基板吸附剥离装置的制作方法

本实用新型涉及液晶显示器制造领域，更具体地，涉及一种基板吸附剥离装置。

背景技术：

真空贴合工艺是液晶面板制造过程中的重要步骤，在密闭的真空腔体内，通过上定盘和下定盘分别吸附阵列基板和彩膜基板，上定盘和下定盘相向移动，把阵列基板和彩膜基板压合在一起形成液晶面板。

随着高世代液晶面板生产线的发展，剥离基板的尺寸越来越大，对上定盘的吸附力和剥离基板的方式的要求也越来越高。目前广泛使用的剥离装置为平板式硅胶吸附(Plate Silicone rubber Chuck，PSC)装置，该装置包括相对设置的上定盘和下定盘，上定盘朝向下定盘的一侧设置有大面积的PSC粘性模块，顶针纵向贯通上定盘和PSC粘性模块。基板剥离时计算机控制上定盘向上移动，同时控制顶针向下顶出使基板剥离。

上述PSC装置，由于顶针的顶柱表面积过小，且PSC粘性模块粘附面积过大，粘性较强，导致剥离基板变形较大，造成产品异常。此外，由于顶针分布数量过多，想要将其水平度调整一致，难度较大。且在局部组立发生异常时，难以调整，更换和维护成本较高。

技术实现要素：

有鉴于此，本实用新型所要解决的技术问题是提供一种可分离式基板吸附剥离装置，其可以在组立机台玻璃基板剥离时有效减小玻璃基板的变形，避免产品出现异常。

本实用新型提供了一种基板吸附剥离装置，其特征在于，包括：上定盘；以及下定盘，所述下定盘与所述上定盘相对设置，其中所述上定 盘包括可拆卸的多个吸附定盘和多个支撑定盘，所述吸附定盘和所述支撑定盘之间可自由安装组合。

