀门12与所述第一过滤器之间设有与所述第一管道12相通的进液管14 ;所述第二阀门与所述第一过滤器之间设有与所述第二管道13相通的出液管15。同样，对于所述第二过滤器来说，所述第一阀门12与所述第二过滤器之间设有与所述第一管道12相通的进液管14 ;所述第二阀门与所述第二过滤器之间设有与所述第二管道13相通的出液管15。所述进液管14用于将清洗所述第一或第二过滤器的液体输送入所述第一或第二过滤器中，所述出液管15用于将所述第一或第二过滤器中的液体排出所述第一或第二过滤器。通常，所述进液管14所述出液管15都设有阀门方便开启或关闭。本实施例中，优选地，所述进液管连接有进水泵141 ;所述出液管连接有抽水泵151。所述进水泵141提供用于清洗所述第一或第二过滤器的液体；所述抽水泵151用于将所述第一或第二过滤器中的液体抽出。
[0045]本实施例中所述的湿法刻蚀装置的工作原理为:
[0046](一 )刻蚀过程:当使用所述湿法刻蚀装置对晶圆进行刻蚀时，所述腐蚀槽10中承载有若干晶圆16 ;开启如图2中左侧的所述第一过滤器附近的所述进液管14上的阀门，并且开启与所述第一过滤器111连接的第一管道12上的第一阀门121 ;并且同时开启与该进液管14连接的进水泵141，所述进水泵141将液体注入所述进液管14中，通常用于刻蚀所述晶圆上的氮化硅以及二氧化硅的腐蚀液为磷酸，因此，所述进水泵141注入所述进液管14中的液体为磷酸溶液；磷酸溶液流入所述第一过滤器中，这时，所述第二管道13上的第二阀门131处于开启状态，与所述第二管道13连接的所述出液管15处于关闭状态，因此，经过所述第一过滤器的磷酸再经过所述第二管道13流入所述腐蚀槽中，所述腐蚀槽中的磷酸与所述晶圆充分反应，所述腐蚀槽中的磷酸再经过所述第一管道12流入所述第一过滤器，磷酸溶液中水与晶圆上的氮化硅反应生成的硅化物沉淀随着磷酸一起进入所述第一过滤器，不断循环进入所述第一过滤器的结果是绝大部分的硅化物沉淀被所述第一过滤器过滤掉，而所述腐蚀槽中磷酸溶液中的硅化物则越来越少，因此，减小了晶圆粘附杂质颗粒的机会。待刻蚀一定数量晶片后，所述废液从位于所述腐蚀槽底部的排液口 102排出。
[0047](二)过滤器清洗过程:在进行上述刻蚀的过程中，位于所述腐蚀槽另一侧的所述第二过滤器122可以是处于工作状态，也可以为停止工作的状态。所述工作状态指的是所述第二过滤器的清洗过程。本实用新型的所述每个过滤器既可以进行如上所述的刻蚀过程，也可以单独进行自身的清洗过程，当其中一个所述过滤器进行刻蚀过程的时候，其他过滤器关闭刻蚀过程，但是其他过滤器可同时进行自身的清洗过程，也就是说，例如使用所述第一过滤器进行上述刻蚀过程时，所述第二过滤器关闭使用或进行自身清洗；当进行下次的刻蚀过程时，可以使用已经清洗好的第二过滤器进行刻蚀过程，同时所述第一过滤器进行自身清洗过程。本实施例的所述第一和第二过滤器交替进行刻蚀过程，在所述刻蚀过程中，未进行刻蚀过程的所述过滤器可进行自身清洗过程。
[0048]所述自身清洗过程如下:例如所述第二过滤器进行自身清洗，通常所述清洗液为氢氟酸，氢氟酸用于清除堵塞在所述过滤器中的硅化物；而氢氟酸对石英材质的腐蚀槽会形成腐蚀。因此，首先关闭与所述第二过滤器连接的第一管道12上的第一阀门121以及与所述第二过滤器连接的第二管道13上的第二阀门131，避免清洗液进入所述腐蚀槽中。接着，如图2所示，开启位于所述腐蚀槽右侧的所述第二过滤器112附近的所述进液管14和出液管15上的阀门，同时启动与该进液管14连接的进水泵141，使的清洗液(氢氟酸)沿所述进液管14经过与其连接的第一管道12进入所述第二过滤器112中，所述过滤器112中的氢氟酸充分溶解硅化物后，废液经过与所述第二过滤器连接的第二管道13以及与所述第二管道13连接的出液管15后排出。优选地，当清洗接近结束时，开启与该出液管15连接的出水泵151，使得所述第二过滤器中的液体被完全抽干，避免遗留氢氟酸使得下次刻蚀时氢氟酸进入所述腐蚀槽。、
[0049]实施例二
[0050]如图3所示，本实用新型提供一种湿法刻蚀装置，所述湿法刻蚀装置包括:腐蚀槽10以及分别与所述腐蚀槽10连接的第一过滤器111、第二过滤器112、第三过滤器113、第四过滤器114 ;本实施中，如图3所示，所述第一过滤器111、第二过滤器112同时位于所述腐蚀槽10的一侧；所述第三过滤器113、第四过滤器114同时位于所述腐蚀槽10的另一侧。
[0051]本实施例中，如图3所示，所述腐蚀槽10的底部还设置有分别紧密排列的若干进液口 101和若干排液口 102。也就是说所述若干进液口 101紧密排列于所述腐蚀槽底部的某个区域；所述若干排液口 102紧密排列于所述腐蚀槽底部的另一处区域，该排布方式有助于所述腐蚀槽中溶液的进出。
[0052]本实用新型中所述腐蚀槽与每个过滤器相互连接，因此，如图3所示，所述腐蚀槽10与所述第一过滤器111通过第一管道12和第二管道13相互连接；同时该腐蚀槽10与所述第二过滤器112也通过第一管道12和第二管道13相互连接。所述第二和第四过滤器与所述腐蚀槽的连接亦如此。本实施例中由于所述第一过滤器和第二过滤器分别位于所述长方体的腐蚀槽10的同一侧，为了使得所述第一、第二过滤器分别与所述腐蚀槽的连接简单化，因此，优选地，如图3所示，分别与所述第一、第二过滤器连接的第一、第二管道连接于所述腐蚀槽的一侧；分别与所述第三、第四过滤器连接的第一、第二管道连接于所述腐蚀槽的另一侧。
[0053]本实用新型的所述湿法刻蚀装置中还包括:设置于所述第一管道12上的第一阀门121 ;设置于所述第二管道13上的第二阀门131 ;同时，如图3所示，在所述第一阀门121与所述第一过滤器111之间的所述第一管道12上设有进液管14，所述进液管14与所述第一管道12相通；所述第一管道12和与其连接的过滤器以及所述腐蚀槽10相通；对于所述第一过滤器111来说，所述第一过滤器111通过所述第一管道12与所述腐蚀槽10相通；而所述第一阀门121设置于所述第一管道上，开启所述第一阀门时，所述第一过滤器与所述腐蚀槽相通,所述腐蚀槽中的液体与所述第一过滤器中的液体可以自由进出。
[0054]同时，对于所述第二至第四过滤器来说，与所述第一过滤器相同的是，所述第二至第四过滤器通过所述第一管道12与所述腐蚀槽10相通；而所述第一阀门121设置于所述第一管道12上，开启所述第一阀门121时，所述第二过滤器112与所述腐蚀槽10相通，所述腐蚀槽中的液体与所述第二过滤器112中的液体可以自由进出。