优选地，所述吸附定盘朝向所述下定盘一侧设置有吸附模块；所述支撑定盘朝向所述下定盘的一侧设置有支撑模块。

优选地，所述吸附模块包括硅橡胶层和第一衬底，所述硅橡胶层设置于所述第一衬底上；所述支撑模块包括金属层和第二衬底，所述金属层设置于所述第二衬底上。

优选地，所述硅橡胶层和所述金属层表面均为凹凸状结构。

优选地，所述吸附定盘朝向所述下定盘的一侧设置有凹槽，所述吸附模块设置在所述凹槽内；所述支撑定盘朝向所述下定盘的一侧设置有凹槽，所述支撑模块设置在所述凹槽内。

优选地，所述吸附定盘与所述吸附模块之间的固定方式包括螺接、粘接和卡接中的任一种；所述支撑定盘与所述支撑模块之间的固定方式包括螺接、粘接和卡接中的任一种。

优选地，所述吸附定盘上并列设置有第一通孔和第二通孔，所述第一通孔和所述第二通孔纵向贯通所述吸附定盘和所述吸附模块。

优选地，所述支撑定盘上并列设置有第三通孔和第四通孔，所述第三通孔和所述第四通孔纵向贯通所述支撑定盘和所述支撑模块。

优选地，所述吸附定盘和所述支撑定盘的尺寸和形状均一致。

优选地，所述吸附定盘和所述支撑定盘的形状选自矩形、正方形、三角形以及六边形中的任一种。

依据以上技术方案，本实用新型具有如下有益效果：

减小了基板吸附剥离装置和基板之间的黏着面积，降低了粘着力，是基板进行剥离时有效减少基板的形变，避免产品出现异常。

可根据具体情况的要求，变换支撑定盘和吸附定盘的形状和布局方式。

在发生局部异常时，可更换局部定盘，避免因局部异常更换整个定盘，降低修理和维护的成本。

附图说明

通过以下参照附图对本实用新型实施例的描述，本实用新型的上述以及其他目的、特征和优点将更为清楚，在附图中：

图1a示出现有技术提供的基板吸附剥离装置在吸附状态时的结构图。

图1b示出现有技术提供的基板吸附剥离装置中上定盘的结构图。

图2a示出现有技术提供的基板吸附剥离装置在进行剥离操作时的结构图。

图2b示出现有技术提供的剥离吸附装置在完成剥离操作时的结构图。

图3示出本实用新型的第一实施例提供的基板吸附剥离装置中上定盘的结构图。

图4a示出了图3中吸附定盘的结构图。

图4b和图4c分别示出了图4a中硅橡胶层的局部俯视图和侧视图。

图5示出了图3中支撑定盘220的结构图。

图6示出本实用新型的第二实施例提供的基板吸附剥离装置中上定盘的结构图。

具体实施方式

以下基于实施例对本实用新型进行描述，但是本实用新型并不仅仅限于这些实施例。在下文对本实用新型实施例的细节描述中，详尽描述了一些特定的细节部分，对本领域技术人员来说没有这些细节部分的描述也可以完全理解本实用新型。为了避免混淆本实用新型的实质，公知的方法、过程、流程没有详细叙述。

在各个附图中，相同的元件采用类似的附图标记来表示。为了清楚起见，附图中的各个部分没有按比例绘制。此外，在图中可能未示出某些公知的部分。附图中的流程图、框图图示了本实用新型的实施例的系统、方法、装置的可能的体系框架、功能和操作，附图的方框以及方框顺序只是用来更好的图示实施例的过程和步骤，而不应以此作为对实用新型本身的限制。

图1a示出现有技术提供的基板吸附剥离装置在吸附状态时的结构 图。如图所示，现有技术提供的基板吸附剥离装置100包括上定盘101、下定盘102和顶针104，所述上定盘101和所述下定盘102相对设置，所述上定盘101朝向所述下定盘102的一侧设置有硅橡胶层103，所述硅橡胶层用于对基板106进行吸附。所述上定盘101设置有多个通孔，所述通孔纵向贯通所述上定盘101和硅橡胶层103，所述顶针104分别设置于各所述通孔内，用于对所述基板106进行剥离操作，所述顶针104的一端设置有软性橡胶头105。

其中，所述上定盘101的结构请参见图1b，图1b示出现有技术提供的基板吸附剥离装置中上定盘的结构图。如图所示，所述上定盘101的表面设置有硅橡胶层103，所述硅橡胶层103大面积覆盖所述上定盘101。

图2a示出现有技术提供的基板吸附剥离装置在进行剥离操作时的结构图。如图所示，基板吸附剥离装置100在进行剥离操作时，所述上定盘101在控制模块(图中未示出)的控制下相对所述下定盘102向上运动，所述顶针104在控制模块(图中未示出)的控制下相对所述下定盘102向下运动，使得所述基板106逐渐与所述硅橡胶层103剥离。

图2b示出现有技术提供的剥离吸附装置在完成剥离操作时的结构图。如图所示，所述基板106与所述硅橡胶层103成功剥离，但由于所述基板106与所述硅橡胶层103之间吸附力太强，且所述顶柱104的软性橡胶头105的表面积较小，完成剥离操作后，会导致所述基板106发生较大形变。

本实用新型的第一实施例提供了一种基板吸附剥离装置，图3示出本实用新型的第一实施例提供的基板吸附剥离装置中上定盘的结构图。如图所示，上定盘200包括多个吸附定盘210和多个支撑定盘220，所述吸附定盘210和所述支撑定盘220交替排列，且所述吸附定盘210和所述支撑定盘220的形状和尺寸均一致，其形状可以为矩形、正方形、三角形以及六边形等，本实施例以正方形为例进行说明。所述吸附定盘210和所述支撑定盘220均为可拆卸结构，在具体实施过程中，可对所述吸附定盘210和所述支撑定盘220自由安装组合。

图4a示出了图3中吸附定盘210的结构图。如图所示，所述吸附定 盘210的一侧设置有凹槽211，朝向所述凹槽211一侧设置有吸附模块，所述吸附模块包括第一衬底215和硅橡胶层216，所述硅橡胶层216设置于所述第一衬底215上，所述吸附模块可采用螺接、粘接或卡接的方式固定于所述吸附定盘210的凹槽211中。在本实施例中，所述吸附定盘210上设置有螺钉安装孔214，所述吸附模块采用螺接固定于所述吸附定盘210的凹槽211中。所述吸附定盘210还并列设置有第一通孔212和第二通孔213，所述第一通孔212和所述第二通孔213纵向贯通所述吸附定盘210和吸附模块，所述第一通孔212内用于设置顶针(图中未示出)，所述第二通孔213对应于真空吸附孔。

其中，所述硅橡胶层216表面为凹凸状结构，具体参见图4b和图4c

，图4b和图4c中分别示出了图4a中硅橡胶层216局部的俯视图和侧视图。所述硅橡胶层216还可以采用其他有益于吸附的结构，所述硅橡胶层216的具体结构不应作为对本实用新型的限制。

图5示出了图3中支撑定盘220的结构图。如图所示，所述支撑定盘220的一侧设置有凹槽221，朝向所述凹槽221一侧设置有支撑模块，所述支撑模块包括第二衬底225和金属层226，所述金属层226设置于所述第二衬底225上，所述吸附模块可采用螺接、粘接或卡接的方式固定于所述吸附定盘220的凹槽221中。在本实施例中，所述支撑定盘220上设置有螺钉安装孔224，所述支撑模块采用螺接固定于所述支撑定盘220的凹槽221中。所述支撑定盘220上还并列设置有第三通孔222和第四通孔223，所述第三通孔222和所述第四通孔223纵向贯通所述支撑定盘220和支撑模块，所述第三通孔222内用于设置顶针(图中未示出)，所述第四通孔223对应于真空吸附孔。

其中，所述金属层表面为凹凸状结构，在本实施例中，所述金属层226表面结构与所述硅橡胶层216表面结构一致，具体请参见图4b和图4c，在另外的替代实施例中，所述金属层226还可以采用其他有益于支撑的结构，所述金属层226的具体结构不应作为对本实用新型的限制。

应用本实用新型第一实施例提供的基板吸附剥离装置进行基板(图中未示出)吸附剥离操作时，首先，所述吸附定盘210通过所述硅橡胶层216自身固有的粘性在真空环境中吸附基板，控制模块(图中未示出) 控制所述上定盘200移动使得两块基板贴合好，然后进行剥离操作，此时，所述顶针(图中未示出)在所述控制模块的控制下，分别经由所述第一通孔212和第三通孔222向下顶出，使得所述基板和所述上定盘200分离，在此过程中，基板会发生部分形变，但由于设置于所述支撑定盘220上的金属层226表面为有益于支撑的凹凸结构，可以对所述基板起到支撑作用，因而可较为有效的减小基板形变，避免基板在剥离过程中发生损坏。

图6示出本实用新型第二实施例提供的基板吸附剥离装置中上定盘的结构图。如图所示，本实施例与上述实施例的区别在于：所述吸附定盘310和所述支撑定盘320的外形为正六边形，且所述吸附定盘310和所述支撑定盘320呈蜂窝状排列，所述吸附定盘310和所述支撑定盘320的接缝是不规则的网格图形，因而不会对基板上的图形产生干涉。

相对于现有技术，本公开实施例将上定盘分割为多个支撑定盘和多个吸附定盘，所述支撑定盘和所述吸附定盘交替排列，减小了所述上定盘和所述基板之间的吸附强度，且可有效减小所述基板在剥离过程中发生形变的程度。应当说明的是，在本文中，诸如第一和第二等之类的关系术语仅仅用来将一个实体或者操作与另一个实体或操作区分开来，而不一定要求或者暗示这些实体或操作之间存在任何这种实际的关系或者顺序。而且，术语“包括”、“包含”或者其任何其他变体意在涵盖非排他性的包含，从而使得包括一系列要素的过程、方法、物品或者设备不仅包括那些要素，而且还包括没有明确列出的其他要素，或者是还包括为这种过程、方法、物品或者设备所固有的要素。在没有更多限制的情况下，由语句“包括一个……”限定的要素，并不排除在包括所述要素的过程、方法、物品或者设备中还存在另外的相同要素。

依照本实用新型的实施例如上文所述，这些实施例并没有详尽叙述所有的细节，也不限制该实用新型仅为所述的具体实施例。显然，根据以上描述，可作很多的修改和变化。本说明书选取并具体描述这些实施例，是为了更好地解释本实用新型的原理和实际应用，从而使所属技术领域技术人员能很好地利用本实用新型以及在本实用新型基础上的修改使用。本实用新型仅受权利要求书及其全部范围和等效物的限制。