[0055]如图3所示，本实施例中，所述第一阀门12与所述第一过滤器之间设有与所述第一管道12相通的进液管14 ;所述第二阀门与所述第一过滤器之间设有与所述第二管道13相通的出液管15。同样，对于所述第二至第四过滤器来说，所述第一阀门12与所述第二至第四过滤器之间设有与所述第一管道12相通的进液管14 ;所述第二阀门与所述第二至第四过滤器之间设有与所述第二管道13相通的出液管15。所述进液管14用于将清洗所述过滤器的液体输送入所述过滤器中，所述出液管15用于将所述过滤器中的液体排出所述过滤器。通常，所述进液管14所述出液管15都设有阀门方便开启或关闭。本实施例中，优选地，所述进液管连接有进水泵141 ;所述出液管连接有抽水泵151。所述进水泵141提供用于清洗所述过滤器的液体；所述抽水泵151用于将所述过滤器中的液体抽出。
[0056]本实施例中所述的湿法刻蚀装置的工作原理为:
[0057](一 )刻蚀过程:当使用所述湿法刻蚀装置对晶圆进行刻蚀时，所述腐蚀槽10中承载有若干晶圆16 ;开启如图3中左侧的所述第一过滤器附近的所述进液管14上的阀门，并且开启与所述第一过滤器111连接的第一管道12上的第一阀门121 ;并且同时开启与该进液管14连接的进水泵141，所述进水泵141将液体注入所述进液管14中，通常用于刻蚀所述晶圆上的氮化硅以及二氧化硅的腐蚀液为磷酸，因此，所述进水泵141注入所述进液管14中的液体为磷酸溶液；磷酸溶液流入所述第一过滤器中，这时，所述第二管道13上的第二阀门131处于开启状态，与所述第二管道13连接的所述出液管15处于关闭状态，因此，经过所述第一过滤器的磷酸再经过所述第二管道13流入所述腐蚀槽中，所述腐蚀槽中的磷酸与所述晶圆充分反应，所述腐蚀槽中的磷酸再经过所述第一管道12流入所述第一过滤器，磷酸溶液中水与晶圆上的氮化硅反应生成的硅化物沉淀随着磷酸一起进入所述第一过滤器，不断循环进入所述第一过滤器的结果是绝大部分的硅化物沉淀被所述第一过滤器过滤掉，而所述腐蚀槽中磷酸溶液中的硅化物则越来越少，因此，减小了晶圆粘附杂质颗粒的机会。待刻蚀完成后，所述废液从位于所述腐蚀槽底部的排液口 102排出。
[0058](二)过滤器清洗过程:在进行上述刻蚀的过程中，所述第二至第四过滤器可以是处于工作状态，也可以为停止工作的状态。所述工作状态指的是所述第二至第四过滤器的清洗过程。本实用新型的所述每个过滤器既可以进行如上所述的刻蚀过程，也可以单独进行自身的清洗过程，当其中一个所述过滤器进行刻蚀过程的时候，其他过滤器关闭刻蚀过程，但是其他过滤器可同时进行自身的清洗过程，也就是说，例如使用所述第一过滤器进行上述刻蚀过程时，所述第二至第四过滤器关闭使用或进行自身清洗；当进行下次的刻蚀过程时，可以使用已经清洗好的第二至第四过滤器中的一个进行刻蚀过程，同时所述其他过滤器进行自身清洗过程。本实施例的所述四个过滤器交替进行刻蚀过程，在所述刻蚀过程中，未进行刻蚀过程的其他过滤器可进行自身清洗过程。
[0059]所述自身清洗过程如下:例如所述第二过滤器进行自身清洗，通常所述清洗液为氢氟酸，氢氟酸用于清除堵塞在所述过滤器中的硅化物；而氢氟酸对石英材质的腐蚀槽会形成腐蚀。因此，首先关闭与所述第二过滤器连接的第一管道12上的第一阀门121以及与所述第二过滤器连接的第二管道13上的第二阀门131，避免清洗液进入所述腐蚀槽中。接着，如图2所示，开启位于所述腐蚀槽右侧的所述第二过滤器112附近的所述进液管14和出液管15上的阀门，同时启动与该进液管14连接的进水泵141，使的清洗液(氢氟酸)沿所述进液管14经过与其连接的第一管道12进入所述第二过滤器112中，所述过滤器112中的氢氟酸充分溶解硅化物后，废液经过与所述第二过滤器连接的第二管道13以及与所述第二管道13连接的出液管15后排出。优选地，当清洗接近结束时，开启与该出液管15连接的出水泵151，使得所述第二过滤器中的液体被完全抽干，避免遗留氢氟酸使得下次刻蚀时氢氟酸进入所述腐蚀槽。
[0060]本实用新型的所述湿法刻蚀装置中除上述两个实施例中包含两个或四个所述过滤器之外，还可根据具体过滤器的使用频率以及所述过滤器的性能调整所述湿法刻蚀装置中过滤器的个数。
[0061]综上所述，本实用新型的湿法刻蚀装置通过增加连接在腐蚀槽上的过滤器使得湿法清洗过程与清洗过滤器的过程互不影响，清洗过滤器时不会对腐蚀槽造成侵蚀，延长腐蚀槽的使用寿命；同时不用拆卸清洗装置即可将过滤器中的杂质清除，提高湿法清洗效率。所以，本实用新型有效克服了现有技术中的种种缺点而具高度产业利用价值。
[0062]上述实施例仅例示性说明本实用新型的原理及其功效，而非用于限制本实用新型。任何熟悉此技术的人士皆可在不违背本实用新型的精神及范畴下，对上述实施例进行修饰或改变。因此，举凡所属【技术领域】中具有通常知识者在未脱离本实用新型所揭示的精神与技术思想下所完成的一切等效修饰或改变，仍应由本实用新型的权利要求所涵盖。
【权利要求】
1.一种湿法刻蚀装置，其特征在于，所述装置至少包括: 腐蚀槽以及至少两个过滤器；所述腐蚀槽与每个过滤器通过第一、第二管道连接； 所述第一、第二管道上分别对应设有第一、第二阀门； 所述第一阀门与所述过滤器之间设有与所述第一管道相通的进液管；所述第二阀门与所述过滤器之间设有与所述第二管道相通的出液管。
2.根据权利要求1所述的湿法刻蚀装置，其特征在于:所述腐蚀槽为长方体槽；该腐蚀槽的底部还设置有分别紧密排列的若干进液口和若干排液口。
3.根据权利要求2所述的湿法刻蚀装置，其特征在于:所述清洗装置包括两个所述过滤器:第一、第二过滤器；所述第一、第二过滤器分别位于所述腐蚀槽的两侧。
4.根据权利要求3所述的湿法刻蚀装置，其特征在于:与所述第一过滤器连接的第一、第二管道连接于所述腐蚀槽的一侧；与所述第二过滤器连接的第一、第二管道连接于所述腐蚀槽的另一侧。
5.根据权利要求2所述的湿法刻蚀装置，其特征在于:所述腐蚀槽为长方体槽；所述清洗装置中包括四个过滤器:第一至第四过滤器；所述第一、第二过滤器位于所述腐蚀槽的一侧；所述第三、第四过滤器位于所述腐蚀槽的另一侧。
6.根据权利要求5所述的湿法刻蚀装置，其特征在于:分别与所述第一、第二过滤器连接的第一、第二管道连接于所述腐蚀槽的一侧；分别与所述第三、第四过滤器连接的第一、第二管道连接于所述腐蚀槽的另一侧。
7.根据权利要求4或6所述的湿法刻蚀装置，其特征在于:所述进液管连接有进水泵；所述出液管连接有抽水泵。
8.根据权利要求1所述的湿法刻蚀装置，其特征在于:所述腐蚀槽中承载有若干晶圆和磷酸溶液。
【文档编号】C30B33/10GK204138821SQ201420593668
【公开日】2015年2月4日 申请日期:2014年10月14日 优先权日:2014年10月14日
【发明者】胡春周 申请人:中芯国际集成电路制造(北京)有限公司